進行MEMS制造的最基本需求是能夠沉積1到100微米之間的材料薄膜。NEMS的制造過程是基本一致的，膜沉積的測量范圍從幾納米到一微米。
2022-10-11 09:12:59
1193 MEMS傳感器在各類電子產品上快速普及，我們身邊的智能手機、平板電腦等幾乎所有電子設備無不包含，然而大部分人對MEMS技術還是比較陌生的。 MEMS技術的應用主要有傳感器和執行器兩部分，本文
2023-08-21 17:23:164251 
MEMS傳感器是當今最炙手可熱的傳感器制造技術，也是傳感器小型化、智能化的重要推動了，MEMS技術促進了傳感器的極大發展。
2023-11-05 10:13:46633 
中科融合是一家國際領先的先進光學智能傳感器芯片企業，是國內唯一擁有自主研發“MEMS芯片+SOC芯片+核心算法”，并且提供完整的AI+3D芯片以及模組產品的創新型高新技術企業。MEMS激光微振鏡投射芯片是實現動態結構光條紋投影的核心部件。
2023-12-14 14:43:23547 
MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34:57
層，該多晶硅層被圖案化為可移動的機械結構，并通過犧牲性蝕刻下面的氧化物層來釋放。叉指式梳狀電極用于產生平面內力并以電容方式檢測平面內運動。這種MEMS范例使制造低成本的加速度計成為可能適用于例如汽車
2021-01-05 10:33:12
產生的不受歡迎的噪聲水平。半導體構造技術與音頻前置放大器的加入進一步使得制造具有緊密匹配，溫度穩定性能特性的MEMS麥克風成為可能，使其非常適合于多麥克風陣列應用。在制造過程中，MEMS麥克風還可以承受回流焊
2019-02-23 14:05:47
和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統的半導體工藝和材料，以半導體制造技術為
2016-12-09 17:46:21
高。MEMS技術使數以萬計的MEMS芯片（有些工藝也會把集成電路芯片放在同一步驟加工）出現在了每一片wafer上面，如下圖所示。這種批量生產（batch process）的過程目前已經全自動化控制
2018-11-12 10:51:35
，；應用最多的屬于振動陀螺儀，通常，它與低加速度計一起構成主動控制系統。MEMS傳感器的廣泛應用，強烈需要研究出高精密汽車傳感器焊接工藝。 汽車MEMS傳感器芯片多以單晶硅或多晶硅或微硅質量塊作為材料
2022-10-18 18:28:49
MEMS傳感器，也就是我們常說的智能傳感器，是應用最廣泛的MEMS器件。它一般是把信號處理電路和敏感單元集成制作在一個芯片上，這樣能夠感知被測參數，并且還能對所得到的信號進行分析、處理和識別、判斷
2013-10-11 16:21:38
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機電系統的縮寫，MEMS技術建立在微米/納米基礎上，是對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術，完整的MEMS是由微傳感器、微執行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統。
2019-09-29 09:34:52
器件或系統。MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的，目前MEMS加工技術還被廣泛應用于微流控芯片與合成生物學等領域，從而進行生物化學等實驗室技術流程的芯片集成化
2018-09-07 15:24:09
電子器件中使用的傳感器處理導致的。這可能導致通過傳感器信號路徑的相位相關誤差波動增加，特別是在卡爾曼濾波器中。MEMS IMU的可用帶寬為330 Hz，采用嵌入式的可調濾波系統，提供合理平衡的方法，最大
2018-10-18 10:55:34
流片過程中實現的，需要在潔凈環境中按照晶圓處理流程操作。相比而言，集成電路的大部分封裝都是在晶圓被切割完成后的芯片級完成的，對封裝過程的環境潔凈程度沒有特別高的要求。MEMS芯片設計者更愿意使用成本
2010-12-29 15:44:12
