合金化熱處理是一種利用熱能使不同原子彼此結(jié)合成化學(xué)鍵而形成金屬合金的一種加熱工藝,半導(dǎo)體制造過程中已經(jīng)使用了很多合金工藝,自對準(zhǔn)金屬硅化物工藝過程中一般形成鈦金屬硅化合物(見下圖)。
2022-09-21 10:13:343589 目前為止,在日常生活中使用的每一個電氣和電子設(shè)備中,都是由利用半導(dǎo)體器件制造工藝制造的集成電路組成。電子電路是在由純半導(dǎo)體材料(例如硅和其他半導(dǎo)體化合物)組成的晶片上創(chuàng)建的,其中包括光刻和化學(xué)工藝的多個步驟。
2022-09-22 16:04:441861 激光退火系統(tǒng)采用激光光源的能量來快速加熱晶圓表面到臨界溶化點溫度。由于硅的高導(dǎo)熱性,硅片表面可以在約1/10 ns范圍快速降溫冷卻。激光退火系統(tǒng)可以在離子注入后以最小的雜質(zhì)擴(kuò)散激活摻雜物離子,這種技術(shù)已被用于后45nm工藝技術(shù)節(jié)點。激光退火系統(tǒng)可用于尖峰退火系統(tǒng),以實現(xiàn)更優(yōu)的結(jié)果。
2022-11-12 09:13:052384 等離子體工藝廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中。比如,IC制造中的所有圖形化刻蝕均為等離子體刻蝕或干法刻蝕,等離子體增強式化學(xué)氣相沉積(PECVD)和高密度等離子體化學(xué)氣相沉積 (HDP CVD)廣泛用于電介質(zhì)
2022-11-15 09:57:312626 在這個半導(dǎo)體制程工藝即將面臨更新?lián)Q代之際,我們不妨從設(shè)計、制造和代工不同角度審視一下,迎接全新工藝的半導(dǎo)體企業(yè)的應(yīng)對策略。
2011-09-30 09:16:231715 表現(xiàn)依舊存在較大的改進(jìn)空間。從2019年底到2020年初,業(yè)內(nèi)也召開了多次與半導(dǎo)體制造業(yè)相關(guān)的行業(yè)會議,對2020年和以后的半導(dǎo)體工藝進(jìn)展速度和方向進(jìn)行了一些預(yù)判。今天本文就綜合各大會議的消息和廠商披露
2020-07-07 11:38:14
)、氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)、雙極硅、絕緣硅(SoI)和藍(lán)寶石硅(SoS)等工藝技術(shù)給業(yè)界提供了豐富的選擇。雖然半導(dǎo)體器件的集成度越來越高,但分立器件同樣在用這些工藝制造。隨著全球電信網(wǎng)絡(luò)向
2019-07-05 08:13:58
)、氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)、雙極硅、絕緣硅(SoI)和藍(lán)寶石硅(SoS)等工藝技術(shù)給業(yè)界提供了豐富的選擇。雖然半導(dǎo)體器件的集成度越來越高,但分立器件同樣在用這些工藝制造。隨著全球電信網(wǎng)絡(luò)向長期
2019-08-20 08:01:20
半導(dǎo)體制冷—— 2 1 世紀(jì)的綠色“冷源”唐春暉(上海理工大學(xué)光學(xué)與電子信息工程學(xué)院,上海 200093)摘要:基于節(jié)能和環(huán)保已是當(dāng)今一切科技發(fā)展進(jìn)步的基本要求,對半導(dǎo)體制冷技術(shù)原理以及應(yīng)用情況做了
2010-04-02 10:14:56
大家有沒有用過半導(dǎo)體制冷的,我現(xiàn)在選了一種制冷片,72W的,我要對一個2.5W的熱負(fù)載空間(100x100x100mm)降溫,用了兩片,在環(huán)溫60度時熱負(fù)載所處的空間只降到30度,我采用的時泡沫膠
2012-08-15 20:07:10
半導(dǎo)體制冷的機理主要是電荷載體在不同的材料中處于不同的能量級,在外電場的作用下,電荷載體從高能級的材料向低能級的材料運動時,便會釋放出多余的能量。
2020-04-03 09:02:14
半導(dǎo)體制冷片是利用半導(dǎo)體材料的Peltier效應(yīng)而制作的電子元件,當(dāng)直流電通過兩種不同半導(dǎo)體材料串聯(lián)成的電偶時,在電偶的兩端即可分別吸收熱量和放出熱量,可以實現(xiàn)制冷的目的。它是一種產(chǎn)生負(fù)熱阻的制冷技術(shù),其特點是無運動部件,可靠性也比較高。半導(dǎo)體制冷片的工作原理是什么?半導(dǎo)體制冷片有哪些優(yōu)缺點?
