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電子發燒友網>制造/封裝>華為布局光量子芯片計劃,不用光刻機也能量產

華為布局光量子芯片計劃,不用光刻機也能量產

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光刻機結構組成及工作原理

本文以光刻機為中心,主要介紹了光刻機的分類、光刻機的結構組成、光刻機的性能指標、光刻機的工藝流程及工作原理。
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荷蘭光刻機為什么厲害_為何光刻機不賣給中國

荷蘭作為光刻的生產大國,很多人紛紛都在問為什么荷蘭能生產二中國不行.本文主要分析了中國光刻機的發展分析以及與荷蘭之間的差距,詳細的說明了荷蘭光刻機為什么厲害,為何光刻機不賣給中國的原因。
2017-12-19 14:56:42124546

光刻機價格多少_還有比光刻機更貴的設備嗎

光刻機芯片制造中光刻環節的核心設備, 技術含量、價值含量極高。 光刻機涉及系統集成、精密光學、精密運動、精密物料傳輸、高精度微環境控制等多項先進技術,是所有半導體制造設備中技術含量最高的設備,因此也具備極高的單臺價值量。
2018-04-10 10:19:4736248

我國芯片產業為何會被光刻機掐住了脖子?

,不過它的底片是涂滿光敏膠(也叫光刻膠)的硅片。各種電路圖案經激光縮微投影曝光到光刻膠上,光刻膠的曝光部分與硅片進行反應,將其永久的刻在硅片上,這是芯片生產的最關鍵步驟。 由于光刻機芯片最后的封裝,以及平板顯示器件生產都可以用到,所以這里的光刻機一般特指芯片生產的前道光刻
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中國搞定世界最大光量子芯片 秒殺傳統PC

據報道,中國科研人員已經研發出了世界上規模最大的光量子芯片,并成功進行了模擬量子計算演示。
2018-05-15 10:02:335192

中國科學家制備出世界上最大規模光量子計算芯片

中國研究人員制備出大規模光量子芯片,并成功進行了一種重要的模擬量子計算演示。 發表在最新一期美國《科學進展》雜志上的研究顯示,上海交通大學金賢敏團隊通過“飛秒激光直寫”技術制備出節點數達49×49的光量子計算芯片。論文通訊作者金賢敏對新華社記者說,這是目前世界上最大規模的光量子計算芯片
2018-05-26 01:18:004994

中外科研人員合作開發出光量子計算芯片

中國科研人員參與的國際團隊20日在英國《自然·光子學》雜志發表論文說,他們利用硅光子集成技術開發出一款通用光量子計算芯片,能夠用于執行不同的量子信息處理任務,這是推動光量子計算機大規模實用化的重要
2018-08-25 10:26:003412

關于光刻機這些知識您得知道

光刻機不光是制造芯片用。一張平面(不論硅片還是什么材料)想刻出繁復的圖案,都可以用光刻——就像照相,圖像投在感光底片上,蝕掉一部分。
2018-12-13 09:44:4510699

光刻機有什么用

光刻機的作用有多大,在這時候就體現出來了。即便是自己能夠研發出芯片了,但是沒有光刻機還是不能批量生產。并且就現在來說國際上的光刻機咱們國家大陸地區還是買不到的,似乎是在進行技術封鎖,這也就苦了華為這樣能夠自主研發芯片的公司。
2019-03-13 15:16:0720007

光刻機是干什么用的

光刻機的作用,顧名思義,就是“用光來雕刻的機器”。是用來實現上面說到的“光線侵蝕光刻膠”的目的的。
2019-03-14 14:12:01214098

ASML光刻機進駐粵芯半導體 為其量產計劃提供有力保障

近日,智光電氣在互動平臺表示,廣州粵芯半導體公司采購的是荷蘭ASML的光刻機,已于2019年3月中旬搬進粵芯半導體主廠房,目前在做量產前的最后調試準備。
2019-05-29 11:04:0614809

光刻機為何在我國是個難題

 光刻機芯片制造最為重要的設備之一。目前,ASML壟斷了全世界的高端光刻機。中國一直以來都想掌握光刻機技術,但是上海微電子經過17年的努力,才造出90nm的光刻機,這已經十分不容易了,這可是0的突破。那么為什么光刻機這么難造呢?
2020-01-29 11:07:007799

