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一文詳解光刻機的工作原理
- 光刻機(46249)
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盡管ASML作為目前占據主導地位的光刻機廠商，憑借獨有的EUV光刻機一騎絕塵，主導著半數以上的市場份額，但這并不代表著其他光刻機廠商也就“聽天由命”了。以兩大國外光刻機廠商尼康和佳能為例，他們就仍在
2022-11-24 01:57:00
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4865光刻機MPA500FAb用光柵尺傳感器(掃描部位)
`光刻機MPA500FAb用光柵尺傳感器(掃描部位)供應。型號：SONY SR-721 150mm SCALE UNIT with HK-105C`
2020-01-31 18:04:14
光刻機工藝的原理及設備
光刻機原型 接下來ASML在2006年推出了EUV光刻機的原型，2007年建造了10000平方米的無塵工作室，在2010年造出了第一臺研發用樣機NXE3100，到了2015年終于造出了可量產的樣機，而在
2020-07-07 14:22:55
光刻機是干什么用的
！光刻機本身的原理，其實和相機非常相似，同學們可以把光刻機就想成是一臺巨大的單反相機。相機的原理，是被攝物體被光線照射所反射的光線，透過相機的鏡頭，將影像投射并聚焦在相機的底片（感光元件）上，如此便可
2020-09-02 17:38:07
DC/DC工作原理及芯片詳解
硬件設計:電源設計--DC/DC工作原理及芯片詳解參考資料：DC/DC降壓電源芯片內部設計原理和結構MP2315(DC/DC電源芯片)解讀DC/DC電源詳解第一次寫博客，不喜勿噴，謝謝?。?！ DC
2021-11-11 08:49:58
三種常見的光刻技術方法
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2012-01-12 10:56:23
單片機晶圓制造工藝及設備詳解
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2018-10-15 15:11:22
魂遷光刻，夢繞芯片，中芯國際終獲ASML大型光刻機 精選資料分享
據羊城晚報報道，近日中芯國際從荷蘭進口的一臺大型光刻機，順利通過深圳出口加工區場站兩道閘口進入廠區，中芯國際發表公告稱該光刻機并非此前盛傳的EUV光刻機，主要用于企業復工復產后的生產線擴容。我們知道
2021-07-29 09:36:46
光刻機定位雙頻激光干涉儀
光刻機的工作臺是一個六自由度的運動臺，其中X/Y向運動臺是的核心基礎工序。管控XY軸角度Yaw和Pitch，直線度Horizontal Straightness和Vertical
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光刻掩膜版測溫儀，光刻機曝光光學系統測溫儀
光刻膠（光敏膠）進行光刻，將圖形信息轉移到基片上，從而實現微細結構的制造。光刻機的工作原理是利用光學系統將光線聚焦到光刻膠上，通過掩膜版（也稱為光刻掩膜）上的圖形
2023-07-07 11:46:07
荷蘭光刻機為什么厲害_為何光刻機不賣給中國
荷蘭作為光刻的生產大國，很多人紛紛都在問為什么荷蘭能生產二中國不行.本文主要分析了中國光刻機的發展分析以及與荷蘭之間的差距，詳細的說明了荷蘭光刻機為什么厲害，為何光刻機不賣給中國的原因。
2017-12-19 14:56:42124546
124546一文解析刻蝕機和光刻機的原理及區別
光刻機（Mask Aligner） 又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等。一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。
2018-04-10 09:49:17131483
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光刻機價格多少_還有比光刻機更貴的設備嗎
光刻機是芯片制造中光刻環節的核心設備， 技術含量、價值含量極高。 光刻機涉及系統集成、精密光學、精密運動、精密物料傳輸、高精度微環境控制等多項先進技術，是所有半導體制造設備中技術含量最高的設備，因此也具備極高的單臺價值量。
2018-04-10 10:19:4736248
36248一文看懂asml光刻機工作原理及基本構造