2021-02-24 09:24:02
的制造方法,其實歸根究底,就是在矽半導(dǎo)體上制造電子元器件,電子元器件包括很多品種:整流橋,二極管,電容等各種IC類,更復(fù)雜的還有整流模塊等等。ASEMI半導(dǎo)體的每一個電子元器件的完成都是由精密復(fù)雜
2018-11-08 11:10:34
參考圖2-2。現(xiàn)今半導(dǎo)體業(yè)所使用之硅晶圓,大多以 {100} 硅晶圓為主。其可依導(dǎo)電雜質(zhì)之種類,再分為p型 (周期表III族) 與n型 (周期表V族)。由于硅晶外貌完全相同,晶圓制造廠因此在制作
2011-08-28 11:55:49
在制造半導(dǎo)體器件時,為什么先將導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體和絕緣體之間的硅或鍺制成本征半導(dǎo)體,使之導(dǎo)電性極差,然后再用擴(kuò)散工藝在本征半導(dǎo)體中摻入雜質(zhì)形成N型半導(dǎo)體或P型半導(dǎo)體改善其導(dǎo)電性?
2012-07-11 20:23:15
們的投入中,80%的開支會用于先進(jìn)產(chǎn)能擴(kuò)增,包括7nm、5nm及3nm,另外20%主要用于先進(jìn)封裝及特殊制程。而先進(jìn)工藝中所用到的EUV極紫外光刻機,一臺設(shè)備的單價就可以達(dá)到1.2億美元,可見半導(dǎo)體
2020-02-27 10:42:16
半導(dǎo)體制造技術(shù)經(jīng)典教程(英文版)
2014-03-06 16:19:35
。例如實現(xiàn)半導(dǎo)體制造設(shè)備、晶圓加工流程的自動化,目的是大幅度減少工藝中的操作者,因為人是凈化間中的主要沾污源。由于芯片快速向超大規(guī)模集成電路發(fā)展,芯片設(shè)計方法變化、特征尺寸減小。這些變化向工藝制造提出挑戰(zhàn)
2020-09-02 18:02:47
。這樣,半導(dǎo)體工廠投產(chǎn)以后整體生產(chǎn)系統(tǒng)才能發(fā)揮最大的生產(chǎn)效能。特別是迅速發(fā)展的亞微米工藝對生產(chǎn)場所空氣潔凈度要求特別高,所有半導(dǎo)體制程設(shè)備,都必須安置在隔絕粉塵進(jìn)入的密閉空間中,這就是潔凈室的來由
2020-09-24 15:17:16
控制;控制圖 中圖分類號:TN301 文獻(xiàn)標(biāo)識碼: A 文章編號:1003-353X(2004)03-0058-03 1 前言 近年來,半導(dǎo)體制造技術(shù)經(jīng)歷了快速的改變,技術(shù)的提升也相對地增加了工藝過程
2018-08-29 10:28:14
各位大俠,小女子在做半導(dǎo)體退火的工藝,不知道哪位做過有n型單晶硅退火?具體參數(shù)是什么?任何經(jīng)驗都可以提,請照顧一下新手,謝謝!:handshake
2011-03-01 09:37:32
`《半導(dǎo)體制造工藝》學(xué)習(xí)筆記`
2012-08-20 19:40:32
`書籍:《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》文章:IC制造工藝編號:JFSJ-21-046作者:炬豐科技網(wǎng)址:http://www.wetsemi.com/index.html摘要:集成電路的制造主要包括以下工藝
2021-07-08 13:13:06
`書籍:《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》文章:超大規(guī)模集成電路制造技術(shù)簡介編號:JFSJ-21-076作者:炬豐科技概括VLSI制造中使用的材料材料根據(jù)其導(dǎo)電特性可分為三大類:絕緣體導(dǎo)體半導(dǎo)體