光刻機公開全部圖紙也模仿不了

眾所周知,說起芯片,大家就會想到光刻機,說起光刻機,大家就會想到ASML。因為在芯片生產中,光刻機特別重要,而ASML又是高端光刻機的壟斷者,占了85%以上的高端市場。
2020-02-20 20:30:455443

中芯國際進口大型光刻機年底實現N+1芯片工藝量產

相信大家都知道,在前一段時間,中芯國際成功量產14nm芯片的消息,也是瞬間傳遍祖國大江南北,而作為我國大陸目前最先進、最大的晶圓代工廠,近日,中芯國際也是再次傳出了好消息,根據國內相關媒體報道
2020-03-13 14:31:207033

光刻機中國能造嗎_為什么中國生產不了光刻機

,中國最好的光刻機廠商上海微電子裝備有限公司(SMEE)已經量產光刻機中,性能最好的SSA600/20工藝只能達到90nm,相當于2004年上市的奔騰四CPU的水準。而國外的先進水平已經達到了7納米,正因如此,國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。
2020-03-18 10:52:1189226

光刻機能干什么_英特爾用的什么光刻機_光刻機芯片生產有何作用

光刻機芯片制造的核心設備之一,作為目前世界上最復雜的精密設備之一,其實光刻機除了能用于生產芯片之外,還有用于封裝的光刻機,或者是用于LED制造領域的投影光刻機。目前,我國高端的光刻機,基本上是從荷蘭ASML進口的。
2020-03-18 11:12:0244388

音圈電機在光刻機掩模臺系統中的應用

作為芯片制造的核心設備之一,光刻機芯片生產的工藝有著決定性影響。 據悉,光刻機按照用途可分為生產芯片光刻機、封裝芯片光刻機以及用于LED制造領域的投影光刻機。其中,生產芯片的High End
2020-06-15 08:05:54999

開發頂級光刻機的困難 頂級光刻機有多難搞?

頂級光刻機有多難搞?ASML的光刻機,光一個零件他就調整了10年!拿荷蘭最新極紫外光EUV光刻機舉例,其內部精密零件多達10萬個,比汽車零件精細數十倍!
2020-07-02 09:38:3911513

中國光刻機和荷蘭光刻機有什么區別

芯片是半導體中的積分器,目前芯片的利用率很高,要想在技術領域有所突破,就必須在芯片領域發展。在芯片制造中,最受關注的是光刻機的發展。到目前為止,我國光刻機制造領域還比較缺乏機械。我們的光刻機技術相對
2020-08-02 10:32:3224155

華為何時能造出自己的芯片光刻機是首要的解決問題

音圈電機助力的華為多久能夠制造出光刻機呢?近日有消息稱,從9月14日起,臺積電不再向華為供貨!原因很簡單,因為America的限令,讓華為很可能會缺失5nm工藝制程的芯片。那么,現在的問題是,華為
2020-08-07 10:01:088039

提高光刻機性能的關鍵技術及光刻機的發展情況

作為光刻工藝中最重要設備之一,光刻機一次次革命性的突破,使大模集成電路制造技術飛速向前發展。了解提高光刻機性能的關鍵技術以及了解下一代光刻技術的發展情況是十分重要的。 光刻機 光刻機(Mask
2020-08-28 14:39:0411746

王毅與荷蘭談光刻機出口問題

施加壓力下,ASML沒有獲得續簽,因而本該在2018年就到貨的EUV光刻機無法完成交付給中芯國際。 近日中國外交部長王毅在歐洲五國進行訪問,來到第二站荷蘭后,ASML EUV光刻機是否能出口至美國的問題備受關注。彭博表示,中美關系日漸緊張,美國藉由封鎖華為開始
2020-09-10 14:19:112577

為什么說,光刻機是整個芯片產業的命門呢?

阿斯麥這家公司有多牛呢?在去年全球的光刻機市場中,阿斯麥占據了74%的市場份額,是不折不扣的巨無霸。他們生產的光刻機,有“印鈔機許可證”之稱,一臺就1.2億美元。
2020-09-20 10:41:143356

光刻機市場簡析 國產光刻機今年能否進入實際生產環節

中科院去年宣布進軍光刻機,相信在量子芯片、光子芯片、第三代半導體等領域中國可以實現彎道超車的。
2021-01-20 16:02:416072

1.2億美元光刻機

荷蘭阿斯麥(ASML)公司的光刻機作為世界上最貴最精密的儀器,相信大家都有耳聞,它是加工芯片的設備。其最先進的EUV(極紫外光)光刻機已經能夠制造7nm以下制程的芯片,據說一套最先進的7納米EUV
2020-10-15 09:20:054438

