一、 組成結(jié)構(gòu)和工作原理

1、傳感器結(jié)構(gòu)

傳感器的簡(jiǎn)略結(jié)構(gòu)如圖所示，其連桿可以水平方向移動(dòng)，在連桿上固定了薄膜Fizeau干涉儀（TFFI），它的詳細(xì)構(gòu)造如圖所示。

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2、工作原理

（1）光信號(hào)調(diào)制

實(shí)際使用時(shí)將傳感器與讀數(shù)器（Demodulator）連接，讀數(shù)器中白光二極管光源發(fā)出的光從連接讀數(shù)器的光纖的一端入射，傳輸?shù)竭B接Fabry- Perot傳感器，再由多模光纖射出，照射在TFFI干涉儀（光楔）的表面。當(dāng)TFFI水平移動(dòng)時(shí)，照點(diǎn)的位置也會(huì)不同。光楔上下兩個(gè)表面都鍍有半反射 膜，因而構(gòu)成了Fabry-Perot腔體。當(dāng)讀數(shù)器發(fā)射的白光的一部分被第一個(gè)半反射鏡反射后，其余的白光穿過(guò)Fabry-Perot腔體，且再一次被 第二個(gè)半反射鏡反射回來(lái)，兩束反射光相互干涉，使得原來(lái)入射白光的光譜被調(diào)制。

假設(shè)光楔的材料是玻璃，取其折射率n=1.6，入射白光二極管波長(zhǎng)范圍根據(jù)文獻(xiàn)[1]取為600nm～1750nm。根據(jù)圖2，光楔上下表面反射光的光程差為2nh，假設(shè)光源光譜所有頻率光波的振幅皆為a，兩束光在相遇點(diǎn)發(fā)生干涉時(shí)的相位差為d，光楔面的反射率為R，透射率為1-R，則合成振幅y為：y=a+aRe-iδ??????????????????????????????????? （1）

據(jù)歐拉公式e-iδ＝cosδ－isinδ，可得：y(t)=a(1+ Rcosδ－iRsinδ)??????????????????????? （2）

光強(qiáng)與光波振幅的平方成正比，設(shè)光波相遇點(diǎn)的光強(qiáng)度為I，則：

I＝y(tǒng)(t)×y(t)*＝a2(1+R2+2Rcosδ)???????????????? （3）

對(duì)于TFFI的某個(gè)位置，光楔面的高度為h，不同波長(zhǎng)l的光對(duì)應(yīng)的干涉相位差δ為：

δ＝（2nh/l）×2p＝4pnh/l??????????????????? （4）

光強(qiáng)I的極值為：

I＝a2（1+R2+2R）????????????????????????????? （5）

在 TFFI干涉儀中，為了形成光的反射面，需要在光楔的上下表面各鍍上一層膜，而鍍膜具有一定的厚度，所以鍍膜上下表面的反射光將形成干涉，會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。因此，鍍膜的厚度應(yīng)控制在光源中心波長(zhǎng)的1/4，例如光源波長(zhǎng)為600nm~1000nm，則鍍膜厚度為800nm（假設(shè)鍍膜材料的折射率為1），這 樣鍍膜上下表面大部分的反射光相位差為180°，強(qiáng)度被衰減。

在圖2所示的坐標(biāo)系中，設(shè)入射點(diǎn)距坐標(biāo)原點(diǎn)的距離為x，光楔的傾斜角度為a，此時(shí)對(duì)應(yīng)的光楔面高度為h：

h＝7＋xtga （mm）???????????????????????? （6）

tga＝18/25000＝7.2′10-4

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這里取x＝12.5mm=12500mm來(lái)計(jì)算傳感器調(diào)制光的強(qiáng)度分布，將x的值代入（6）式可得h＝16mm，代入（4）式得到d，再把d代入（3）式即可得到光強(qiáng)I。取光源波長(zhǎng)范圍0.6mm～1.75mm，光楔鍍膜反射率R＝0.5，則可以得到如圖所示的光強(qiáng)分布圖。

可見，在光源光譜范圍內(nèi)部分波長(zhǎng)處產(chǎn)生了有限個(gè)干涉極大值。顯然，在傳感器所在的不同位置，TFFI對(duì)光源的調(diào)制情況是不同的，即干涉極大值對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值會(huì)發(fā)生變化。在波長(zhǎng)l較小處，干涉極大值的波峰也較密。

