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SOI工藝，指在頂層硅和襯底硅之間，引入一層二氧化硅層，起絕緣和隔離作用。基于SOI工藝的MEMS器件具備工藝簡單、漏電流小、無閂鎖效應、電流驅動能力強等諸多優點。
- 加速度傳感器：高鐵敏感元器件國貨難覓
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加速度傳感器常用的有哪兩種
加速度傳感器常用的有兩種，一種是基于壓電效應的壓電式加速度傳感器，另一種是基于微機電系統（MEMS）技術的微型加速度傳感器。 壓電式加速度傳感器是利用壓電晶體的壓電效應來測量加速度的。壓電晶體是一種
2024-01-15 15:27:40188
188加速度傳感器的基本力學模型是什么
加速度傳感器的基本力學模型是一個受力物體的運動學和動力學模型的組合。本文將從以下幾個方面介紹加速度傳感器的基本力學模型。 一、運動學模型 加速度傳感器的運動學模型主要描述傳感器在空間中的位置、速度
2024-01-17 11:08:38260
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