如何制造一臺光刻機到底多困難

近段時間有關芯片以及光刻機的話題非常熱門,我們今天也來探討一下光刻機的話題。
2020-10-17 11:32:148259

一文詳解光刻機技術

最近光刻機十分火,我們經常聽到別人說7納米光刻機、5納米光刻機,但其實嚴格意義上來說并不存在7納米光刻機,5納米光刻機,我為什么會這樣說呢?
2020-10-19 11:42:5120305

EUV光刻機還能賣給中國嗎?

ASML的EUV光刻機是目前全球唯一可以滿足22nm以下制程芯片生產的設備,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻機必不可缺。一臺EUV光刻機的售價為1.48億歐元,折合人民幣高達11.74億元
2020-10-19 12:02:499647

臺積電能夠獲大量芯片代工訂單,離不開阿斯麥的光刻機

12月2日消息,據國外媒體報道,全球第一大芯片代工商臺積電,能夠獲得大量的芯片代工訂單,除了領先的制程工藝,還得益于阿斯麥所供應的大量先進的光刻機,在第二代7nm和5nm所需要的極紫外光刻機方面,尤其如此,他們獲得的極紫外光刻機的數量,遠多于三星。
2020-12-02 10:21:09835

ASML官宣:光刻機技術迎來新突破

在半導體芯片領域,全球有很多公司都可以被稱之為巨頭,例如臺積電、高通和華為等;但是在光刻機市場,全世界只有一個公認的霸主,它就是來自于荷蘭的AMSL公司,EUV光刻機的締造者,各大芯片代工廠背后的核心支持力量!
2020-12-16 16:32:133124

關于紫外線探測器在紫外光刻機中的應用

、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。Photolithography(光刻) 意思是用光來制作一個圖形(工藝);在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉移光刻膠上的過程將器件或電路結構臨時“復制”到硅片上的過程。 光刻機一般根據操作的簡便性分為三種,
2020-12-29 09:14:542095

不用光刻機也能制造芯片?

國產芯片發展多年,憑借華為海思、紫光集團、中芯國際、長江存儲等多家半導體企業,為國內芯片助力成長。提高國產芯片供應鏈體系自主化,不過這些半導體企業都是基于傳統的硅技術展開研發。
2021-01-19 15:38:0316245

SK海力士已開始安裝EUV光刻機,以量產10nm 1a DRAM

據etnews報道,SK海力士已開始在其位于韓國利川的M16工廠安裝EUV光刻機,以量產10nm 1a DRAM。 此前SK海力士宣布將在今年年內在M16廠建設產線以生產下一代DRAM,不過并未透露
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ASML壟斷第五代光刻機EUV光刻機:一臺利潤近6億

光刻機領域一家獨大的荷蘭光刻機巨頭ASML,占據著芯片行業的頂端,畢竟沒有了他們的設備,想要造出先進工藝制程的芯片是沒戲的。 財報披露,ASML2020年全年凈銷售額140億歐元,毛利率為48.6
2021-01-22 10:38:164677

解析全球光刻機行業發展情況

根據芯思想研究院(ChipInsights)的數據表明,2020年全球集成電路、面板、LED用光刻機出貨約58臺,較2019年增加3臺。其中集成電路制造用光刻機出貨約410臺;面板、LED用光刻機出貨約170臺。
2021-02-24 16:56:1211120

高端光刻機不再必需?中國科研團隊傳來喜訊,新型光量子芯片問世

相信關注中國科技發展的朋友都知道,在國內的芯片制造領域,中芯國際無疑是目前規模和技術雙雙領先的國產芯片企業。可令人無奈的是長期以來受《瓦森納協定》的制約,中芯國際一直無法采購到芯片制造所需的關鍵設備——光刻機,以至于遲遲無法沖破芯片制造7納米制程這道門檻。
2021-03-01 17:07:004337

冰刻技術能否助力國產芯片擺脫光刻機?

光刻機是我國芯片制造業一大痛點,目前,在EUV光刻機賽道中,僅有ASML一個玩家。
2021-03-02 15:29:139297

中科院5nm光刻技術與ASML光刻機有何區別?