（2）光信號(hào)解調(diào)

讀數(shù)器（信號(hào)調(diào)理器）的作用是對(duì)傳感器送回的光信號(hào)進(jìn)行解調(diào)，從中解算出位移信號(hào)，以上過(guò)程可以用圖4表示。
讀數(shù)器中附帶了白光光源，從多模光纖返回的光經(jīng)過(guò)柱狀透鏡變?yōu)槠叫泄猓瑫?huì)投射在TFFI干涉儀的傾斜面上，而TFFI的下表面緊貼了一個(gè)對(duì)光強(qiáng)敏感的 CCD傳感器。如圖5所示，假設(shè)單色光均勻照射在光楔的上表面，則在x方向的每一點(diǎn)，光楔上下表面的反射光會(huì)形成干涉，而下表面透射的光被CCD所檢測(cè)。

這里假設(shè)解調(diào)用的TFFI干涉儀結(jié)構(gòu)與傳感器中的完全相同，即取自同一批次的產(chǎn)品，這樣可以消除由于光楔形位公差對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。?
給解調(diào)干涉儀輸入圖3所示的調(diào)制光信號(hào)。為簡(jiǎn)單起見，這里只考慮其中光強(qiáng)極大值對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)。這些波長(zhǎng)形成的干涉結(jié)果在CCD的長(zhǎng)度方向上進(jìn)行矢量疊加，由 于是白光干涉，所以疊加的次數(shù)越多，CCD上得到的干涉條紋越細(xì)銳。Matlab下的仿真結(jié)果如圖所示。

根據(jù)仿真結(jié)果，CCD在長(zhǎng)度為12.5mm的位置上的光強(qiáng)值恰好為最大，與傳感器中光纖處于光楔的中心位置時(shí)（x=12.5mm）正好對(duì)應(yīng)。

在傳感器位移為S時(shí)，光干涉強(qiáng)度最大的光波在讀數(shù)器的Fizeau干涉儀上也是干涉最大，所以分析CCD上光強(qiáng)最大點(diǎn)的所在坐標(biāo)位置x＝Smax，就可以得到傳感器的絕對(duì)位置S＝Smax。

二、 性能特點(diǎn)

根據(jù)前面的分析和有關(guān)資料，白光位移傳感器可以測(cè)量絕對(duì)位置，它具有如下特點(diǎn)：

（1）使用白光二極管光源而不是激光光源，因此不需要激光二極管所必須的預(yù)熱時(shí)間和恒溫控制，降低了對(duì)光源穩(wěn)定性的要求，而且白光LED的壽命也比激光二極管LD長(zhǎng)得多；

（2）傳感器和讀數(shù)器內(nèi)部使用了結(jié)構(gòu)相同的楔形薄膜干涉儀TFFI，這樣可以補(bǔ)償TFFI制造誤差帶來(lái)的測(cè)量誤差，通常在不加任何補(bǔ)償?shù)那闆r下得到的最大線性誤差為滿量程的0.15%；

（3）TFFI的制造工藝復(fù)雜，目前只能提供量程為20mm的位移傳感器，更大尺寸的TFFI制造困難，限制了這種傳感器量程的提高；

（4）這種傳感器本質(zhì)上是利用光楔上下表面的光程差進(jìn)行工作的，所以它對(duì)環(huán)境的震動(dòng)和光纖的參數(shù)變化不敏感。光楔（TFFI）一般選用對(duì)溫度不敏感的材料制造，傳感器中無(wú)透鏡，光纖的安裝不需要嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn)，因此它可以在惡劣的環(huán)境下工作；

（5）讀數(shù)器內(nèi)可以使用CCD或PSD光探測(cè)器，CCD接收到的光強(qiáng)分布可以有多個(gè)極值點(diǎn)，但通過(guò)合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以保證只有一個(gè)最大點(diǎn)，信號(hào)處理使用求極大值的算法。

這種傳感器的主要性能指標(biāo)如表所示：

三、 結(jié)論和展望

采用白光干涉原理的光纖位置傳感器可以測(cè)量絕對(duì)線位置和角位移，而且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、精度高，工作溫度范圍寬和對(duì)振動(dòng)不敏感的特點(diǎn)，所以有希望在光傳系統(tǒng)中得到應(yīng)用。