干膜曝光即在紫外光照射下,光引發(fā)劑吸收了光能分解成游離基,游離基再引發(fā)光聚合單體進行聚合交聯(lián)反應(yīng),反應(yīng)后形成不溶于稀堿溶液的體型大分子結(jié)構(gòu)。曝光一般在自動雙面曝光機內(nèi)進行,現(xiàn)在曝光機根據(jù)光源的冷卻方式不同,可分風冷和水冷式兩種,影響曝光成像質(zhì)量的因素除干膜光致抗蝕劑的性能外,光源的選擇、曝光時間(曝光量) 的控制、照相底版的質(zhì)量等都是影響曝光成像質(zhì)量的重要因素。
一。光源的選擇
任何一種干膜都有其自身特有的光譜吸收曲線,而任何一種光源也都有其自身的發(fā)射光譜曲線。如果某種干膜的光譜吸收主峰能與某種光源的光譜發(fā)射主峰相重疊或大部分重疊,則兩者匹配良好,曝光效果最佳。國產(chǎn)干膜的光譜吸收曲線表明,光譜吸收區(qū)為310—440nm(毫微米)。鎬燈、高壓汞燈、碘鎵燈在310—440nm波長范圍均有較大的相對輻射強度, 是干膜曝光較理想的光源。氙燈不適應(yīng)于干膜的曝光。同時還應(yīng)考慮選用功率大的光源,因為光強度大,分辨率高,而且曝光時間短,照相底片受熱變形的程度也小,此外燈具設(shè)計也很重要,要盡量做到使入射光均勻性好,平行度高,以避免或減少圖形曝光不均勻。
二。曝光時間(曝光量)的控制
在曝光過程中,干膜的光聚合反應(yīng)并非“一引而發(fā)”或“一曝即成”,而是大體經(jīng)過三個階段。
干膜中由于存在氧或其它有害雜質(zhì)的阻礙,因而需要經(jīng)過一個誘導的過程,在該過程內(nèi)引發(fā)劑分解產(chǎn)生的游離基被氧和雜質(zhì)所消耗,單體的聚合甚微。但當誘導期一過,單體的光聚合反應(yīng)很快進行,膠膜的粘度迅速增加,接近于突變的程度,這就是光敏單體急驟消耗的階段,這個階段在曝光過程中所占的時間比例是很小的。當光敏單體大部分消耗完時,就進入了單體耗盡區(qū),此時光聚合反應(yīng)已經(jīng)完成。該過程類似于原子彈爆炸的過程。
正確控制曝光時間是得到優(yōu)良的干膜抗蝕圖像非常重要的因素。當曝光不足時,由于單體聚合的不徹底,在顯影過程中,膠膜溶漲變軟,線條不清晰,色澤暗淡,甚至脫膠,在電鍍前處理 或電鍍過程中,膜起翹、滲鍍、甚至脫落。當曝光過頭時會造成難于顯影、膠膜發(fā)脆、留下殘膠等弊病。更為嚴重的是不正確的曝光將產(chǎn)生圖像線寬的偏差,過量的曝光會使圖形電鍍的線條變細,使印制蝕刻的線條變粗,反之,曝光不足使圖形電鍍的線條變粗,使印制蝕刻的線條變細。
如何正確確定曝光時間呢?
