極紫外光刻隨機效應的表現及產生原因
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首款3nm測試芯片成功流片 采用極紫外光刻(EUV)技術
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深度解讀紫外光通信技術
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ASML表示2018年將出貨20套光刻機,上半年業績表現亮眼
荷蘭半導體設備大廠ASML日前表示,該公司2018年將出貨20套極紫外光(EUV)光刻機,該數量預期在2019年將增加到30套以上。
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臺積電宣布了有關極紫外光刻(EUV)技術的兩項重磅突破
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全球首臺用紫外光源實現的22納米分辨率的光刻機
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2018-12-03 10:53:1212225
ASML正在著手開發新一代極紫外(EUV)光刻機
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探析紫外光通信技術原理及應用
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2019-05-28 11:20:413233
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2019-05-28 16:18:243401
三星宣布全球首座專門為EUV極紫外光刻工藝打造的代工廠開始量產
三星宣布,位于韓國京畿道華城市的V1工廠已經開始量產7nm 7LPP、6nm 6LPP工藝,這也是全球第一座專門為EUV極紫外光刻工藝打造的代工廠。
2020-02-21 16:19:052214
ASML去年交付了26臺極紫外光刻機,帶來約31.43億美元的營收
據國外媒體報道,在芯片的制造過程中,光刻機是必不可少的設備,在芯片工藝提升到7nm EUV、5nm之后,極紫外光刻機也就至關重要。
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ASML去年交付26臺極紫外光刻機,其中兩款可用于生產7nm和5nm芯片
據國外媒體報道,在芯片的制造過程中,光刻機是必不可少的設備,在芯片工藝提升到7nm EUV、5nm之后,極紫外光刻機也就至關重要。
2020-03-07 14:39:545045
ASML去年交付26臺極紫外光刻機 其中約一半面向大客戶臺積電
據國外媒體報道,半導體行業光刻系統供應商ASML(阿斯麥)去年交付了26臺極紫外光刻機(EUV),調查公司Omdia表示,其中約一半面向大客戶臺積電。ASML此前公布,2019年,共向客戶交付了26
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兩家極紫外光刻機公司3月份營收同比環比均上漲
對于芯片制造廠商來說,光刻機的重要性不言而喻,尤其是目前芯片制造工藝已經提升至5nm和3nm之后,極紫外光刻機就顯得更為重要。而ASML作為全球唯一有能力制造極紫外光刻機的廠商,他的一舉一動,牽動著所有相關產業上下游廠商的心。
2020-04-15 15:44:364093
ASML今年一季度營收僅上一季度六成 極紫外光刻機僅兩臺能確認收入
4月17日消息,據國外媒體報道,在智能手機等高端設備芯片的工藝提升到5nm之后,能生產5nm芯片的極紫外光刻機就顯得異常重要,而作為目前全球唯一能生產極紫外光刻機的廠商,阿斯麥的供應量直接決定了各大芯片制造商5nm芯片的產能。
2020-04-18 09:09:433544
開發頂級光刻機的困難 頂級光刻機有多難搞?
頂級光刻機有多難搞?ASML的光刻機,光一個零件他就調整了10年!拿荷蘭最新極紫外光EUV光刻機舉例,其內部精密零件多達10萬個,比汽車零件精細數十倍!
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1.2億美元光刻機
光刻機價格高達1.2億美元,比一架波音737都貴。 下面是最近ASML公布的極紫外光光刻機內部加工時的鏡頭,十分震撼: 在這臺光刻機中,每秒在真空環境中,從底部容器流出5萬滴融化的錫液,一對激光束照射每一滴液體產生等離子體,釋放出更短的波長,
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ASML答應提早交付三星已經同意購買的極紫外光光刻設備(EUV)?
