通過基于微電子機械系統(tǒng)（MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM， MEMS）的加速傳感器和陀螺儀的設(shè)計，MEMS技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于導(dǎo)航和游戲軟件領(lǐng)域；但是，微型電磁式感應(yīng)器技術(shù)正越來越多地應(yīng)用于醫(yī)療領(lǐng)域。

　　MEMS普遍應(yīng)用于患者診斷器械中。這種診斷器械用于檢測患者心臟的功能。醫(yī)務(wù)人員通常采用的方法是通過心電圖來檢查患者心臟功能情況。在心電圖檢查過程中，醫(yī)務(wù)人員會將一套電極連接在人體上，使其與皮膚表面接觸。通過這種方法，我們可以測量復(fù)雜的向量心電圖（VCG）。向量心電圖是一種傳統(tǒng)的方法，它可以記錄患者心電P-QRS-T波的振幅和時間或者僅僅記錄R波峰值的時間。這種向量心電圖跟圖一所示的心率監(jiān)測或者運動計算機中顯示的圖像一樣。

　　圖一：心電圖中的P-QRS-T波。

　　心電圖可以為我們提供大量相關(guān)信息，這些信息包括心臟功能障礙、心臟疾病、以及心臟功能恢復(fù)情況、患者的軀體和心理壓力情況。但是，心電圖不能很好地檢查患者心臟的機械泵血功能或者心臟的機能。此外，這些電極可能會干擾患者的日常生活，尤其是干擾患者的娛樂活動和夜間的心電監(jiān)測。幸運的是，在醫(yī)療領(lǐng)域，我們可以通過其他手段來檢查心臟的功能情況，如心臟超聲監(jiān)護(hù)和心臟沖擊掃描圖（Ballistocardiology， BCG）。機械式心沖擊掃描圖記錄著心臟的電信號，但是其信號延遲30到40微秒。

　　利用心臟沖擊掃描圖，我們可以通過檢測胸部的動力和加速情況記錄心臟的機械活動。此外，還有一種方法，通過遙控心臟沖擊掃描圖，我們可以檢測心臟的泵血機能。運用遙控心臟沖擊掃描圖，我們可以不需要將電極或者器械接觸到患者的皮膚表面。這種方法對于檢測患者日常生活過程中的心電活動是一種很大的優(yōu)勢。由于血流通常朝一個方向流動，因此我們可以只需要記錄在一個軸的血流方向即可，例如人從頭到腳的長度軸向。

　　心臟沖擊掃描圖可以很好地用于預(yù)防性醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，如用于檢測身體和心理壓力情況或者用于檢測早期冠心病。圖二中顯示的波幅測量的是心臟的每搏輸出量：從時間上看，我們可以推斷出心臟的功能情況、心率、以及心率的變異情況。心率的變異情況很好地記錄了該患者的恢復(fù)情況和在檢測過程中承受的壓力情況。圖二中的振幅I和IJ可以有效地應(yīng)用于評估某些疾病的嚴(yán)重程度， 如動脈瓣膜病、冠心病、甚至可以評估患者的壽命。

　　圖二：心臟沖擊掃描圖波形。

　　通過加速傳感器記錄心臟的沖擊信號有很大的難度，心臟活動的加速信號十分低弱，而感應(yīng)器自身的噪音、環(huán)境噪音比較大，同時還可能存在醫(yī)療檢查過程中出現(xiàn)的機械頻率響應(yīng)和振動干擾（如測體重的電子稱和患者的病床）。在病床上監(jiān)測心臟沖擊掃描圖尤其重要，因為這種心臟沖擊掃描圖可以在不干擾患者睡眠的情況下，對患者的身體健康和功能恢復(fù)進(jìn)行監(jiān)測。心臟沖擊掃描圖不需要電極接觸，因此不會影響患者的日常活動，也不會干擾患者的睡眠。基于這種獨特的優(yōu)勢，心臟沖擊掃描圖在某些領(lǐng)域的作用十分顯著，這些領(lǐng)域包括監(jiān)測患有由于身體或者心理疾病而產(chǎn)生睡眠障礙的患者的心臟功能，以及監(jiān)測運動員最佳訓(xùn)練效果從而避免訓(xùn)練過度。