由于應(yīng)用于膜的各廠家所用的曝光機不同,即光源,燈的功率及燈距不同,因此干膜生產(chǎn)廠家很難推薦一個固定的曝光時間。國外生產(chǎn)干膜的公司都有自己專用的或推薦使用的某種光密度尺,干膜出廠時都標出推薦的成像級數(shù)、國內(nèi)的干膜生產(chǎn)廠家沒有自己專用的光密度尺, 通常推薦使用瑞斯頓幟iston)17級或斯圖費(stouffer)21級光密度尺。
瑞斯頓17級光密度尺第一級的光密度為0.5,以后每級以光密度差AD為0.05遞增,到第17級光密度為1.30。 斯圖費2l級光密度尺第一級的光密度為0.05,以后每級以光密度差△D為0.15遞增,到第2l級光密度為3.05。 在用光密度尺進行曝光時,光密度小的(即較透明的)等級,干膜接受的紫外光能量多,聚合的較完全,而光密度大的(即透明程度差的)等級,干膜接受的紫外光能量少,不發(fā)生聚合或 聚合的不完全,在顯影時被顯掉或只留下一部分。這樣選用不同的時間進行曝光便可得到不同的成像級數(shù)。現(xiàn)將瑞斯頓17級光密度尺的使用方法簡介如下:a.進行曝光時藥膜向下;b.在覆銅箔板上貼膜后放15分鐘再曝光;c.曝光后放置30分鐘顯影。 任選一曝光時間作為參考曝光時間,用Tn表示,顯影后留下的最大級數(shù)叫參考級數(shù),將推薦的使用級數(shù)與參考級數(shù)相比較,并按下面系數(shù)表進行計算。
級數(shù)差 系數(shù)K 級數(shù)差 系數(shù)K
1 1.122 6 2.000
2 1.259 7 2.239
3 1.413 8 2.512
4 1.585 9 2.818
5 1.778 10 3.162
當使用級數(shù)與參考級數(shù)相比較需增加時,使用級數(shù)的曝光時間T=KTR。當使用級數(shù)與參考級數(shù)相比較需降低時,使用級數(shù)的曝光時間T=TR/K。這樣只進行一次試驗便可確定最佳曝光時間。 在無光密度尺的情況下也可憑經(jīng)驗進行觀察,用逐漸增加曝光時間的方法,根據(jù)顯影后干膜的光亮程度、圖像是否清晰、圖像線寬是否與原底片相符等來確定適當?shù)钠毓鈺r間。
嚴格的講,以時間來計量曝光是不科學的,因為光源的強度往往隨著外界電壓的波動及燈的老化而改變。光能量定義的公式E=IT,式中E表示總曝光量,單位為毫焦耳/平方厘米;I表示光的強度,單位為毫瓦/平方厘米;T為曝光時間,單位為秒。從上式可以看出,總曝光量E隨光強I 和曝光時間T而變化。當曝光時間T恒定時,光強I改變,總曝光量也隨之改變,所以盡管嚴格控制了曝光時間,但實際上干膜在每次曝光時所接受的總曝光量并不一定相同,因而聚合程度也就不同。為使每次曝光能量相同,使用光能量積分儀來計量曝光。其原理是當光強I發(fā)生變化時, 能自動調(diào)整曝光時間T,以保持總曝光量E不變。
三。照相底版的質(zhì)量
照相底版的質(zhì)量主要表現(xiàn)在光密度和尺寸穩(wěn)定性兩方面。