在半導體芯片制造設備中，投資最大、也是最為關鍵的是光刻機，光刻機同時也是精度與難度最高、技術最為密集、進步最快的一種系統性工程設備。光學光刻技術與其它光刻技術相比，具有生產率高、成本低、易實現高的對準和套刻精度、掩模制作相對簡單、工藝條件容易掌握等優點，一直是半導體芯片制造產業中的主流光刻技術。
2018-04-10 11:26:34205917
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光刻機有什么用
光刻機的作用有多大，在這時候就體現出來了。即便是自己能夠研發出芯片了，但是沒有光刻機還是不能批量生產。并且就現在來說國際上的光刻機咱們國家大陸地區還是買不到的，似乎是在進行技術封鎖，這也就苦了華為這樣能夠自主研發芯片的公司。
2019-03-13 15:16:0720007
20007為何光刻機不賣給中國
談起光刻機相信大家首先想到的是荷蘭，確實如此，荷蘭光刻機在全球都是數一數二的，就連最頂尖的光刻機制造公司ASML也位于荷蘭，二荷蘭光刻機之所以這么出名，很大程度是由于荷蘭在這方面下了很大的功夫，比如技術投入、研發團隊以及資金投入都是其他國家難以比擬的。
2019-03-14 14:17:5417823
17823一份關于國產光刻機龍頭——上海微電子的介紹
光刻機應用廣泛，包括IC前道光刻機、用于封裝的后道光刻機以及用于LED領域及面板領域的光刻機等等。封裝光刻機對于光刻的精度要求低于前道光刻要求，面板光刻機與IC前道光刻機工藝相比技術精度也更低，一般為微米級。
2019-04-28 13:55:52228194
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ASML光刻機的工作原理，光刻機制造難度有多大？
測量臺、曝光臺：承載硅片的工作臺，也就是雙工作臺。一般的光刻機需要先測量，再曝光，只需一個工作臺，而ASML有個專利，有兩個工作臺，實現測量與曝光同時進行。而本次“光刻機雙工件臺系統樣機研發”項目則是在技術上突破ASML對雙工件臺系統的技術壟斷。
2019-05-15 17:56:4118393
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一文讀懂光刻機的工作原理
光刻是集成電路最重要的加工工藝，他的作用，如同金工車間中車床的作用。光刻是制造芯片的最關鍵技術，在整個芯片制造工藝中，幾乎每個工藝的實施，都離不開光刻的技術。
2019-11-23 10:45:54158604
158604光刻機為何在我國是個難題
光刻機是芯片制造最為重要的設備之一。目前，ASML壟斷了全世界的高端光刻機。中國一直以來都想掌握光刻機技術，但是上海微電子經過17年的努力，才造出90nm的光刻機，這已經十分不容易了，這可是0的突破。那么為什么光刻機這么難造呢？
2020-01-29 11:07:007799
7799光刻機公開全部圖紙也模仿不了
眾所周知，說起芯片，大家就會想到光刻機，說起光刻機，大家就會想到ASML。因為在芯片生產中，光刻機特別重要，而ASML又是高端光刻機的壟斷者，占了85%以上的高端市場。
2020-02-20 20:30:455443
5443光刻機是干什么的
經常聽說，高端光刻機不僅昂貴而且還都是國外的，那么什么是光刻機呢？上篇我們聊了從原材料到拋光晶片的制成過程，今天我們就來聊聊什么是光刻～
2020-03-15 14:46:00227696
227696曝ASML新一代EUV光刻機預計2022年開始出貨 將進一步提升光刻機的精度
在EUV光刻機方面，荷蘭ASML（阿斯麥）公司壟斷了目前的EUV光刻機，去年出貨26臺，創造了新紀錄。據報道，ASML公司正在研發新一代EUV光刻機，預計在2022年開始出貨。
2020-03-17 09:21:194670
4670光刻機中國能造嗎_為什么中國生產不了光刻機
，中國最好的光刻機廠商上海微電子裝備有限公司（SMEE）已經量產的光刻機中，性能最好的SSA600/20工藝只能達到90nm，相當于2004年上市的奔騰四CPU的水準。而國外的先進水平已經達到了7納米，正因如此，國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。
2020-03-18 10:52:1189226
89226光刻機能干什么_英特爾用的什么光刻機_光刻機在芯片生產有何作用
光刻機是芯片制造的核心設備之一，作為目前世界上最復雜的精密設備之一，其實光刻機除了能用于生產芯片之外，還有用于封裝的光刻機，或者是用于LED制造領域的投影光刻機。目前，我國高端的光刻機，基本上是從荷蘭ASML進口的。
2020-03-18 11:12:0244388