2021-07-09 10:26:01
1、GaAs半導(dǎo)體材料可以分為元素半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體兩大類,元素半導(dǎo)體指硅、鍺單一元素形成的半導(dǎo)體,化合物指砷化鎵、磷化銦等化合物形成的半導(dǎo)體。砷化鎵的電子遷移速率比硅高5.7 倍,非常適合
2019-07-29 07:16:49
從7nm到5nm,半導(dǎo)體制程芯片的制造工藝常常用XXnm來表示,比如Intel最新的六代酷睿系列CPU就采用Intel自家的14nm++制造工藝。所謂的XXnm指的是集成電路的MOSFET晶體管柵極
2021-07-29 07:19:33
我想用單片機開發(fā)板做個熱療儀,開發(fā)板是某寶上買的那種,有兩個猜想:一個用半導(dǎo)體制冷片發(fā)熱,一個用電熱片。但我不會中間要不要接個DA轉(zhuǎn)換器還是繼電器什么的,查過一些資料,如果用半導(dǎo)體制冷片用PWM控制
2017-11-22 14:15:40
求大神解答,半導(dǎo)體制冷片的正負(fù)極能反接嗎,如果可以,那原來的制冷面是不是可變成散熱面而原來的散熱面變成制冷面??
2016-03-03 16:53:12
基于半導(dǎo)體制冷片的高精度溫度控制系統(tǒng),總結(jié)的太棒了
2021-05-08 06:20:22
基于STM32的半導(dǎo)體制冷片控制系統(tǒng)設(shè)計方法隨著信息時代的來臨,科技的不斷創(chuàng)新和發(fā)展,智能化已經(jīng)成為當(dāng)今世界的主題。智能化系統(tǒng)已經(jīng)不斷的在世界范圍內(nèi)的生活領(lǐng)域、工業(yè)領(lǐng)域不斷的創(chuàng)新和應(yīng)用。溫度
2015-12-30 11:05:48
如何實現(xiàn)基于STM32的半導(dǎo)體制冷片(TEC)溫度控制系統(tǒng)設(shè)計?
2021-12-23 06:07:59
想用半導(dǎo)體制冷片制作小冰箱,需要用到大功率電源,半導(dǎo)體制冷片,還有散熱系統(tǒng),單片機控制系統(tǒng),能調(diào)溫度,還能顯示溫度,具體的思路已經(jīng)有了,想問問你們有沒好點的意見,能盡量提高點效率還有溫度調(diào)節(jié)的精度
2020-08-27 08:07:58
{:1:}想了解半導(dǎo)體制造相關(guān)知識
2012-02-12 11:15:05
問個菜的問題:半導(dǎo)體(或集成電路)工藝 來個人講講 半導(dǎo)體工藝 集成電路工藝 硅工藝 CMOS工藝的概念和區(qū)別以及聯(lián)系吧。查了一下:集成電路工藝(integrated
2009-09-16 11:51:34
到了二十世紀(jì)五十年代隨著半導(dǎo)體材料的迅猛發(fā)展,熱電制冷器才逐漸從實驗室走向工程實踐,在國防、工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療和日常生活等領(lǐng)域獲得應(yīng)用,大到可以做核潛艇的空調(diào),小到可以用來冷卻紅外線探測器的探頭,因此通常又把熱電制冷器稱為半導(dǎo)體制冷器。
2013-11-29 09:26:38
芯片制造-半導(dǎo)體工藝制程實用教程學(xué)習(xí)筆記[/hide]
2009-11-18 11:44:51
中國半導(dǎo)體制造行業(yè)的兩大企業(yè),華虹半導(dǎo)體有限公司(簡稱“華虹”)和宏力半導(dǎo)體制造公司(簡稱“宏力”)于29日聯(lián)合宣布雙方已完成了合并交易。