關(guān)于光密度,要求最大光密度Dmax大于4,最小光密度Dmin小于0.2。最大光密度是指底片在紫外光中,其表面擋光膜的擋光下限,也就是說,底片不透明區(qū)的擋光密度Dmax超過4時,才能達到良好的擋光目的。最小光密度是指底片在紫外光中,其擋光膜以外透明片基所呈現(xiàn)的擋光上限,也就是說,當?shù)灼该鲄^(qū)之光密度Dmin小于0.2時,才能達到良好的透光目的。照相底片的尺寸穩(wěn)定性(指隨溫度、濕度和儲存時間的變化)將直接影響印制板的尺寸精度和圖像重合度,照相底片尺寸嚴重脹大或縮小都會使照相底版圖像與印制板的鉆孔發(fā)生偏離。國產(chǎn) 硬性軟片受溫度和濕度的影響,尺寸變化較大,其溫度系數(shù)和濕度系數(shù)大約在 (50—60)×10-6/℃及(50—60)×10-6/%,對于一張長度約400mm的底片,冬季和夏季 的尺寸變化可達0.5—1mm,在印制板上成像時可能偏半個孔到一個孔的距離。因此照相底版的生產(chǎn)、使用和儲存最好均在恒溫恒濕的環(huán)境中。另曝光機如冷卻系統(tǒng)有問題,機內(nèi)溫度過高會使底片產(chǎn)生脹縮影響定位精度。
采用厚聚酯片基的銀鹽片(例如0.18mm)和重氮片,可提高照相底版的尺寸穩(wěn)定性。 除上述三個主要因素外,曝光機的真空系統(tǒng)及真空框架材料的選擇等也會影響曝光成像的質(zhì)量。
四。曝光定位(適用于非自動曝光機)
1)目視定位通常適用于使用重氮底版的手動定位曝光,重氮底版呈棕色或桔紅色的半透明狀態(tài);但不透紫外光,透過重氮圖像使底版的焊盤與印制板的孔重合對準,用膠帶固定即可進行曝光。
2)脫銷定位系統(tǒng)定位 脫銷定位系統(tǒng)包括照相軟片沖孔器和雙圓孔脫銷定位器。 定位方法是:首先將正面、反面兩張底版藥膜相對在顯微鏡下對準;將對準的兩張底版用 軟片沖孔器于底版有效圖像外任沖兩個定位孔,把沖好定位孔的底版任取一張去編鉆孔程序, 便能得到同時鉆出元件孔及定位孔的數(shù)據(jù)帶,一次性鉆出元件孔及定位孔,印制板金屬化孔及預(yù)鍍銅后,便可用雙圓孔脫銷定位器定位曝光。
3)固定銷釘定位,固定銷釘分兩套系統(tǒng),一套固定照相底版,另一套固定印制板,通過調(diào)整兩銷釘?shù)奈恢茫瑢崿F(xiàn)照相底版與印制板的重合對準。
一般曝光后聚合反應(yīng)還要持續(xù)一段時間,為保證工藝的穩(wěn)定性,曝光后不要立即揭去聚酯膜,以使聚合反應(yīng)持續(xù)進行。一般曝光以后需放置15分鐘-30分鐘以后才顯影,待顯影前再揭去聚酯膜。
干膜曝光工藝學習資料
- 學習資料(11253)
- 干膜曝光(5623)
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2011-12-01 09:10:36
雙層PCB板制作過程與工藝
, 其組成水溶性干膜,以碳酸鈉顯 像,用稀氫氧化鈉剝膜而完成的顯像動作。此步驟即將處理完之PCB表面”黏” 上一層會進行光化學反應(yīng)之水溶性干膜,可經(jīng)感光以呈現(xiàn)PCB上所有線路等之 原型。 3.曝光 壓
2018-09-20 10:54:16
雙面FPC制造工藝
以下的精密圖形大部分都可以用干膜法形成抗蝕線路圖形。采用干膜,其厚度是15~25μm,條件允許,批量水平可以制作30~40μm線寬的圖形。當選擇干膜時,必須根據(jù)與銅箔板、工藝的匹配性并通過試驗來確定
2019-01-14 03:42:28
雙面印制電路板制造工藝
像,而使用一種特殊的掩蔽型干膜來掩蓋孔,再曝光制成正像圖形,這就是掩蔽孔工藝。它與堵孔法相比,不再存在洗凈孔內(nèi)油墨的難題,但對掩蔽干膜有較高的要求。麥|斯|艾|姆|P|CB樣板貼片,麥1斯1艾1姆1科1
2013-09-24 15:47:52
雙面印制電路板制造典型工藝