44388音圈電機在光刻機掩模臺系統中的應用
作為芯片制造的核心設備之一，光刻機對芯片生產的工藝有著決定性影響。 據悉，光刻機按照用途可分為生產芯片的光刻機、封裝芯片的光刻機以及用于LED制造領域的投影光刻機。其中，生產芯片的High End
2020-06-15 08:05:54999
999開發頂級光刻機的困難 頂級光刻機有多難搞？
頂級光刻機有多難搞？ASML的光刻機，光一個零件他就調整了10年！拿荷蘭最新極紫外光EUV光刻機舉例，其內部精密零件多達10萬個，比汽車零件精細數十倍！
2020-07-02 09:38:3911513
11513中國光刻機和荷蘭光刻機有什么區別
芯片是半導體中的積分器，目前芯片的利用率很高，要想在技術領域有所突破，就必須在芯片領域發展。在芯片制造中，最受關注的是光刻機的發展。到目前為止，我國光刻機制造領域還比較缺乏機械。我們的光刻機技術相對
2020-08-02 10:32:3224155
24155提高光刻機性能的關鍵技術及光刻機的發展情況
作為光刻工藝中最重要設備之一，光刻機一次次革命性的突破，使大模集成電路制造技術飛速向前發展。了解提高光刻機性能的關鍵技術以及了解下一代光刻技術的發展情況是十分重要的。 光刻機 光刻機（Mask
2020-08-28 14:39:0411746
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王毅與荷蘭談光刻機出口問題
【重磅】王毅到訪荷蘭，期待放行ASML EUV光刻機 來源：中國半導體論壇 彭博引述知情人士消息稱，荷蘭政府極有可能不會給予ASML向中國出貨EUV光刻機的許可證。一年前的許可證到期后，在美國
2020-09-10 14:19:112577
2577擦肩而過的光刻機
1964年中國科學院研制出65型接觸式光刻機；1970年代，中國科學院開始研制計算機輔助光刻掩膜工藝；清華大學研制第四代分部式投影光刻機，并在1980年獲得成功，光刻精度達到3微米，接近國際主流水平。而那時，光刻機巨頭ASML還沒誕生。
2020-09-20 10:35:027124
7124為什么說，光刻機是整個芯片產業的命門呢？
阿斯麥這家公司有多牛呢？在去年全球的光刻機市場中，阿斯麥占據了74%的市場份額，是不折不扣的巨無霸。他們生產的光刻機，有“印鈔機許可證”之稱，一臺就1.2億美元。
2020-09-20 10:41:143356
3356政策助力光刻機行業發展，我國光刻機行業研發進度仍待加快
光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。光刻機是半導體產業中最關鍵設備，光刻工藝決定了半導體線路的線寬，同時也決定了芯片的性能和功耗。
2020-09-30 16:17:135162
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ASML光刻機的工作原理及關鍵技術解析
光刻機（Mask Aligner) 又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。
2020-10-09 11:29:369260
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1.2億美元光刻機
荷蘭阿斯麥（ASML）公司的光刻機作為世界上最貴最精密的儀器，相信大家都有耳聞，它是加工芯片的設備。其最先進的EUV（極紫外光）光刻機已經能夠制造7nm以下制程的芯片，據說一套最先進的7納米EUV
2020-10-15 09:20:054438
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一文詳解光刻機技術
最近光刻機十分火，我們經常聽到別人說7納米光刻機、5納米光刻機，但其實嚴格意義上來說并不存在7納米光刻機，5納米光刻機，我為什么會這樣說呢？
2020-10-19 11:42:5120305
20305EUV光刻機還能賣給中國嗎？
ASML的EUV光刻機是目前全球唯一可以滿足22nm以下制程芯片生產的設備，其中10nm及以下的芯片制造，EUV光刻機必不可缺。一臺EUV光刻機的售價為1.48億歐元，折合人民幣高達11.74億元
2020-10-19 12:02:499647
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光刻機的工作原理以及關鍵技術
導讀：光刻是集成電路最重要的加工工藝，他的作用，如同金工車間中車床的作用。光刻是制造芯片的最關鍵技術，在整個芯片制造工藝中，幾乎每個工藝的實施，都離不開光刻的技術。 光刻機的工作原理： 利用光刻機