以下內容由對話音頻整理 本期話題 ● EUV光刻機產能如何? ● 晶圓為什么是圓的? ● 不同制程的芯片之間有何區別? ● 什么是邏輯芯片,邏輯芯片又包括哪些? ● 專用芯片與通用芯片 ● 中科院
2021-03-14 09:46:3023476

探究光刻機微影技術是通過什么實現的?

、用途 光刻機芯片制造的核心設備之一,按照用途可以分為好幾種:有用于生產芯片光刻機;有用于封裝的
2021-03-27 10:00:371469

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用途 光刻機芯片制造的核心設備之一,按照用途可以分為好幾種:有用于生產芯片光刻機;有用于封裝的光刻機
2021-03-30 18:17:272075

光刻機無法被取代?華為芯片技術曝光

眾所周知,想要在芯片領域打破由歐美國家所壟斷的市場,必須要解決光刻機的問題,這是傳統硅基芯片制造過程中最為重要的一環。而在光刻機領域,荷蘭的ASML則是光刻機領域金字塔最頂尖的企業,尤其是在極紫外光領域
2021-04-16 14:31:124401

網傳華為或將入局光刻機

容易。對此,不少企業開始著力于自主研發,而據爆料,華為也已入局光刻機研發制造。 華為入局光刻機 據“手機晶片達人”微博號消息,華為已經開始在招聘一些從事半導體設備的研發人員。即便該微博沒有透露更多消息,但網
2021-05-12 11:14:343233

光刻機原理介紹

光刻機,是現代光學工業之花,是半導體行業中的核心技術。 ? ? ? ?可能有很多人都無法切身理解光刻機的重要地位,光刻機,是制造芯片的機器,要是沒有了光刻機,我們就沒有辦法造出芯片,自然也就
2021-07-07 14:31:18125772

光刻機原理怎么做芯片

光刻機原理怎么做芯片 光刻是集成電路中最重要的工藝,光刻機是制造芯片的核心裝備,在芯片的制作中,幾乎每個工藝的實施,都需要用到光刻技術。可以說,光刻機是半導體界的一顆明珠。那么光刻機原理怎么做芯片
2021-08-07 14:54:5412869

光刻機需要哪些技術?

沒有任何一個國家的人比中國人更想造出頂級光刻機。網友甚至表示,只要造出光刻機,無論一個人做錯了什么都可以原諒。
2021-08-26 17:32:3760119

未來科技量子芯片無需用使用光刻機?制造芯片難還是問題嗎?

因為在科技圈發生的各種問題,比如華為等企業被美國供斷芯片,國內一度為芯片供應問題而一籌莫展,很多人也因此知道了芯片的重要性的世界芯片的格局。在芯片的制作方面,傳統硅基芯片制造必定需要光刻機,納米
2021-08-27 17:22:2336827

未來量子芯片或將繞開光刻機

因為在科技圈發生的各種問題,比如華為等企業被美國供斷芯片,國內一度為芯片供應問題而一籌莫展,很多人也因此知道了芯片的重要性的世界芯片的格局。在芯片的制作方面,傳統硅基芯片制造必定需要光刻機,納米
2021-08-31 09:40:0713616

光刻機哪個國家能造

光刻機作為芯片產業制造中不可缺少的設備,也是工時和成本占比最高的設備,更是全球頂尖技術和人類智慧的結晶。那么目前有哪些國家可以制造出光刻機呢?
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光刻機作用及壽命

光刻機作為芯片的核心制造設備,也是當前最復雜的精密儀器之一。其實光刻機不僅可以用于芯片生產,還可以用于封裝和用于LED制造領域。
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芯片制造公司光刻機的情況

光刻機芯片制造的重要設備,內部結構精密復雜,它決定著芯片的制程工藝,是芯片生產中不可少的關鍵設備,而且光刻機的技術門檻極高,整個設備的不同部位采用了世界上最先進的技術
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光刻機制作芯片過程

光刻機制作芯片過程非常復雜,而光刻機是制造芯片最重要的設備之一,由于先進光刻機的技術封鎖,中國芯片廠商的芯片制作工藝目前比較落后,也沒有優秀的國產光刻機來掌握到最先進的光刻技術。
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刻蝕機能替代光刻機

刻蝕機不能代替光刻機光刻機的精度和難度的要求都比刻蝕機高出很多,在需要光刻機加工的時候刻蝕機有些不能辦到,并且刻蝕機的精度十分籠統,而光刻機對精度的要求十分細致,所以刻蝕機不能代替光刻機
2022-02-05 15:47:0039913