孔的油墨。 在堵孔法工藝中如果不采用堵孔油墨堵孔和網(wǎng)印成像,而使用一種特殊的掩蔽型干膜來掩蓋孔,再曝光制成正像圖形,這就是掩蔽孔工藝。它與堵孔法相比,不再存在洗凈孔內(nèi)油墨的難題,但對掩蔽干膜有較高的要求。 SMOBC工藝的基礎(chǔ)是先制出裸銅孔金屬化雙面板,再應(yīng)用熱風整平工藝。
2018-09-14 11:26:07
雙面柔性電路板FPC制造工藝全解
FPC制造工藝現(xiàn)在,抗蝕劑的涂布方法根據(jù)電路圖形的精密度和產(chǎn)量分為以下三種方法:絲網(wǎng)漏印法、干膜/感光法、液態(tài)抗蝕劑感光法。現(xiàn)在,抗蝕劑的涂布方法根據(jù)電路圖形的精密度和產(chǎn)量分為以下三種方法:絲網(wǎng)漏印法
2016-08-31 18:35:38
圖像轉(zhuǎn)移基礎(chǔ)流程
圖像轉(zhuǎn)移基礎(chǔ)流程 下料→板面清潔處理→涂濕膜→曝光→顯影(貼干膜→曝光→顯影)→蝕刻→去膜→進入下工序 什么是圖像轉(zhuǎn)移 
2010-03-09 16:22:39
弄懂PCB的工藝流程,也就幾張圖的事情
的制作是PCB制作的根本。所以圖形轉(zhuǎn)移過程對PCB制作來說,有非常重要的意義。內(nèi)層干膜包括內(nèi)層貼膜、曝光顯影、內(nèi)層蝕刻等多道工序。內(nèi)層貼膜就是在銅板表面貼上一層特殊的感光膜,就是我們所說的干膜。這種膜遇
2018-09-20 17:29:41
怎么區(qū)分電阻是薄膜式還是厚膜式?
; 2、根據(jù)制造工藝 厚膜電阻一般采用絲網(wǎng)印刷工藝,薄膜電阻采用的是真空蒸發(fā)、磁控濺射等工藝方法。 3、根據(jù)精度 厚膜電阻一般精密程度不高,多數(shù)是1%、5%、10%等,而薄膜電阻則可以做到0.01
2018-12-05 20:18:08
怎么設(shè)置攝像頭曝光時間?
最近在做攝像頭獲取圖像的程序,但是看了很多資料,大多是捕獲圖像后的圖像處理。但是想在捕獲之前的攝像頭得到的圖像預(yù)覽部分看到更清晰的圖像和符合要求的圖像。不過沒有相關(guān)屬性比如曝光時間、白平衡等方面修改的資料。不知道哪位大蝦可以指點迷津?
2013-07-09 18:42:13
我們知道的PCB正片和負片有哪些區(qū)別 ?
是透明的,而不要的部份則為黑色或棕色的,經(jīng)過線路制程曝光后,透明部份因干膜阻劑受光照而起化學作用硬化,接下來的顯影制程會把沒有硬化的干膜沖掉,于是在蝕刻制程中僅咬蝕干膜沖掉部份的銅箔(底片黑色或棕色
2017-06-23 12:08:48
數(shù)字曝光打印技術(shù)
微米級的直接成像數(shù)字曝光開發(fā)人員提供了一個強大工具,從而能夠在批量生產(chǎn)情況下實現(xiàn)快速曝光,以及更低的運營成本。 通過使用可編程光控制的DLP技術(shù),開發(fā)人員可以將圖形直接曝光在光阻膠片上,而無需接觸掩膜
2018-08-29 15:19:25
數(shù)碼相機曝光的整個流程是怎樣的?
CCD有哪幾種類型?數(shù)碼相機曝光的整個流程是怎樣的?面陣數(shù)碼相機如何解決彩色圖像的曝光?CCD在圖像運作的三大角色是什么?
2021-06-04 06:56:08
新能源動力電池用FPC產(chǎn)品中阻焊能否用液態(tài)油墨替代覆蓋膜?
動力電池用FPC生產(chǎn)工藝中阻焊能否用液態(tài)油墨替代覆蓋膜?是否可行?