日前三星電子副董事長李在镕前往荷蘭拜訪光刻機大廠ASML,其目的就是希望ASML 的高層能答應提早交付三星已經同意購買的極紫外光光刻設備(EUV)。
2020-10-24 09:39:061509
ASML承諾對向中國出口集成電路光刻機持開放態度
11月5日,世界光刻機巨頭荷蘭阿斯麥ASML亮相第三屆進博會。作為全球唯一能生產EUV(極紫外光)光刻機的企業,由于ASML目前仍不能向中國出口EUV光刻機,所以此次展示的是其DUV(深紫外光)光刻機。據悉,該產品可生產7nm及以上制程芯片。
2020-11-06 11:18:552396
目前全球只有荷蘭ASML有能力生產EUV光刻機
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2020-11-06 11:27:465517
臺積電已向阿斯麥預訂2021年所需極紫外光刻機
在5nm、6nm工藝大規模投產、第二代5nm工藝即將投產的情況下,芯片代工商臺積電對極紫外光刻機的需求也明顯增加。而外媒最新援引產業鏈消息人士的透露報道稱,臺積電已向阿斯麥下達了2021的極紫外光刻
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紫外光在缺陷檢測中的應用
員廣泛應用,但是市場對于塑料、油漆、印刷油墨和染料等產品的檢測需求日益增加,而這些產品檢測更適合采用紫外(UV)照明。過去,這些產品的檢測受到了紫外光源成本過高的限制。然而,隨著低成本紫外LED照明的出現,這些應用正變得越來越便宜。 紫外
2020-11-19 14:34:192887
三星電子正在尋求與極紫外光刻機供應商ASML合作
近日,據外媒報道,在芯片制程工藝方面一直落后于臺積電的三星電子,目前正在尋求加強與極紫外光刻機供應商ASML的合作,以加速5nm和3nm制程的研發。
2020-11-24 14:54:522073
臺積電能夠獲大量芯片代工訂單,離不開阿斯麥的光刻機
12月2日消息,據國外媒體報道,全球第一大芯片代工商臺積電,能夠獲得大量的芯片代工訂單,除了領先的制程工藝,還得益于阿斯麥所供應的大量先進的光刻機,在第二代7nm和5nm所需要的極紫外光刻機方面,尤其如此,他們獲得的極紫外光刻機的數量,遠多于三星。
2020-12-02 10:21:09835
韓國公司正在迅速縮小其在極紫外光刻技術上與外國公司的差距
特別是,韓國公司正在迅速縮小其在極紫外光刻技術上與外國公司的差距。2019年,韓國本土提出的專利申請數量為40件,超過了國外企業的10件。這是韓國提交的專利申請首次超過國外。2020年,韓國提交的申請數量也是國外的兩倍多。
2020-12-11 13:40:541386
關于紫外線探測器在紫外光刻機中的應用
光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等。常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫 Mask Alignment System。一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干
2020-12-29 09:14:542095
ASML研發更先進光刻機 高數值孔徑極紫外光刻設計基本完成
對于阿斯麥(ASML)來說,他們正在研發更先進的光刻機,這也是推動芯片工藝繼續前行的重要動力。 ASML是全球目前唯一能制造極紫外光刻機的廠商,其在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE
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ASML新一代極紫外光刻機設計基本完成
12月29日消息,據國外媒體報道,ASML正在研發更先進、效率更高的高數值孔徑極紫外光刻機:NXE:5000系列,設計已經基本完成,預計在2022年開始商用。
2020-12-30 10:29:302159
為何EUV光刻機會這么耗電呢
