IC-1431型硅壓阻式壓力傳感器及其經典電路圖
- IC-1431(10164)
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[轉帖]《壓力傳感器的設計制造與應用》介紹
的技術特性、選用及各種熱漂移補償技術等。目錄目錄第一章晶體及其能帶結構第一節空間點陣和晶體結構附錄第二節晶體的能帶結構第三節晶體的物理常數及其坐標變換參考文獻第二章壓力傳感器的基本原理第一節單晶硅的壓阻
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壓阻式壓力傳感器技術以及應用解析
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壓阻式壓力傳感器電路說明
電路框圖和電路原理圖如下圖所示。對于傳感器靈敏度溫度漂移,一般采用改變電源電壓的方法進行補償。隨著半導體技術的發展,目前已出現集成化壓阻式壓力傳感器,它是將四個檢測電阻組成的橋路、電壓放大器和溫度補償電路集成在一起的單塊集成化壓力傳感器。
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壓阻式壓力傳感器優缺點
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壓阻式壓力傳感器組成
壓阻式壓力傳感器又稱為固態壓力傳感器,它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,另- -面是與大氣連通的低壓腔。
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當傳感器處在壓力介質中時,介質壓力作用于波紋膜片上,其中的硅油受壓,硅油將膜片的壓力傳感給半導體芯體。受壓后其電阻值發生變化,電阻信號通過引線引出。不銹鋼波紋膜片殼體感受壓力并保護芯體,因而壓阻式壓力傳感器能在腐蝕性的介質中感應壓力信號。
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70年代以來制成了周邊固定支撐的電阻和硅膜片的一體化硅杯式擴散型壓力傳感器。它不僅克服了粘片結構的固有缺陷,而且能將電阻條、補償電路和信號調整電路集成在一塊硅片上,甚至將微型處理器與傳感器集成在一起,制成智能傳感器。
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壓阻式傳感器的介紹
壓阻式傳感器piezoresistance type transducer是指利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發生變化,通過測量電路就可得到正比
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圖文詳解:壓阻式壓力傳感器在汽車上的應用
本文先介紹了壓阻式傳感器的工作原理,再結合MEMS(微機電系統)技術,介紹了智能化硅壓阻傳感器。通過性能分析和介紹智能化硅壓阻傳感器的信號調理設計,陳述了MEMS技術硅壓阻傳感器于汽車應用上的優勢。
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傳感器將各種物理信號轉化為電信號從而將汽車行駛的具體狀態傳送給電子控制單元來實現汽車控制。設計了基于 MEMS 技術和智能化信號調理的擴散硅壓力傳感器應對汽車壓力系統的壓
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