2023-06-05 14:32:25
普通單雙面板的生產(chǎn)工藝流程:圖形轉(zhuǎn)移
等。【2】干膜(壓干膜/貼膜/貼干膜)通過壓膜機,在銅面上,貼附感光材料(干膜)。【3】曝光利用感光照相原理,使感光材料(干膜)受到紫外光照射(即曝光)后,發(fā)生聚合反應(yīng),完成圖形轉(zhuǎn)移。注:曝光又為圖形
2023-02-17 11:54:22
機械制造工藝學
機械制造工藝學緒論 第一章 概述 第一節(jié) 機械制造工藝學的研究對象第二節(jié) 基本概念和定義第二章 工藝規(guī)程的制訂第一節(jié) 毛坯的選擇第二節(jié) 工件的裝夾第三節(jié) 定位基準的選擇第四節(jié) 工藝路線的擬定第五節(jié)
2008-06-17 11:41:30
正片工藝、負片工藝的差別,你都知道嗎?
通常為2~3mil(50~~~75μm),而正片工藝,則受線路銅厚影響較小(主要受干膜、藥水、設(shè)備等的影響)。最后,負片工藝制作的線路“上小下大”,線路與基材的結(jié)合力較好,而正片工藝因制作的線路為“上
2022-12-08 13:56:51
求xilinx_Zynq7000的學習資料
求xilinx_Zynq7000的學習資料,相關(guān)的xilinx學習資料也可以,本人有Altera的資料,有需要的請講
2019-01-29 06:35:20
深圳CCD半自動曝光機系統(tǒng)有哪些特點及參數(shù)?
如今傳統(tǒng)手動曝光機,用人工來進行菲林與底板手工對位精度在100um左右,而且重復靠人眼對位,勞動強度非常大,年輕人不愿承擔。由于高精度、高速度的工藝需求,需要提高曝光機的核心競爭力。四元數(shù)針對
2021-09-28 14:44:04
直接成像數(shù)字曝光技術(shù)介紹
)、芯片尺寸封裝(CSP)、平板顯示、實時條形碼標刻,以及計算機直接制版印刷——這項打印工藝可直接將一副數(shù)字圖像從計算機發(fā)送至一塊印板上。 與傳統(tǒng)數(shù)字曝光技術(shù)相比,直接成像數(shù)字曝光的優(yōu)勢有很多…
2022-11-16 07:18:34
碳膜電阻器工藝流程介紹
碳膜電阻器是用有機粘合劑將碳墨、石墨和填充料配成懸浮液涂復于絕緣基體上,經(jīng)加熱聚合而成。氣態(tài)碳氫化合物在高溫和真空中分解,碳沉積在瓷棒或者瓷管上,形成一層結(jié)晶碳膜。改變碳膜厚度和用刻槽的方法變更碳膜
2019-06-26 02:26:27
線路板濕膜工藝技術(shù)解決成品的沙眼、缺口、斷線等問題
了。 4.消除板邊發(fā)毛 貼干膜板邊易發(fā)毛、易產(chǎn)生膜碎,在生產(chǎn)過程中會影響板子的合格率,印濕膜的板子邊緣沒有膜碎和發(fā)毛現(xiàn)象。 四 濕膜的工藝流程 根據(jù)自身條件,使用了多種濕膜,最后選用了北京力拓達
2018-08-29 10:20:48
芯片制作工藝流程 二
涂敷光刻膠 光刻制造過程中,往往需采用20-30道光刻工序,現(xiàn)在技術(shù)主要采有紫外線(包括遠紫外線)為光源的光刻技術(shù)。光刻工序包括翻版圖形掩膜制造,硅基片表面光刻膠的涂敷、預(yù)烘、曝光、顯影、后烘、腐蝕
2019-08-16 11:11:34
請問半導體切割保護膜藍膜和UV膜廠商怎么找下游客戶
請教一下大家,小弟是做半導體切割保護膜這塊的業(yè)務(wù)員,專門銷售藍膜和UV膜的,想問下大家怎樣才能找到更多的客源或者工廠名單呢,沒業(yè)績很惆悵啊。。。。。。。。。
2014-11-24 16:28:21
貼片電阻中厚膜和薄膜的區(qū)別
`電子工程師日常中經(jīng)常使用的貼片電阻,一般包括普通類型的貼片厚膜和薄膜電阻。 兩個概念,即是從不同的層面來分類的。厚膜和薄膜最基本的區(qū)別,是從材料和工藝的角度來分類的;一個電阻,就可能即是厚膜的又是
2017-06-02 16:46:33
透明導電膜有哪些應(yīng)用?