2011-12-30 08:58:501867 半導(dǎo)體制冷的冷阱系統(tǒng)設(shè)計_馬繼堯
2017-03-19 18:58:3711 半導(dǎo)體制作工藝CH
2017-10-18 10:19:4747 本文首先介紹了半導(dǎo)體制造工藝流程及其需要的設(shè)備和材料,其次闡述了IC晶圓生產(chǎn)線的7個主要生產(chǎn)區(qū)域及所需設(shè)備和材料,最后詳細(xì)的介紹了半導(dǎo)體制造工藝,具體的跟隨小編一起來了解一下。
2018-05-23 17:32:3169224 在半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中,無論是半導(dǎo)體封裝、熱工藝加熱處理還是封裝測試設(shè)備中的材料提供,都能夠看到這家廠商的身影。為了幫助客戶改進(jìn)生產(chǎn)工藝、提供生產(chǎn)效率,全球領(lǐng)先材料供應(yīng)商賀利氏正從一家封裝材料供應(yīng)商
2018-06-19 09:43:006053 本文首先介紹了半導(dǎo)體制造工藝流程及其需要的設(shè)備和材料,其次闡述了IC晶圓生產(chǎn)線的7個主要生產(chǎn)區(qū)域及所需設(shè)備和材料,最后詳細(xì)的介紹了半導(dǎo)體制造工藝,具體的跟隨小編一起來了解一下。 一、半導(dǎo)體制造
2018-09-04 14:03:026592 本文檔的主要內(nèi)容詳細(xì)介紹的是半導(dǎo)體制造工藝教程的詳細(xì)資料免費下載主要內(nèi)容包括了:1.1 引言 1.2基本半導(dǎo)體元器件結(jié)構(gòu) 1.3半導(dǎo)體器件工藝的發(fā)展歷史 1.4集成電路制造階段 1.5半導(dǎo)體制造企業(yè) 1.6基本的半導(dǎo)體材料 1.7 半導(dǎo)體制造中使用的化學(xué)品 1.8芯片制造的生產(chǎn)環(huán)境
2018-11-19 08:00:00200 本文檔的主要內(nèi)容詳細(xì)介紹的是半導(dǎo)體制造教程之工藝晶體的生長資料概述
一、襯底材料的類型1.元素半導(dǎo)體 Si、Ge…。2. 化合物半導(dǎo)體 GaAs、SiC 、GaN…
2018-11-19 08:00:0040 上海——3月20-22日,全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造設(shè)備及服務(wù)供應(yīng)商泛林集團(tuán)攜旗下前沿半導(dǎo)體制造工藝與技術(shù)亮相SEMICON China 2019,并分享其對半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的深刻見解與洞察。作為中國半導(dǎo)體
2019-03-21 16:57:463815 《半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)》的第一章簡要回顧了半導(dǎo)體器件和關(guān)鍵技術(shù)的發(fā)展歷史,并介紹了基本的制造步驟。第二章涉及晶體生長技術(shù)。后面幾章是按照集成電路典型制造工藝流程來安排的。第三章介紹硅的氧化技術(shù)
2020-03-09 08:00:00229 MEMS工藝——半導(dǎo)體制造技術(shù)說明。
2021-04-08 09:30:41237 標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造工藝可以大致分為兩種工藝。一種是在襯底(晶圓)表面形成電路的工藝,稱為“前端工藝”。另一種是將形成電路的基板切割成小管芯并將它們放入封裝的過程,稱為“后端工藝”或封裝工藝。在半導(dǎo)體制造
