初創公司 mqSemi 推出了適用于基于功率 MOS 的器件的單點源 MOS (S-MOS) 單元設計。使用 Silvaco Victory 工藝和設備軟件，在 1200V SiC MOSFET 結構上調整和實施了 S-MOS 概念。如參考文獻中所述，提供了全套靜態和動態結果，用于將 S-MOS 與采用平面和溝槽 MOS 單元設計的參考 SiC MOSFET 2D 結構進行比較。

多年來，MOS 單元制造和設計平臺大大提高了硅基功率器件的性能，例如功率 MOSFET 和絕緣柵雙極晶體管 (IGBT)。這兩種器件均由以蜂窩或線性模式組織的平面或溝槽 MOS 單元組成。

使用硅基 MOS 器件獲得的結果可用于創建需要高單元封裝密度的 SiC 功率 MOSFET。在過去的幾年里，已經提出了先進的 3D 設計概念來改進設備的靜態和動態特性。這些 3D 拓撲與低壓 FinFET 單元結構有關，該結構使用多維通道寬度來提高單元密度和降低 RDS(通態電阻)(ON)。

采用許多眾所周知的硅器件概念和加工工藝的能力是使用 SiC 作為功率器件材料的好處之一。垂直肖特基二極管或垂直功率 MOSFET(通過 JFET 適當分流后)是基本器件架構的示例。

因此，許多用于確保硅器件長期穩定性的程序也可用于 SiC。然而，仔細觀察發現，基于 SiC 的器件需要比基于 Si 的器件進行額外且不同的可靠性測試，例如材料的獨特性能和缺陷、更大的帶隙和更高的電場，特別是在結終端區域，以及在更高的溫度和開關頻率。

S-MOS 電池概念

與這種三維結構趨勢相吻合的是由初創公司mqSemi開發的“Singular Point Source”MOS單元概念(也稱為S-MOS)。mqSemi 由 Munaf Rahimo 和 Iulian Nistor 創立，總部位于瑞士，致力于開發先進的功率半導體概念，解決用于電動汽車、汽車和可再生能源等應用的下一代電力電子系統。mqSemi 在過去兩年中申請了 20 多項專利，已經進行了大量的模擬，現在已準備好進入原型制作階段。mqSemi 團隊在 IGBT 方面獲得的多年經驗和知識，對解決碳化硅 MOSFET 的關鍵問題有很大幫助;例如降低損耗、提供穩健的短路模式和阻斷行為、柵極驅動控制和高頻振蕩。

mqSemi 的發言人 Rahimo 和 Nistor 表示：“我們相信，對于一個可持續發展的世界，我們將需要基于高效、緊湊、可靠和具有成本效益的功率半導體器件的應用，這些器件是技術前沿和以創新為中心的。”

S-MOS 的好處是雙重的：一方面，它使用獨特的方法精心定義了總通道寬度，也稱為通道面積;另一方面，它可以實現更高的 MOS 單元封裝密度。此外，S-MOS 概念可以在 MOSFET 和 IGBT 上實現，從而提高開關性能，同時實現更高的效率和更低的整體損耗。

S-MOS 單元與標準平面單元和溝槽 MOS 單元的不同之處在于如何設計每個器件面積的總溝道寬度(W ch參數)。如圖 1a 和圖 1b 所示，平面或溝槽 MOS 單元的溝道寬度 W ch定義為 N++ 源極周圍的總外圍距離，它還取決于 MOS 單元排列的幾何形狀(線性或蜂窩布局設計)。S-MOS 單單元溝道寬度 W ch，如圖 1c 所示，由 N++ 源極和 P溝道結 W PNJ長度的小尺度尺寸定義。通過將這個小的幾何特征定位在溝槽側壁上，預定的單位溝道長度 W chn提供。對于 S-MOS，N++ 和 P通道輪廓類似于平面單元的輪廓，但位于溝槽側壁上。因此，總溝道寬度取決于每個芯片的門控溝槽側壁的總數。如圖 1c 底部所示(紅色虛線)，N++/P通道結的形狀可以近似為“四分之一圓”，單個溝槽的 W chn尺寸約為 150-300 nm側壁。給定芯片面積的總 W ch可以作為所有溝槽側壁上所有 W chn的總和獲得。

圖 1：S 圖 1：源 MOS 單元概念(來源：[1])(來源：[1])

S-MOS 概念已通過在 1200V SiC MOSFET 上進行的 2D 和 3D TCAD 模擬得到證明，包括 S-MOS 以及參考平面和溝槽結構。

“在模擬過程中，我們發現了一個非常特殊的特征，這是我們沒有預料到的，在溝槽的側壁上，我們可以獲得所謂的通道寬度，它定義了基于擴散分布的總通道密度”，mqSemi 的發言人說。

仿真是在 1200V SiC MOSFET 上執行的，因為通過 R ds(on)測量的靜態損耗并不難評估。同樣的技術也可以應用于不同的電壓等級。對所有器件結構(S-MOS、Trench 和 2D 平面)進行靜態和混合模式電感負載動態模擬，這些器件結構的總有效面積為 1cm 2。仿真得到的輸出電壓-電流特性如圖2所示;上圖是指最高 600V 的電壓范圍，而下圖是在 Vgs=15V 和 150°C 時放大到 1V。S-MOS 概念提供了低 R dson水平(約 3 mΩ-cm 2在 150°C)，類似于溝槽電池。然而，如圖 2 所示，與其他參考模型相比，S-MOS 還提供平坦的飽和電流。

圖 2：1.2kV SiC MOSFET 輸出曲線，Vgs=15V，150°C(來源：[1])

“我們發現我們有更好的切換可控性，這就是進入第三維的全部想法。與溝槽電池相比，我們獲得了大大降低的開關損耗，并且我們有更多的設計自由度來進一步優化它并獲得更高的電池密度”，mqSemi 的發言人說。

在 150°C 下對所有器件的短路電流進行了仿真，顯示了 S-MOS 如何表現出更少的短溝道效應并改善了傳導損耗和短路性能之間的權衡。盡管 S-MOS 概念仍需要進一步的設計優化，但所展示的性能非常有前途，在 mqSemi，他們認為已經為下一階段做好準備，即原型設計。

審核編輯：湯梓紅