的自動測試設備制造商特別有價值。圖8. ADI引線框芯片級封裝MEMS開關（四開關）與典型機電式RF繼電器（四開關）的尺寸比較結語ADI公司開發的MEMS開關技術使開關性能和尺寸縮減實現了大跨越。同類最佳
2018-10-17 10:52:05
MEMS技術
2012-08-14 23:03:38
MEMS器件目前主要應用于汽車和消費電子，未來在醫療、工業、航空航天市場也將逐漸普及。那么MEMS是什么？有什么特點？MEMS設計與制造面臨哪些困難？本文將會一一解答。 MEMS是什么？ 微機
2018-11-07 11:00:01
哪位大佬可以詳細介紹下MEMS技術到底是什么
2020-11-25 07:23:59
各角度的進行控制拍攝，15分鐘左右完成整個胃部檢查，之后自然排出體外。 圖為重慶金山科技有限公司生產的膠囊胃鏡膠囊胃鏡內部結構膠囊胃鏡的工作過程2、人體芯片圖為可植入人體芯片3、MEMS隱形眼鏡圖為
2018-10-15 10:47:43
微機電系統 (MEMS) 將很快成為智能系統設計和構造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距，它們用于眾多應用，涉及各種細分市場。在眾多細分市場中，價格降低、準確度要求提高和快速面市需求將對設計和制造性能提出新的約束條件。企業要獲得成功必須找到新的方法來應對這些挑戰。
2019-10-17 07:11:28
作為一項基于固態電子器件和內置半導體制造設施技術，MEMS向狀態監控產品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態監控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
很多通信系統發展到某種程度都會有小型化的趨勢。一方面小型化可以讓系統更加輕便和有效，另一方面，日益發展的IC制造技術可以用更低的成本生產出大批量的小型產品。MEMS
2019-06-24 06:27:01
近來全球各大半導體廠似乎掀起一股MEMS熱，無論是最上游的IC設計公司、晶圓代工廠、一直到最終端的封裝測試廠，就連半導體機器設備商，也一頭栽進MEMS世界，甚至近來半導體公司工程人員見面不乏問一句，你們家MEMS了嗎!由此已可看出MEMS對于多數全球半導體大廠來說，已成為必須發展的產品線!
2019-10-12 09:52:43
作者：Mark Looney簡介MEMS加速度計終于達到了能夠測量廣泛機器平臺振動的階段。其最近的能力進步，加上MEMS加速度計已有的相對于傳統振動傳感器的諸多優勢（尺寸、重量、成本、抗沖擊性
2019-07-22 06:31:06
工欲善其事，必先利其器，對MEMS和BLE這對璧人來說那就是需要那就是MEMS需要將自己迷人的曲線展現出來，BLE需要將內心的話說出來。
2019-09-11 11:52:38
進行設計，由此確定器件的結構、使用的材料、應用的工作原理和感應技術等。MEMS設計人員可以根據模擬和建模工具選擇制造傳感器的最佳工藝和材料，并預測MEMS磁傳感器的性能。同時設計人員必須考慮器件制作過程
2018-11-09 10:38:15
是MEMS器件普遍采用的一種封裝形式，改為塑料封裝后可能會增加應力和靈敏度。制造商在封裝過程中對器件進行校準，將之作為測試的一部分，但如果在以后的裝配過程中遇到意想不到的變化，像線路板翹曲和扭曲等，這些
2014-08-19 15:50:19
MEMS麥克風制造的推薦焊接參數（即焊膏厚度）是多少？以上來自于谷歌翻譯以下為原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16:47
商的MEMS麥克風展開技術和制造工藝分析，并給出這些產品的技術相似處和差異點。產品和專利之間的聯系本報告選出一些產品特性（主要和MEMS麥克風芯片相關）來進行專利研究：* 工藝：膜結構、防粘塊
2015-05-15 15:17:00
解釋MEMS麥克風數據手冊中出現的技術規格和術語
2021-03-10 07:02:08
的應用，為新型麥克風技術的發展創造了機會。新技術應當能改善上述缺點，讓制造商生產出更高質量、更加可靠的設備。微機電系統(MEMS)技術是電容麥克風變革的中堅力量。MEMS麥克風利用了過去數十年來硅技術