光刻膠和光刻機的關系

光刻膠是光刻機研發的重要材料,換句話說光刻機就是利用特殊光線將集成電路映射到硅片的表面,如果想要硅片的表面不留下痕跡,就需要網硅片上涂一層光刻膠。
2022-02-05 16:11:0011281

光刻機干啥用的

光刻機芯片制造的核心設備之一。目前有用于生產的光刻機,有用于LED制造領域的光刻機,還有用于封裝的光刻機光刻機是采用類似照片沖印的技術,然后把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。
2022-02-05 16:03:0085813

一臺光刻機一天能生產多少芯片

按照光刻機的理想工作狀態,一臺光刻機一天能生產800×600顆芯片,也就是48萬顆芯片,除去產品中的一部分次品,一天剩下的大概在40萬顆芯片左右。
2022-02-05 16:15:00203950

光刻機是干什么用的 光刻機廠商有哪些

光刻機又被稱為掩膜對準曝光機,在芯片生產中用于光刻工藝,而光刻工藝又是生產流程中最關鍵的一步,所以光刻機又是芯片生產中不可缺少的設備,總得來說光刻機是用來制造芯片的。
2022-02-06 07:25:0029436

ASML的High-NA光刻機居然只賣出5臺,大多芯片廠商不為所動

2nm制程的量產。 目前市面上最先進的是EUV光刻機,而其能夠支持制造的先進制程工藝最高為3nm,也就是說,再往后的2nm等工藝就要用更加先進的光刻機來完成。 ASML為此正在研發一種特別的EUV光刻機——High-NA EUV光刻機。這種光刻機所采用的技術能夠
2022-06-22 14:44:161183

90nm光刻機能生產什么的芯片

光刻機是制作芯片的關鍵設備,利用光刻機發出的紫外光源通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的硅片曝光,使光刻膠性質變化、達到圖形刻印在硅片上形成電子線路圖。我國目前還是采用什深紫外光的193nm制程工藝,如上海微電子裝備公司(CMEE)制程90nm工藝的光刻機,那么90nm光刻機能生產什么芯片呢?
2022-06-30 09:46:2131257

euv光刻機三大核心技術 哪些公司有euv光刻機

中國芯的進步那是有目共睹,我國在光刻機,特別是在EUV光刻機方面,更是不斷尋求填補空白的途徑。
2022-07-05 10:38:3516742

三星斥資買新一代光刻機 中芯光刻機最新消息

三星電子和ASML就引進今年生產的EUV光刻機和明年推出高數值孔徑極紫外光High-NA EUV光刻機達成采購協議。
2022-07-05 15:26:155634

最先進的光刻機多少nm 中國現在能做幾nm芯片

光刻機是制作芯片并不可少的重要工具,大家都知道,光刻機技術幾乎被荷蘭ASML所壟斷,那么全球最先進的光刻機是多少nm的?中國現在又能夠做出幾nm的芯片呢?
2022-07-06 10:07:15247354

euv光刻機可以干什么 光刻工藝原理

光刻機芯片制造的核心設備之一。目前世界上最先進的光刻機是荷蘭ASML的EUV光刻機
2022-07-06 11:03:077000

euv光刻機目前幾納米 中國5納米光刻機突破了嗎

ASML的極紫外光刻機(EUV),這個是當前世界頂級的光刻機設備。 在芯片加工的時候,光刻機是用一系列光源能量和形狀控制手段,通過帶有電路圖的掩模傳輸光束。 光刻設備涉及系統集成、精密光學、精密運動、精密材料傳輸、高精度微環境控制等多項先
2022-07-10 11:17:4242766

euv光刻機是哪個國家的

說到芯片,估計每個人都知道它是什么,但說到光刻,許多人可能不知道它是什么。光刻機是制造芯片的機器和設備。沒有光刻機的話,就無法生產芯片,因此每個人都知道光刻機芯片制造業的重要性。那么euv光刻機
2022-07-10 11:42:276977

euv光刻機是干什么的

光刻機是大規模集成電路生產的核心設備,它能夠制造和維護需要高水平的光學和電子產業基礎,全球只有少數制造商掌握了這一基礎。 光刻機的作用是對芯片晶圓進行掃描曝光,對集成電路進行蝕刻。精度更高的光刻機
2022-07-10 14:35:066173