呢?OFweek君根據公開資料整理出了一些原因,供讀者參考。 與DUV(深紫外光)光刻機相比,EUV光刻機的吞吐量相對較低,每小時可曝光處理的晶圓數量約在120片-175片之間,技術改進后,速度可以提升至275片每小時。但相對而言,EUV生產效率還是更高,
2021-02-14 14:05:003915
報道稱臺積電今年預計可獲得18臺極紫外光刻機
據國外媒體報道,臺積電和三星電子的芯片制程工藝,均已提升到了 5nm,更先進的工藝研發也在推進,并在謀劃量產事宜。 在制程工藝提升到 5nm 之后,也就意味著臺積電、三星等廠商,對極紫外光刻機的需求
2021-01-25 17:10:181352
臺積電今年將獲得 18 臺極紫外光刻機,三星、英特爾也有
,對極紫外光刻機的需求會不斷增加,而全球目前唯一能生產極紫外光刻機廠商的阿斯麥,也就大量供應極紫外光刻機。 英文媒體在最新的報道中表示,在芯片制程工藝方面走在行業前列的臺積電,在今年預計可獲得 18 臺極紫外光刻機,三星和英特爾也將
2021-01-25 17:21:543321
臺積電向ASML下達18臺極紫外光刻機需求
如今全球芯片短缺,不僅僅已經嚴重營銷到了科技數碼產業,就連汽車產業也深受其害。為了滿足2021年的需求激增,目前有國外媒體稱臺積電一口氣向荷蘭ASML下達了18臺最先進的極紫外光刻機需求,如此之大的需求令可以說是史上的天量,三星英特爾急了。
2021-01-26 09:22:051158
5nm光刻機搶破頭:臺積電下達18臺光刻機需求
如今全球芯片短缺,不僅僅已經嚴重營銷到了科技數碼產業,就連汽車產業也深受其害。 為了滿足2021年的需求激增,目前有國外媒體稱臺積電一口氣向荷蘭ASML下達了18臺最先進的極紫外光刻機需求,如此之
2021-01-27 09:56:082956
未來極紫外光刻技術將如何發展?產業格局如何演變?
近日,荷蘭的光刻機制造商阿斯麥(ASML)發布2020年度財報,全年凈銷售額達到140億歐元,毛利率達到48.6%。ASML同時宣布實現第100套極紫外光刻(EUV)系統的出貨,至2020年年底已有
2021-02-01 09:30:232588
SK海力士M16工廠已安裝極紫外光刻機 開始試生產1anm DRAM
,也購進了極紫外光刻機,用于生產相關的芯片。 SK海力士已購入極紫外光刻機的消息,源自外媒中提到的M16工廠。外媒在報道中表示,SK海力士M16工廠的建設已經完成,極紫外光刻機也已經安裝到位,將用于生產DRAM(動態隨機存取存儲器)。
2021-02-02 18:08:482632
SK海力士將大量購買極紫外光刻機
2月25日消息,據國外媒體報道,芯片制程工藝提升至5nm的臺積電和三星,已從阿斯麥購買了大量的極紫外光刻機,并且還在大量購買。
2021-02-26 09:22:011530
關于紫外光耐氣候試驗箱的介紹
UV4000紫外光耐氣候試驗箱主要用于模擬對陽光、潮濕和溫度對材料的破壞作用;材料老化包括褪色、失光、強度降低、開裂、剝落、粉化和氧化等。紫外光耐氣候試驗箱通過模擬陽光、冷凝、模仿自然潮濕,試樣
2021-06-02 15:22:05624
UV4000紫外光耐氣候試驗箱的符合標準有哪些
UV4000紫外光耐氣候試驗箱主要用于模擬對陽光、潮濕和溫度對材料的破壞作用;材料老化包括褪色、失光、強度降低、開裂、剝落、粉化和氧化等。 紫外光耐氣候試驗箱通過模擬陽光、冷凝、模仿自然潮濕,試樣
2021-06-17 15:34:56452
紫外光通信技術:紫外光通信的基本原理
紫外光通信是以大氣分子和子溶膠粒子的散射和吸收為基礎的。紫外光通信基于兩個相互關聯的物理現象:一是大氣層中的臭氧對波長在200nm到280nm之間的紫外光有強烈的吸收作用,這個區域被叫做日盲區
2022-03-18 10:11:034253
90nm光刻機能生產什么的芯片
光刻機是制作芯片的關鍵設備,利用光刻機發出的紫外光源通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的硅片曝光,使光刻膠性質變化、達到圖形刻印在硅片上形成電子線路圖。我國目前還是采用什深紫外光的193nm制程工藝,如上海微電子裝備公司(CMEE)制程90nm工藝的光刻機,那么90nm光刻機能生產什么芯片呢?