2022-03-14 16:11:136771 的半導(dǎo)體芯片的結(jié)構(gòu)也變得復(fù)雜,包括從微粉化一邊倒到三維化,半導(dǎo)體制造工藝也變得多樣化。其中使用的材料也被迫發(fā)生變化,用于制造的半導(dǎo)體器件和材料的技術(shù)革新還沒有停止。為了解決作為半導(dǎo)體制造工藝之一的CMP
2022-03-21 13:39:083886 通過使半導(dǎo)體制造工藝中澆口蝕刻后生成的聚合物去除順暢,可以簡化后處理序列,從而縮短前工藝處理時間,上述感光膜去除方法是:在工藝室內(nèi)晶片被抬起的情況下,用CF4+O2等離子體去除聚合物的步驟;將晶片安放在板上,然后用O2等離子體去除感光膜的步驟;和RCA清洗步驟。
2022-04-11 17:02:43783 針對半導(dǎo)體制造工藝的UV-LED光源需求,虹科提供高功率的紫外光源解決方案,可適配步進(jìn)器和掩膜版設(shè)備,更換傳統(tǒng)工具中的傳統(tǒng)燈箱,實現(xiàn)高質(zhì)量的半導(dǎo)體質(zhì)量控制。
2023-03-29 10:35:41712 半導(dǎo)體器件的制造流程包含數(shù)個截然不同的精密步驟。無論是前道工藝還是后道工藝,半導(dǎo)體制造設(shè)備的電源都非常重要。
2023-05-19 15:39:04479 在半導(dǎo)體制造過程中,每個半導(dǎo)體元件的產(chǎn)品都需要經(jīng)過數(shù)百道工序。這些工序包括前道工藝和后道工藝,前道工藝是整個制造過程中最為重要的部分,它關(guān)系到半導(dǎo)體芯片的基本結(jié)構(gòu)和特性的形成,涉及晶圓制造、沉積、光刻、刻蝕等步驟,技術(shù)難點多,操作復(fù)雜。
2023-07-11 11:25:552902 半導(dǎo)體制造工藝之光刻工藝詳解
2023-08-24 10:38:541223 半導(dǎo)體制造是現(xiàn)代微電子技術(shù)的核心,涉及一系列精細(xì)、復(fù)雜的工藝步驟。下面我們將詳細(xì)解析半導(dǎo)體制造的八大關(guān)鍵步驟:
2023-09-22 09:05:191720 快速熱退火工藝(Rapid Thermal Annealing, RTA)是一種在半導(dǎo)體制造中常用的處理工藝,特別是在硅基集成電路的生產(chǎn)過程中。它主要被用于晶圓上薄膜的退火,以改善薄膜的電學(xué)性能,減少雜質(zhì)和缺陷,或改變材料的結(jié)構(gòu)。與傳統(tǒng)的長時間爐退火相比,RTA有其獨特的優(yōu)勢。
2023-11-11 10:53:22385 [半導(dǎo)體前端工藝:第二篇] 半導(dǎo)體制程工藝概覽與氧化
2023-11-29 15:14:34541 如今,半導(dǎo)體制造工藝快速發(fā)展,每一代新技術(shù)都在減小集成電路(IC)上各層特征的間距和尺寸。晶圓上高密度的電路需要更高的精度以及高度脆弱的先進(jìn)制造工藝。
2023-12-25 14:50:47174 在半導(dǎo)體制造中,進(jìn)行氣體定量混合配氣使用是一個關(guān)鍵的步驟,將不同氣體按一定的比例混合到一起,配出不同濃度、多種組分的工藝氣體后才能更好的滿足工藝性能的要求,以確保半導(dǎo)體器件的制造過程得以控制和優(yōu)化
2024-03-05 14:23:0897 在MEMS工藝中,常用的退火方法,如高溫爐管退火和快速熱退火(RTP)。RTP (Rapid Thermal Processing)是一種在很短的時間內(nèi)將整個硅片加熱到400~1300°C范圍的方法。
2024-03-19 15:21:05122
評論
查看更多