2019-11-05 08:00:00
MEMS質量塊位移引起的輸出電容變化。Kx/c等于： 其中C0是電容的剩余容量。上述Vp表達式只是用于展示Vp的相關性。 圖1:MEMS慣性傳感器 傳感部分模型但是在像Σ-Δ環路中那樣的動態電壓激勵
2018-12-05 15:12:05
國際IDM大廠MEMS產品持續向前邁大步，近期已有IDM業者將原本單純MEMS傳感器加裝MCU芯片，進一步升級為多功能MEMS感測芯片，半導體業者表示，Freescale打算在短時間內結合自家MCU
2019-07-26 07:08:58
近年來射頻微電子系統(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關注，特別是MEMS開關構建的移相器與天線，是實現上萬單元相控陣雷達的關鍵技術，在軍事上有重要意義。在通信領域上亦憑借超低
2019-07-29 08:31:54
的設計、制造和封裝已經是目前研究的熱點。采用微細加工工藝將微米尺度下的微機械部件和IC電路制作在同一個芯片上形成高度集成的功能單元。由于MEMS單元具有體積小、響應快、功耗低、成本低的優點，具有極為廣闊
2019-06-24 06:11:50
和汽車應用市場供應大量產品。MEMS傳感器和信號調理電路芯片在半導體制造設備中的生產能力，也可用于工業和航空領域，有助于降低總體成本。此外，過去25年來，汽車應用領域已安裝了超過十億個傳感器，事實證明
2018-10-11 10:31:14
、振動、濕度和時間的影響。由于耐熱性強，MEMS麥克風可承受260℃的高溫回流焊，而性能不會有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小，還可以節省制造過程中的音頻調試成本。MEMS麥克風需要ASIC提供
2016-05-17 12:01:13
等優點。MEMS微流控是純粹的機械結構，制作微流控芯片的主要材料包括硅、玻璃、石英、高聚物、陶瓷、紙等。（6）射頻MEMS（含FBAR）射頻是一個和大家息息相關的領域，只要涉及到無線通信（2345G
2021-04-09 07:00:00
等優點。MEMS微流控是純粹的機械結構，制作微流控芯片的主要材料包括硅、玻璃、石英、高聚物、陶瓷、紙等。（6）射頻MEMS（含FBAR）射頻是一個和大家息息相關的領域，只要涉及到無線通信（2345G
2021-05-25 07:00:00
什么是壓電MEMS揚聲器？壓電MEMS揚聲器UT-P 2016的指標規格有哪些？壓電MEMS揚聲器UT-P 2016的應用有哪些？
2021-06-16 08:50:27
，MEMS 振蕩器制造商使用標準的半導體批量模式技術。 這包括諧振器和振蕩器 IC 的晶圓級生產，以及使用塑料封裝與標準引線框架進行芯片鍵合。 SiTIme MEMS 諧振器芯片由純硅的單一機械結構制成
2021-11-12 08:00:00
加速度計的芯片結構。用于傳感檢測的MEMS芯片和用于控制的IC芯片通常混合集成在一個殼體里面。此外，MEMS技術在生活中的其他應用包括MEMS麥克風、MEMS投影儀、MEMS壓力傳感器，等等。圖.3
2020-05-12 17:27:14
做一個基于MEMS的轉臺伺服控制系統，原理已經初步設計，硬件有人做，缺一個對MEMS了解，熟悉自動控制系統開發的合作伙伴，有意者回信。dodmail@qq.com注明：MEMS
2014-12-15 18:43:05
進的MEMS開關制造設備，ADI公司目前可以批量生產高性能的快速小型MEMS開關，此類開關的特點是機械耐用、功耗低且具有靜電放電 (ESD) 保護功能。MEMS開關技術ADI MEMS開關技術的關鍵是
2018-11-01 11:02:56
、較強的溝通協調能力5、較好的團隊合作能力c)應聘方式：請應聘者將簡歷及相關材料（學歷學位證書、在校成績單、四六級證明、獲獎成果等），發送至 jobs@sinoist.com.cn 。蘇州原位芯片科技公司
2016-08-15 11:03:52
與主動組件、相機穩定與GPS的陀螺儀、小型燃料電池與生化芯片等，應用最多的傳感器是加速計、陀螺儀與MEMS硅麥克風，其中加速度計是該市場中第一大應用產品。而近期陀螺儀增長迅速，已經成為繼加速度計后
