近期，根據歐姆龍株式會社宣布，歐姆龍已完成世界首次應用晶圓級真空封裝技術的紅外線傳感器的研發，成功開發了具有90度廣視野范圍并可實現高精度區域溫度檢測的16x16單元型非接觸式溫度傳感器，并擬于2013年10月開始出售樣品。

　　由于普遍用于人感傳感器的熱電傳感器無法檢測靜止不動的人物，所以難以檢測人數及人物所處位置。鑒于這種情況，歐姆龍開發了能夠檢測靜止人物，具有90度廣視野范圍并可實現高精度區域溫度檢測，用于人感傳感器的16×16單元型MEMS非接觸式溫度傳感器。

　　MEMS非接觸式溫度傳感器通過應用MEMS技術的熱電堆將對象物體發出的紅外線能源變為熱能，并通過兩種金屬接點之間溫差所形成的熱電動勢測量溫度。由于熱電堆所轉換的熱能大多數都會通過空氣散失，所以在金屬接點之間難以形成較大的溫差，致使熱電動勢變小，無法提高靈敏度。

　　這一次，世界首次成功將熱電堆真空封裝在芯片內。采用真空封裝即可避免將熱電堆轉換的熱能散失在空氣中，使金屬接點之間的溫差變大，從而可實現更高的靈敏度。

　　今后將與用于檢測人數及人物所處位置的演算法及非接觸式溫度傳感器結合在一起，作為組件化的人體傳感器竭力實現商品化。

　　據悉，配有該非接觸式溫度傳感器的人感傳感器展品將于7月3日（周三）至5日（周五），在日本東京Big Sight舉辦的“Nano Micro Biz 2013（原Micro Machine / MEMS展覽會）”展出。