duv光刻機和euv光刻機區別是什么

目前,光刻機主要分為EUV光刻機和DUV光刻機。DUV是深紫外線,EUV是非常深的紫外線。DUV使用的是極紫外光刻技術,EUV使用的是深紫外光刻技術。EUV為先進工藝芯片光刻的發展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1078127

euv光刻機原理是什么

euv光刻機原理是什么 芯片生產的工具就是紫外光刻機,是大規模集成電路生產的核心設備,對芯片技術有著決定性的影響。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻機生產。那么euv光刻機原理是什么呢? EUV
2022-07-10 15:28:1015099

euv光刻機用途是什么

等多項先進技術。 是半導體行業技術含量最高的設備。 光刻機芯片制作中扮演著很重要的角色。在加工芯片的時候,光刻機會通過光源能量、形狀控制手段,讓光束透射過畫著線路圖的掩膜,能夠把線路圖縮小然后映射在硅片上,最后用化
2022-07-10 16:34:403116

光刻機為什么這么難呢

芯片想必大家都很熟悉,光刻機是是制造芯片的核心裝備,并且光刻機只有一小部分國家擁有,那么光刻機為什么這么難呢? 據說越小的東西,建造起來就越困難。 這句話不是沒有道理的。 盡管手機中的芯片只有指甲
2022-07-10 17:37:228522

除ASML之外的光刻機廠商們近況如何?

電子發燒友網報道(文/周凱揚)盡管ASML作為目前占據主導地位的光刻機廠商,憑借獨有的EUV光刻機一騎絕塵,主導著半數以上的市場份額,但這并不代表著其他光刻機廠商也就“聽天由命”了。以兩大國外光刻機
2022-11-24 07:10:033222

華為這是要開始自研光刻機了?擺脫對ASML的依賴?

眾所周知,荷蘭公司ASML壟斷了全球高端芯片光刻技術,該公司最先進的EUV光刻機已成為半導體大規模量產和工業化不可或缺的設備,可以制造出7nm、5nm,甚至更先進制程的芯片。疊加美國對華技術封鎖的打壓下,華為高端芯片量產就此停滯。
2022-12-06 10:24:556267

上海伯東光刻機氦質譜檢漏法

半導體用光刻機公司, 光刻機真空度需要達到 1x10-11 pa 的超高真空, 因為設備整體較大, 需要對構成光刻機的真空相關部件進行檢漏且要求清潔無油, 滿足無塵室使用要求, 為了方便進行快速檢漏, 采購伯東 Pfeiffer 便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310.
2022-08-04 17:18:09318

鈮酸鋰基高性能光量子器件和光量子集成芯片的研究進展

,采用光量子集成器件替代體塊光學元件,有望大大縮小量子光路的體積、重量,在有限的尺寸內完成所需的功能,最終實現集光子態產生、調控、存儲、探測于一體的全功能集成光量子芯片
2023-09-27 10:44:56830

佳能預計到2024年出貨納米壓印光刻機

Takeishi向英國《金融時報》表示,公司計劃于2024年開始出貨其納米壓印光刻機FPA-1200NZ2C,并補充說芯片可以輕松以低成本制造。2023年11月,該公司表示該設備的價格將比ASML的EUV機器便宜一位數。 佳能表示,與利用光曝光電路圖案的傳統光刻技術不同,納米壓印光刻不需要光源,利用
2024-02-01 15:42:05270

光刻機的發展歷程及工藝流程

光刻機經歷了5代產品發展,每次改進和創新都顯著提升了光刻機所能實現的最小工藝節點。按照使用光源依次從g-line、i-line發展到KrF、ArF和EUV;按照工作原理依次從接觸接近式光刻機發展到浸沒步進式投影光刻機和極紫外式光刻機
2024-03-21 11:31:4143

押注2nm!英特爾26億搶單下一代 EUV光刻機,臺積電三星決戰2025!

了。 ? 芯片制造離不開光刻機,特別是在先進制程上,EUV光刻機由來自荷蘭的ASML所壟斷。同時,盡管目前市面上,EUV光刻機客戶僅有三家,但需求不斷增加的情況底下,EUV光刻機依然供不應求。 ? 針對后3nm時代的芯片制造工藝,High-NA(高數值孔徑)EUV光刻機
2022-06-29 08:32:004635

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