　　在一項最新的電子產(chǎn)品設(shè)計研究中，日本村田制作所（Murata）的電子工程師對住院病人在病床上的活動進(jìn)行了研究，并將患者的病床活動從心臟沖擊掃描圖信號中分離出來。經(jīng)過如此處理后的心臟沖擊掃描圖信號如圖三所示。該圖顯示隨著時間的推移，病床的共振對心臟沖擊掃描圖信號及其延遲有一定的影響。可靠的信號測量結(jié)果是在10-3g（cm/s2）范圍以內(nèi)，這要求具有優(yōu)異分辨率的傳感器。日本村田制作所生產(chǎn)的SCA121T加速傳感器能滿足這個要求。SCA121T加速傳感器的噪音密度大概為14μg/√Hz。

　　圖三：日本村田制作所的加速傳感器SCA121T從醫(yī)院病床上測量患者的心臟沖擊掃描圖波形。

　　采用先進(jìn)的濾波算法可以把心臟沖擊掃描圖信號從病床共振效應(yīng)和噪聲中分離出來。過濾后的心臟沖擊掃描圖所預(yù)估的心率和心臟每搏輸出量如圖四所示。由于心臟搏動到加速度記錄的轉(zhuǎn)換過程需要校正到絕對值，心臟每搏輸出量在此圖以任一單位表示，如立方分米（dm3）。圖四中的心臟每搏輸出量的差異只要不是太大就可以較好的用于評估心臟沖擊掃描圖記錄的準(zhǔn)確性以及記錄中的濾波算法和計算公式的準(zhǔn)確性。

　　圖四：估算的每搏輸出量。

　　圖四中心臟每搏的時間間隔是心臟每次起搏的時間。心率的差異（HRV）可以通過這種時間間隔及心率變動均數(shù)計算得出（參看圖五）。除了把傳感器安裝在病床上測試之外，SCA121T傳感器也可以安裝在浴室中的電子稱上進(jìn)行類似的測量。心率結(jié)果如圖六所示。

　　圖五：通過心率變動均數(shù)計算心臟搏動的間隔時間和心率變異度（HRV）。

　　圖六：SCA121T加速感傳感測量浴室電子稱的心臟沖擊掃描圖波形。

　　微電子機械系統(tǒng)的硅片傳感器技術(shù)集中了各種優(yōu)勢，包括體積最小，運用刻蝕技術(shù)（干和濕）和先進(jìn)的封蓋（硅片鍵合和玻璃絕緣）、接觸（電極可焊接或線接）設(shè)計。本文前面所提到的 SCA121T傳感器使用了整個硅片作為動量，它可以承受70000克左右的高沖擊。此外，因采用單晶硅結(jié)構(gòu)，它還具有其他主要特點，包括超范圍容量、無機械遲滯現(xiàn)象，無塑性變形。穩(wěn)定的電容檢測原理可以通過大的平行板電容結(jié)合高電容動力學(xué)來實現(xiàn)。因此，這種微電機械系統(tǒng)的傳感器就具備優(yōu)質(zhì)的信噪比。

　　當(dāng)我們根據(jù)心臟沖擊掃描圖原理設(shè)計心臟監(jiān)護(hù)儀時，設(shè)計工程師需要將傳感器的噪聲密度設(shè)定為14μg/√Hz，從而使心臟監(jiān)護(hù)儀的測量分辨率優(yōu)于一毫米每平方秒（1mm/S2）。噪音過濾也是非常關(guān)鍵的因素，如建筑物中的機械振動的濾除。對于共振，傳感器需要具備可控的頻率效應(yīng)，這種效應(yīng)通常通過機械阻尼來實現(xiàn)。最后，傳感器集成版可以通過先進(jìn)的信號濾波算法將真實的信號和在現(xiàn)實的檢測環(huán)境中出現(xiàn)的任何雜散的干擾信號相互分離。如果出現(xiàn)嚴(yán)重的噪音干擾，這種噪音的波形與心臟沖擊描計信號的波形類似，如波幅、頻率和序列，這時我們就需要采用一個額外的加速傳感器來測量監(jiān)測環(huán)境中出現(xiàn)的加速現(xiàn)象，從而對心臟沖擊描記信號進(jìn)行補償。此時，匹配兩個加速感應(yīng)器信號的相位就變得十分重要。

　　圖七：高度精確的電容加速感應(yīng)元件的簡化圖。