濕度傳感器基于不同的原理有多種類別：電容式、電阻式、重力測量式、微波式等；而基于敏感材料的不同又可分為：半導(dǎo)體氧化物、高分子材料、多孔的有機(jī)或無機(jī)材料等。濕敏元件是最簡單的濕度傳感器，主要有電阻式和電容式兩大類：

1）電阻式濕敏傳感器

濕敏電阻的特點(diǎn)是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜，當(dāng)空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時(shí)，元件的電阻率和電阻值都發(fā)生變化，利用這一特性即可測量濕度。濕敏電阻的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高，缺點(diǎn)則是線性度和產(chǎn)品的互換性差。濕敏電阻的種類很多，例如金屬氧化物濕敏電阻、硅濕敏電阻、陶瓷濕敏電阻等。其濕敏材料以多孔陶瓷種類最多。

2）電容式濕敏傳感器

濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酞亞胺、酪酸醋酸纖維等。當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生改變時(shí)，濕敏電容的介電常數(shù)發(fā)生變化，使其電容量也發(fā)生變化，其電容變化量與相對濕度成正比。濕敏電容的主要優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高、產(chǎn)品互換性好、響應(yīng)速度快、濕度的滯后量小、便于制造、容易實(shí)現(xiàn)小型化和集成化，其精度一般比濕敏電阻要低一些。

除電阻式、電容式濕敏傳感器之外，還有電解質(zhì)離子型濕敏傳感器、重量型濕敏傳感器（利用感濕膜重量的變化來改變振蕩頻率）、石英振子式濕敏傳感器、光強(qiáng)型濕敏傳感器、聲表面波濕敏傳感器等。

無論哪種形式的濕敏傳感器，其產(chǎn)品的基本形式都是在基片上涂覆感濕材料形成感濕膜。空氣中的水蒸氣吸附于感濕材料后，引起元件的質(zhì)量、阻抗、介電常數(shù)等參數(shù)發(fā)生很大的變化，從而制成濕敏元件。因此，傳統(tǒng)的濕敏傳感器還存在著以下一些問題：

a）長期穩(wěn)定性差。在檢測環(huán)境濕度時(shí)，濕敏元件要長期暴露在待測環(huán)境中，很容易被污染而影響其測量精度及長期穩(wěn)定性。

b）傳感器的互換性差，對氣體的選擇性也較差。

c）校準(zhǔn)和標(biāo)定的時(shí)間長而復(fù)雜。因?yàn)榇祟悅鞲衅鞯妮敵?a target="_blank">信號通常是非線性的，這使得定標(biāo)有一定困難。

高濕型（》70%RH）、低濕型（《40%RH）、全濕型（0～100%RH）

電解質(zhì)型：以氯化鋰為代表，它是在絕緣基板上制作一對電極，涂上氯化鋰鹽膠膜。氯化鋰極易潮解，并產(chǎn)生離子電導(dǎo)，隨濕度升高而電阻減小。

陶瓷型：一般以金屬氧化物為原料，通過陶瓷工藝，制成一種多孔陶瓷，利用多孔陶瓷的阻抗對空氣中的水蒸氣的敏感特性而制成。

高分子型：在絕緣基板上通過涂覆或者旋轉(zhuǎn)涂膜儀附上一層有機(jī)高分子感濕膜制備成濕敏元件。其基本特點(diǎn)是材料來源廣泛、制作工藝簡單、無需加熱清洗、適于批量生產(chǎn)，應(yīng)用范圍廣，實(shí)用性強(qiáng)。另外，其性能優(yōu)異，可用于較寬濕度范圍的測量，濕滯回差小、響應(yīng)速度快、溫度系數(shù)小、使用壽命長。

在高分子型濕度傳感器的研究領(lǐng)域，聚合物電解質(zhì)由于其特殊的一些優(yōu)點(diǎn)比如：容易加工、價(jià)格低廉、響應(yīng)快而且靈敏度高而被研究者在過去的幾年中廣泛關(guān)注。然而其不足之處是由于其在水中的可溶性而使其在應(yīng)用時(shí)在高濕度下會影響其濕敏性質(zhì)。