2022-12-23 13:34:547273
7273銷量占比達20%，ASML向中國銷售光刻機已達700臺
作為半導體制造中的核心設備，光刻機無疑是芯片產業皇冠上的明珠，特別是先進工藝的光刻機，7nm以下的都要依賴ASML公司，EUV光刻機他們還是獨一份。
2020-11-09 17:11:382195
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光刻機巨頭ASML為什么能成功？
在芯片制造環節中，光刻機是核心設備。沒有光刻機，半導體或遭斷鏈危機，摩爾定律將停止，人類也就無法設計、制造和封裝硅芯片。放眼全球，一家叫做ASML（阿斯麥）的荷蘭公司市場占有率達80%，是行業的絕對
2020-11-13 09:28:515165
5165國產光刻機之路,任重而道遠
荷蘭阿斯麥公司作為掌握光刻機系統集成和整體架構的核心企業，自然成了歐美自家的小棉襖，順利趕上了歐美EUV技術研究發展的風口，投資德國卡爾蔡司，收購美國Cymer光源。集成世界各國頂尖科技的EUV
2020-12-28 09:25:5518165
18165ASML宣布光刻機技術再次突破
光刻機是芯片生產過程中不可或缺的設備之一，并且越高端的芯片對光刻機要求也越高。而在目前光刻機市場上，來自荷蘭的光刻機設備制造商ASML，是唯一一家能夠生產極紫外光刻的企業，這令ASML在整個半導體行業都掌握著極高的話語權。
2020-12-30 10:41:553485
3485為何EUV光刻機會這么耗電呢
EUV（極紫外光）光刻機，是目前半導體產業已投入規模生產使用的最先進光刻機類型。近來，有不少消息都指出，EUV光刻機耗電量非常大，甚至它還成為困擾臺積電的一大難題。 為何EUV光刻機會這么耗電
2021-02-14 14:05:003915
3915為什么都搶著買價格更昂貴的EUV光刻機?
目前，還有ASML有能力生產最先進的EUV光刻機，三星、臺積電都是ASML的客戶。但受《瓦森納協定》的制約，中國大陸沒有從ASML買來一臺EUV光刻機。
2021-01-21 08:56:184078
4078ASML壟斷第五代光刻機EUV光刻機：一臺利潤近6億
在光刻機領域一家獨大的荷蘭光刻機巨頭ASML，占據著芯片行業的頂端，畢竟沒有了他們的設備，想要造出先進工藝制程的芯片是沒戲的。 財報披露，ASML2020年全年凈銷售額140億歐元，毛利率為48.6
2021-01-22 10:38:164677
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5nm光刻機搶破頭：臺積電下達18臺光刻機需求
如今全球芯片短缺，不僅僅已經嚴重營銷到了科技數碼產業，就連汽車產業也深受其害。 為了滿足2021年的需求激增，目前有國外媒體稱臺積電一口氣向荷蘭ASML下達了18臺最先進的極紫外光刻機需求，如此之
2021-01-27 09:56:082956
2956解析全球光刻機行業發展情況
根據芯思想研究院（ChipInsights）的數據表明，2020年全球集成電路、面板、LED用光刻機出貨約58臺，較2019年增加3臺。其中集成電路制造用光刻機出貨約410臺；面板、LED用光刻機出貨約170臺。
2021-02-24 16:56:1211120
1112012億美元，中芯國際訂購光刻機
中芯國際的芯片工藝目前已發展至14nm，若想將芯片工藝進一步提升至7nm乃至3nm等先進制程，EUV光刻機設備就必不可少。那么，中芯國際此次12億美元的采購協議都有哪些類型的光刻機，包含EUV光刻機嗎？
2021-03-10 14:36:559465
9465中科院5nm光刻技術與ASML光刻機有何區別？
以下內容由對話音頻整理 本期話題 ● EUV光刻機產能如何？ ● 晶圓為什么是圓的？ ● 不同制程的芯片之間有何區別？ ● 什么是邏輯芯片，邏輯芯片又包括哪些？ ● 專用芯片與通用芯片 ● 中科院
2021-03-14 09:46:3023476
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光刻機原理介紹
光刻機，是現代光學工業之花，是半導體行業中的核心技術。 ? ? ? ?可能有很多人都無法切身理解光刻機的重要地位，光刻機，是制造芯片的機器，要是沒有了光刻機，我們就沒有辦法造出芯片，自然也就
2021-07-07 14:31:18125772
125772光刻機原理怎么做芯片
光刻機原理怎么做芯片 光刻是集成電路中最重要的工藝，光刻機是制造芯片的核心裝備，在芯片的制作中，幾乎每個工藝的實施，都需要用到光刻技術。可以說，光刻機是半導體界的一顆明珠。那么光刻機原理怎么做芯片
