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電子發燒友網>MEMS/傳感技術>MEMS壓電超聲換能器CMUT&PMUT以及生產工藝

MEMS壓電超聲換能器CMUT&PMUT以及生產工藝

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33khz超聲波清洗換能器振子是超聲波清洗機和清洗設備中將壓電效應轉換成機械能震動的關 鍵部件。現有的超聲換能器由質量塊、發射頭、壓電元件等構成,發射頭的端面是一個水 平面,這種換能器都需要通過
2023-03-17 15:51:29217

基于ScAlN壓電微機械超聲換能器的小型化時差式超聲波流量計

在本研究工作中,所開發的流量計由兩個基于PMUT的收發器和一個測量通道組成。收發器包含前匹配層、防水層、小型化外殼等。作為塊體型壓電換能器的小型化替代方案,PMUT以彎曲模式(flexural mode)工作。PMUT由夾在兩個鉬(Mo)電極和硅(Si)無源層之間的薄膜ScAlN壓電層組成。
2023-05-05 09:47:44743

敏芯股份提供基于PMUT的TOF測距模組的驅動和控制電路

壓電微機械超聲換能器(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer,PMUT)是一類通過壓電材料的正逆壓電效應使壓電薄膜振動,從而發射或者接收
2023-05-26 15:37:12582

壓電陶瓷功率放大器在壓電超聲換能器的應用

壓電陶瓷功率放大器在壓電超聲換能器的應用是一種將電能轉化為機械振動能量的技術。該技術通常應用于醫學、工業和科研領域,可以實現高效、精確的超聲波輸出。本文將介紹壓電陶瓷功率放大器在壓電超聲換能器
2023-05-29 17:42:38641

電解銅箔生產工藝介紹

電解銅箔生產工藝介紹
2023-05-30 17:07:01701

高壓放大器在壓電薄膜超聲換能器實驗中的應用

實驗名稱:高壓放大器在玻璃基壓電薄膜超聲換能器實驗頻率響應特性測試中的應用。實驗目的:基于壓電薄膜超聲換能器基本原理,根據聲頻定向基本理論和具體應用場景,通過對比傳統壓電換能器結構,提出了適用于本課
2022-07-29 10:18:43421

CMUT電容式微機械超聲換能器

CMUT首先由M.I.Haller提出。CMUT 換能器是由多層結構和多層材料構成。CMUT電容單元結構如圖 2 所示,從上到下依次為金屬鋁上電極氧化硅電氣隔離層、絕緣體上硅(silicon
2023-06-28 09:23:491409

基于應變模態振型的可配置PMUT電極設計

壓電式微機械超聲換能器PMUT)已成為傳統塊體型壓電技術的可行替代品,特別是在小型化、低成本、低驅動電壓、易于制造和集成到前端電子器件的應用中至關重要。
2023-08-08 10:47:52174

面向醫療應用的ScAlN PMUT的開發設計

微加工技術的進步推動了高性能電容式微機械超聲換能器CMUT)和壓電式微機械超聲換能器PMUT)的發展。
2023-08-09 09:43:47813

壓電超聲波線路板電路驅動換能器

壓電超聲波線路板電路其主要作用是輸出與超聲換能器相匹配的超聲波信號,使換能器發生諧振,從而將電能轉換為機械能,同時與熱能、壓力能相互作用,實現穩定可靠的引線連接。超聲波發生器的性能決定著超聲輸出
2023-09-12 15:43:02470

如何利用高階模態設計高性能高頻PMUT呢?

壓電式微機械超聲換能器PMUT)已被應用于指紋識別、物體檢測和醫學成像等領域。
2023-09-14 09:24:00634

基于行列尋址的PMUT柔性曲面陣列設計

微機械超聲換能器(MUT)是利用MEMS技術制備的一種新型超聲換能器。其中,壓電式微機械超聲換能器PMUT)被廣泛應用于超聲成像系統。
2023-09-19 10:13:12448

一種集成Helmholtz諧振腔的聲壓增強型PMUT設計

壓電式微機械超聲換能器PMUT)在醫療成像、測距、無損檢測和流量感應等領域有著廣闊的應用前景。PMUT通過撓性膜的振動輸出超聲壓力波,因此,輸出聲壓的強度是衡量其測距能力的一個重要指標。
2023-09-25 14:09:38309

利用CMUT面陣進行非接觸式三維超聲反射成像

與傳統工藝制作的壓電塊體型超聲換能器相比,電容式微機械超聲換能器CMUT)具有阻抗匹配特性良好、帶寬大、體積小等優勢,在醫學超聲成像和無損檢測方面得到了廣泛應用。
2023-09-27 09:45:53563

基于不同的結構參數對PMUT性能的影響

壓電式微機械超聲換能器PMUT)具有易與水和空氣聲阻抗匹配,以及集成度高的特性,引起了學者的廣泛關注。PMUT在醫療成像、手勢識別、內窺成像和指紋識別等領域有著重要的應用,而靈敏度等性能是影響其成像質量的主要因素。 據麥姆斯
2023-10-09 09:15:37335

基于AlN壓電材料的PMUT的模態分析

,如體積小、功耗低、可批量制造和一致性好等。其中,電容式微機械超聲換能器CMUT)可以達到較高的機電耦合系數,但是也需要較小的空氣間隔和較大的偏置電壓,制造難度較大。壓電式微機械超聲換能器PMUT)則不需要偏置電壓也可以工作。
2023-10-12 09:11:37551

壓電MEMS超聲換能器如何解決解決頻率控制難題?

與傳統的壓電陶瓷超聲換能器相比,壓電MEMS超聲換能器PMUT)具有體積小、功耗低、CMOS工藝兼容性等優點。
2023-10-16 09:48:42239

PCB生產工藝流程.zip

PCB生產工藝流程
2022-12-30 09:20:3432

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