2016-12-07 15:43:48
，都是把兩個截然不同的元件結合起來，一是諧振器，一是能補償諧振器頻率的任何漂移(drift)的放大器IC/基座芯片。采用MEMS使振蕩器的制造大為改善，因為它免除了石英振蕩器所需要的復雜材料處理技術，并且
2014-08-20 15:39:07
、國防、航空、航天等領域知名公司有著深入的合作。Radant MEMS 公司產品包括：射頻開關、MEMS開關、開關芯片、MEMS移相器等等。產品都可以提供表貼式、嵌入式、同軸連接器等。易譜科技有限公司——專業的射頻微波毫米波太赫茲產品與儀器代理商！電話：028-8521 2825
2014-10-24 11:36:26
穩定控制系統中的剎車傳感器，側面氣囊，與日益嚴格的排放標準相關的引擎控制，大氣壓力與廢氣再循環壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴散雜質形成四只
2016-12-07 15:42:36
MEMS有各種尺寸和功能，從微型化的傳感器芯片，到獨特的微納米架構，可以感知、測量、傳輸并控制幾乎所有傳感模式。MEMS實現了具有感知、控制和執行能力的增強型微系統，這在十多年前幾乎無法想象。
2020-08-05 07:06:14
電子設備和通信系統設備的振蕩器選擇是影響系統性能的主要因素。目前振蕩器有兩種：石英晶體振蕩器是由石英晶體的基本結構構成，和一個簡單的振蕩器電路。全硅MEMS諧振器，鎖向電路，溫度補償，以及制造校準
2020-05-30 13:25:53
組件整合到產品中的過程。 MEMS芯片在消費性電子裝置中的應用日益廣泛，可為終端產品提供影像穩定、室內導航等等傳統電子組件無法提供的先進功能；但目前各家MEMS傳感器元 件制造商所采用的接口各不相同
2018-11-13 16:11:08
隨著More-Than-Moore(超摩爾定律)的口號越來越響亮，逐漸帶動物聯網(IoT)、智能穿戴設備的興起。而這些設備里面不可或缺的就是MEMS傳感器，所以前面花了兩堂課講了一些MEMS相關
2021-11-17 07:45:26
作者：Ed Spence市場上出現了很多采用微型機電系統(MEMS)加速度計作為核心傳感器的高度集成和易于部署的狀態監控產品。這些經濟產品有助于減少總體部署和擁有成本，并且可在該過程中擴展受益于狀態
2019-07-17 06:38:53
有沒有類似與MPU6050的MEMS芯片，檢測精度是毫米級，掛在導線上測量導線位移的，不是激光的或者超聲波的，有這樣的傳感器嗎？？？
2019-06-06 00:54:40
隨著傳感器、物聯網應用的大規模落地，微機電系統（MEMS）在近些年應用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時，與之相對應的MEMS封裝也開始備受關注。
2020-05-12 10:23:29
UI-X6220是一個專用于MEMS芯片的數字功能測試板卡，可用于多功能測試，量產測試等 每張板卡有32個通道，每個通道有PMU功能，通過多板卡級聯，能
2021-12-08 14:49:48
UI300系列MEMS芯片測試系統是由聯合儀器推出的基于PXI架構的針對MEMS傳感器的高度集成自動測試系統解決方案。該系統可以通過專用的硬件
2021-12-13 17:15:49
UI-X6220是一個專用于MEMS芯片的數字功能測試板卡，可用于多功能測試，量產測試等。每張板卡有32個通道，每個通道有PMU功能，通過多板卡級聯，能擴展到最多512個
2022-02-21 15:14:54
SPEA DOT100 MEMS設備導向型測試儀DOT100 MEMS測試設備SPEA DOT100設備導向型測試儀：這臺設備就是設計來解決MEMS和其他低接腳計數裝置的測試要求在一個
2022-09-14 14:43:03
MEMS單軸陀螺儀芯片利用作用在旋轉物體上的科里奧利力。高Q值和相對靈敏度的壓電單晶通過采用，雖然體積小，但在振動型中實現了最高的輸入/輸出靈敏度比。
2022-11-21 13:24:32
MEMS交換,MEMS交換原理是什么?