2021-08-07 14:54:5412869
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光刻機哪個國家能造
光刻機作為芯片產業制造中不可缺少的設備，也是工時和成本占比最高的設備，更是全球頂尖技術和人類智慧的結晶。那么目前有哪些國家可以制造出光刻機呢？
2022-01-03 17:30:0086844
86844一臺光刻機有多少零部件
荷蘭ASML作為全球最大的光刻機制造商，占據了世界80%的市場份額。一臺高端的光刻機內部零件高達10萬件之多，但是其中的零件也并非出自ASML一家，而是集眾于多家高科技廠商。
2022-01-03 17:31:009048
9048光刻機制作芯片過程
光刻機制作芯片過程非常復雜，而光刻機是制造芯片最重要的設備之一，由于先進光刻機的技術封鎖，中國芯片廠商的芯片制作工藝目前比較落后，也沒有優秀的國產光刻機來掌握到最先進的光刻技術。
2021-12-30 11:23:2111145
11145刻蝕機能替代光刻機嗎
刻蝕機不能代替光刻機。光刻機的精度和難度的要求都比刻蝕機高出很多，在需要光刻機加工的時候刻蝕機有些不能辦到，并且刻蝕機的精度十分籠統，而光刻機對精度的要求十分細致，所以刻蝕機不能代替光刻機。
2022-02-05 15:47:0039913
39913光刻膠和光刻機的關系
光刻膠是光刻機研發的重要材料，換句話說光刻機就是利用特殊光線將集成電路映射到硅片的表面，如果想要硅片的表面不留下痕跡，就需要網硅片上涂一層光刻膠。
2022-02-05 16:11:0011281
11281光刻機干啥用的
光刻機是芯片制造的核心設備之一。目前有用于生產的光刻機，有用于LED制造領域的光刻機，還有用于封裝的光刻機。光刻機是采用類似照片沖印的技術，然后把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。
2022-02-05 16:03:0085813
85813一臺光刻機一天能生產多少芯片
按照光刻機的理想工作狀態，一臺光刻機一天能生產800×600顆芯片，也就是48萬顆芯片，除去產品中的一部分次品，一天剩下的大概在40萬顆芯片左右。
2022-02-05 16:15:00203950
203950光刻機是干什么用的 光刻機廠商有哪些
光刻機又被稱為掩膜對準曝光機，在芯片生產中用于光刻工藝，而光刻工藝又是生產流程中最關鍵的一步，所以光刻機又是芯片生產中不可缺少的設備，總得來說光刻機是用來制造芯片的。
2022-02-06 07:25:0029436
29436俄羅斯簽署合同欲研發頂尖X射線光刻機
在半導體的制造中，光刻機作為其中重要的組成部分，其技術非常復雜，價格也十分昂貴。 由于近期沖突，俄羅斯芯片進口遭嚴重限制，在其國內沒有光刻機的情況下，俄羅斯貿工部選擇了與俄羅斯莫斯科電子技術學院簽署
2022-04-06 10:35:337960
7960三星斥資買新一代光刻機 中芯光刻機最新消息
三星電子和ASML就引進今年生產的EUV光刻機和明年推出高數值孔徑極紫外光High-NA EUV光刻機達成采購協議。
2022-07-05 15:26:155634
5634euv光刻機目前幾納米 中國5納米光刻機突破了嗎
大家都知道，芯片制造的核心設備之一就是光刻機了?，F在，全球最先進的光刻機是荷蘭ASML的EUV光刻機，那么euv光刻機目前幾納米呢？ 到現在，世界上最先進的光刻機能夠實現5nm的加工。也就是荷蘭
2022-07-10 11:17:4242766
42766euv光刻機是哪個國家的
是哪個國家的呢？ euv光刻機許多國家都有，理論上來說，芯片強國的光刻機也應該很強，但是最強的光刻機制造強國，不是美國、韓國等芯片強國，而是荷蘭。 EUV光刻機有光源系統、光學鏡頭、雙工作臺系統三大核心技術。 目前，在全世
2022-07-10 11:42:276977
6977euv光刻機是干什么的
可以生產出納米尺寸更小、功能更強大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻機生產。 EUV光刻機有光源系統、光學鏡頭、雙工作臺系統三大核心技術。 目前，最先進的光刻機是荷蘭ASML公司的EUV光刻機。預計在光路系統的幫助下，能
2022-07-10 14:35:066173
6173duv光刻機和euv光刻機區別是什么
目前，光刻機主要分為EUV光刻機和DUV光刻機。DUV是深紫外線，EUV是非常深的紫外線。DUV使用的是極紫外光刻技術，EUV使用的是深紫外光刻技術。EUV為先進工藝芯片光刻的發展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1078127