透明導電膜(transparent conductive film,簡稱TCF)目前最主要的應(yīng)用是ITO膜,還有其他AZO等。
2019-09-17 09:12:28
透明導電膜玻璃有什么用途?
電池的電流,同時透明導電膜薄膜具有高透和減反射的功能讓大部分光進入吸收層。透明導電膜玻璃的生產(chǎn)工藝透明導電膜玻璃工藝主要分為超白浮法玻璃生產(chǎn)、透明導電膜鍍膜。
2019-10-29 09:00:52
金屬膜電阻和金屬氧化膜電阻
為什么金屬氧化膜電阻溫度系數(shù)比金屬膜電阻大 還說它最主要特點是耐高溫。百度上查了些資料說:熱穩(wěn)定性是金屬膜電阻好,但是金屬膜工作溫度為70-155攝氏度,而金屬氧化膜電阻卻有 140-235攝氏度 真是搞不明白了
2016-06-12 14:59:32
陶瓷基板制作工藝中的相關(guān)技術(shù)介紹
程序包含了去膠渣、化學銅和電鍍銅三個程序。3、干膜壓合:制作感光性蝕刻的阻抗層。4、內(nèi)層線路影像轉(zhuǎn)移 :利用曝光將底片的影像轉(zhuǎn)移至板面。5、 外層線路曝光:經(jīng)過感光膜的貼附后,電路板曾經(jīng)過類似內(nèi)層板
2020-10-27 08:52:37
高溫厚膜電路的特點和應(yīng)用
一文讀懂高溫厚膜電路用絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)等厚膜工藝在同一基片上制作無源網(wǎng)絡(luò),并在其上組裝分立的半導體器件芯片或單片集成電路或微型元件,再外加封裝而成的混合集成電路。厚膜混合集成電路是一種微型電子功能部件
2022-02-28 10:42:06
光刻掩膜版測溫儀,光刻機曝光光學系統(tǒng)測溫儀
GK-1000光刻掩膜版測溫儀,光刻機曝光光學系統(tǒng)測溫儀光刻機是一種用于微納米加工的設(shè)備,主要用于制造集成電路、光電子器件、MEMS(微機電系統(tǒng))等微細結(jié)構(gòu)。光刻機是一種光學投影技術(shù),通過將光線通過
2023-07-07 11:46:07
半導體硅工藝學電子書
半導體硅工藝學是一部半導體材料技術(shù)叢書,重點闡述了半導體硅晶體us恒章、外延、雜質(zhì)擴散和離子注入等工藝技術(shù)
2011-12-15 15:17:38117
化學電源教案之《化學電源工藝學-第一部分》后有第二部分下載鏈接
本書是為解決本科專業(yè)調(diào)整后之教學急需編的《化學電源工藝學)教材。全書共10章,包括:化學電源概論鋅-二氧化錳電池、鉛-酸蓄電池、鋪-鎳蓄電池、氮-鎳電池、鋅-氧化銀電范、鋰電池、鋰離子電池燃料電池其他化學電源。
2018-10-15 08:00:0029
曝光成像與顯影工藝技術(shù)的原理及特點
PCB板上的線路圖形就是PCB線路板廠家采用曝光成像與顯影蝕刻工藝技術(shù)來完成的,無論是PCB多層線路板還是柔性線路板在制作線路圖形時都要用到曝光成像與顯影工藝技術(shù)。下面來詳細介紹這兩種工藝的加工特點及加工原理。
2019-04-28 15:10:5231330
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