采用微電子機械技術（MEMS）的光交換。這種光交換的結構實質上是一個二維易鏡片陣，當進行光交換時
2010-03-20 11:03:48664 MEMS,什么是MEMS
MEMS（Micro Electromechanical System，即微電子機械系統）是指集微型傳感器、執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通
2010-03-20 16:08:241030 MEMS是什么意思呢?電子發燒友網為大家整理了MEMS技術,MEMS傳感器,MEMS陀螺儀,MEMS麥克風等相關知識。深入詳盡的解釋了MEMS技術的發展及應用。
2012-03-31 16:54:29
基于MEMS 芯片的周界探測系統構成 一般的周界探測系統和物聯網系統的基本構成是相似的： 傳感、網絡以及控制管理。 基于MEMS 芯片的振動傳感器-ViSEN 振動傳感器ViSEN
2017-10-18 15:22:51
12 MEMS器件動態特性的光學測量就是一種有效的測試手段。先進的光學測量技術對MEMS器件在開發過程中了解其全視野動態響應，完成各種不同的物理特性的多種參數（尺寸、薄膜厚度、臺階高度、橫截面、粗糙度、壓力、靜摩擦、彈性模量、響應時間、熱膨脹、諧振頻率，等等）的測量。
2018-07-13 14:40:0015577 MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年Fabless模式的MEMS器件制造商發展迅速
2018-07-31 09:24:002544 MEMS產業增長潛力巨大，而MEMS制造是產業持續發展的瓶頸還是將潛力兌現成現實的關鍵路徑?據麥姆斯咨詢報道，漫長的開發周期、繁多的制造平臺、研發期間的用量少帶來的高報價是阻礙新產品快速研發的主要絆腳石。
2018-05-21 23:27:003239 
罕王微電子（遼寧）有限公司成立于2011年5月，2013年3月罕王微機電高科技產業園開工建設，2015年7月MEMS芯片后端制造車間建成，2017年7月MEMS芯片前端制造車間建成，2018年底 8英寸MEMS生產線工程建設全部竣工。
2019-02-22 14:46:224594 深度反應離子刻蝕或DRIE是一種相對較新的制造技術，已被MEMS社區廣泛采用。
2020-03-14 11:04:075187 
MEMS(微電子機械系統)技術是一種使產品集成化、微型化、智能化的微型機電系統。在半導體集成電路技術之上發展起來的硅基MEMS制造技術目前使用十分廣泛。 國外技術發展日趨成熟 上世紀80年代
2020-04-03 15:27:421773 敏芯股份稱，MEMS芯片的制造工藝和集成電路芯片完全不同，且一種MEMS芯片對應一種制造工藝。芯片研發公司要想做出性能出色的MEMS芯片，首先要有自主開發生產工藝的能力。這是MEMS芯片企業創業艱難的核心所在，也是公司推動MEMS產業鏈全國產化的原因。
2020-05-30 11:08:1413787 那MEMS傳感器又是什么？MEMS傳感器就是把一顆MEMS芯片和一顆專用集成電路芯片（ASIC芯片）封裝在一塊后形成的器件。左圖是一張典型的MEMS麥克風內部構造的放大圖，圖內右邊的芯片是MEMS芯片，左邊的芯片是ASIC芯片。右圖是封裝后的MEMS麥克風。
2020-06-12 09:42:2275919 MEMS器件利用半導體加工技術來制造三維機械結構，三種最常用的MEMS制造技術包括體微加工（Bulk Micro Machining）、表面微加工（Surface Micro Machining）和LIGA。
2020-07-29 17:42:586928 MEMS器件和集成電路（IC）芯片是通過類似的過程制造的。兩者都始于基礎襯底晶圓（通常是硅或玻璃），然后通過后續步驟進行構建和雕刻。
2020-08-11 16:24:151603 
倍。今日開盤后敏芯股份的股價一度暴漲接近291％。截至下午收盤，股價仍上漲269.4%，報收231.5元/股。 很多人聽供應商說過產品采用了Mems芯片，但對Mems芯片了解并不多。 MEMS的概念于20世紀50年代被提出，它是利用集成電路制造技術和微加工技術把微結構、微傳感器、控制處