78127euv光刻機原理是什么
光刻機的原理是接近或接觸光刻，通過無限接近，將圖案復制到掩模上。直寫光刻是將光束聚焦到一個點上，通過移動工作臺或透鏡掃描實現任意圖形處理。投影光刻是集成電路的主流光刻技術，具有效率高、無損傷等優點。 EUV光刻機有光源系統、光學鏡頭、雙工
2022-07-10 15:28:1015099
15099euv光刻機用途是什么
光刻機是當前半導體芯片產業的核心設備，其技術含量和價值含量都很高。那么euv光刻機用途是什么呢？下面我們就一起來看看吧。 光刻設備涉及系統集成、精密光學、精密運動、精密材料傳輸、高精度微環境控制
2022-07-10 16:34:403116
3116光刻機為什么這么難呢
芯片想必大家都很熟悉，光刻機是是制造芯片的核心裝備，并且光刻機只有一小部分國家擁有，那么光刻機為什么這么難呢？ 據說越小的東西，建造起來就越困難。 這句話不是沒有道理的。 盡管手機中的芯片只有指甲
2022-07-10 17:37:228522
8522除ASML之外的光刻機廠商們近況如何？
電子發燒友網報道（文/周凱揚）盡管ASML作為目前占據主導地位的光刻機廠商，憑借獨有的EUV光刻機一騎絕塵，主導著半數以上的市場份額，但這并不代表著其他光刻機廠商也就“聽天由命”了。以兩大國外光刻機
2022-11-24 07:10:033222
3222一文解析光刻機的工作原理
利用光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見光后會發生性質變化，從而使光罩上得圖形復印到薄片上，從而使薄片具有電子線路圖的作用。
2022-12-01 09:32:113700
3700激光干涉儀與光刻機的緣分
光刻機是集成電路生產的關鍵設備之一，在整個生產過程中占據重要的地位。高精度的工作臺作為光刻機核心部件之一，其運動性能和定位精度決定了光刻工藝所能實現的線寬和產率。光刻機的工作臺是一個六自由度的運動
2022-03-08 09:07:46859
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上海伯東光刻機氦質譜檢漏法
半導體用光刻機公司, 光刻機真空度需要達到 1x10-11 pa 的超高真空, 因為設備整體較大, 需要對構成光刻機的真空相關部件進行檢漏且要求清潔無油, 滿足無塵室使用要求, 為了方便進行快速檢漏, 采購伯東 Pfeiffer 便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310.
2022-08-04 17:18:09318
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詳解***結構及工作原理
歡迎了解 光刻機（Lithography Machine）是一種半導體工業中常用的設備，用于將掩模版上的芯片電路圖轉移到硅片上，是IC制造的核心環節，光刻機的基本工作原理是利用光學原理將圖案投射
2023-12-18 08:42:12281
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全面解析***結構及工作原理
光刻與光刻機
?對準和曝光在光刻機(Lithography Tool)內進行。
?其它工藝在涂膠顯影機(Track)上進行。
光刻機結構及工作原理
?光刻機簡介
?光刻機結構及工作原理
2023-12-19 09:28:00245
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光刻機結構及IC制造工藝工作原理
光刻機是微電子制造的關鍵設備，廣泛應用于集成電路、平面顯示器、LED、MEMS等領域。在集成電路制造中，光刻機被用于制造芯片上的電路圖案。
2024-01-29 09:37:24359
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光刻機的發展歷程及工藝流程
光刻機經歷了5代產品發展，每次改進和創新都顯著提升了光刻機所能實現的最小工藝節點。按照使用光源依次從g-line、i-line發展到KrF、ArF和EUV；按照工作原理依次從接觸接近式光刻機發展到浸沒步進式投影光刻機和極紫外式光刻機。
2024-03-21 11:31:4143
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工商網監
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