2020-11-20 17:50:4810042 簡介：本節以truedyne sensor公司為例，介紹了他們的MEMS傳感器技術的積累過程。MEMS傳感器的技術核心，是硅諧振測量通道，與傳統的諧振器技術相比，MEMS傳感器具有許多的優點，例如
2020-12-28 15:42:4019381 MEMS是一種制造技術，諸如杠桿、齒輪、活塞、發動機甚至蒸汽機都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業越來越被普通人熟知，而與芯片采用相同工藝的MEMS技術顯得有些神秘。什么是MEMS？ MEMS
2021-02-20 11:05:316656 MEMS工藝——半導體制造技術說明。
2021-04-08 09:30:41237 MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的縮寫，中文名稱是微機電系統。MEMS芯片簡而言之，就是用半導體技術在硅片上制造電子機械系統，再形象一點說就是做一個微米納米級
2021-07-09 15:39:4048908 測試MEMS器件需要不同的方法，因為有些MEMS芯片包含可動作的機械器件，測試時需要搖動器件來測試移動范圍與結構的一致性，但是這種測試各自有相應的問題，例如成本。 “用大型ATE設備測試成本敏感
2021-07-19 17:36:522253 贊助商廣告展示 原文標題：MEMS芯片制造工藝流程詳解 文章出處：【微信公眾號：今日半導體】歡迎添加關注！文章轉載請注明出處。 ? ? ? 審核編輯：彭靜
2022-07-11 16:20:185860 MEMS芯片和ASIC芯片是一個MEMS傳感器中技術和價值含量最高的部分。你知道MEMS芯片是怎么被制造出來的嗎？MEMS芯片與集成電路芯片有什么區別？ ? 此外，談到MEMS傳感器，我們還常
2023-05-30 08:36:581477 
關于 MEMS 芯片，首先要了解的是，當它們暴露在壓力或溫度下時，它們會產生相應的輸出（以毫伏為單位），前提是已提供輸入電壓或激勵電壓。 MEMS 芯片的毫伏輸出實質上是壓力值。 因此，在各種條件下測試芯片時，要在任何 MEMS 芯片中尋找的一般特性是穩定且可重復的輸出。
2023-06-07 15:22:501217 
MEMS 器件通常使用兩個芯片制造：一個來自 CMOS 晶圓，另一個來自 MEMS 晶圓。這種兩芯片制造工藝給制造商帶來了一些挑戰。為 MEMS 和 CMOS 生產單獨的晶圓成本高昂，會延長上市時間，而且只能生產小批量（特別是在硅短缺的情況下）。
2023-08-15 16:14:40550 
本文整理自公眾號芯生活SEMI Businessweek中關于MEMS制造工藝的多篇系列內容，全面、專業地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況，推薦！ ? 作為現代傳感器重要的制造技術，MEMS
2023-10-20 16:10:351408 
以最清晰明了的方式，圖解直觀闡述MEMS傳感器芯片的制造過程和原理！ MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微機電系統）的縮寫，具有微小的立體結構（三維結構），是處理各種輸入、輸出信號的系統的統稱。 ? 是利用微細加工技術，將機械零零件、電子電路
2023-11-02 08:37:09777 
來源：半導體行業觀察，謝謝 編輯：感知芯視界 Link 半導體與微機電系統（MEMS）集成是指將MEMS器件與集成電路（IC）集成在單個芯片上，從而縮小封裝/減少重量和尺寸，提高性能，并降低儀器
2023-11-24 09:19:31287 膜厚測試在MEMS制造工藝中至關重要，它不僅關乎工藝質量，更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質，精確測量薄膜厚度是不可或缺的一環。
2024-01-08 09:40:54262 
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