2022-06-30 09:46:2131257
三星斥資買新一代光刻機 中芯光刻機最新消息
三星電子和ASML就引進今年生產的EUV光刻機和明年推出高數值孔徑極紫外光High-NA EUV光刻機達成采購協議。
2022-07-05 15:26:155634
duv光刻機和euv光刻機區別是什么
目前,光刻機主要分為EUV光刻機和DUV光刻機。DUV是深紫外線,EUV是非常深的紫外線。DUV使用的是極紫外光刻技術,EUV使用的是深紫外光刻技術。EUV為先進工藝芯片光刻的發展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1078127
紫外光表面清洗技術與UV光清洗機
低壓紫外汞燈發射的雙波段短波紫外光照射到試件表面后,與有機污染物發生光敏氧化作用,不僅能去除污染物而且能改善表面的性能,從而提高物體表面的浸潤性和粘合強度,或者使材料表面得到穩定的表面性能。根據
2022-08-18 16:16:301080
看一下EUV光刻的整個過程
EUV 光刻是以波長為 10-14nm 的極紫外光作為光源的芯片光刻技術,簡單來說,就是以極紫外光作“刀”,對芯片上的晶圓進行雕刻,讓芯片上的電路變成人們想要的圖案。
2022-10-10 11:15:024367
UV紫外光導電銀漿固化不徹底的主要原因有哪些
UV紫外光導電銀漿固化不徹底的主要原因有哪些 SHAREX在導電銀漿領域已經有十多年的開發經驗,特別是最近開發的AS5100系列UV紫外光固化導電銀漿獲得客戶的廣泛認可,由于光固化銀漿是個新生的品類
2022-10-15 15:05:501206
?焦點芯聞丨ASML 阿斯麥 CEO 透露高數值孔徑極紫外光刻機 2024 年開始出貨
熱點新聞 1、 ASML 阿斯麥 CEO 透露高數值孔徑極紫外光刻機 2024?年開始出貨 據國外媒體報道,光刻機制造商阿斯麥的 CEO 兼總裁彼得?維尼克 (Peter Wennink),在本周
2022-11-18 19:00:033971
紫外光刻機(桌面型掩膜對準)
MODEL:XT-01-UVlitho-手動版一、產品簡介光刻技術是現代半導體、微電子、信息產業的基礎,是集成電路最重要的加工工藝。光刻膠在紫外光的照射下發生化學變化,通過曝光、顯影、刻蝕等工藝過程
2022-12-20 09:24:261211
霍爾效應產生誤差的原因
霍爾效應實驗是一個受系統誤差影響較大的實驗,特別是在霍爾效應產生的同時,伴隨產生的其他效應引起的附加電場對實驗影響較大。霍爾效應產生誤差的原因主要有以下幾點:
2023-07-03 17:17:042566
虹科案例 | 用于低成本改造光刻設備的UV紫外光源
,半導體制造領域使用 傳統大功率汞燈技術 用于光刻設備的紫外光源。這種光源雖然輸出功率高,但輸出光譜范圍寬,制造和生產過程中會產生對環境有害的物質,并且工作壽命短,更換周期頻繁。 UVLED 具有獨特的技術優勢和成本優勢,能夠輸
2023-07-05 10:11:241026
深紫外光刻復雜照明光學系統設計
。照明系統是光刻機的重要組成部分,其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實現離軸照明,以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統光學設計為研究方向,對照明系統關鍵單元進行了光學設計與仿真研究。
2023-07-17 11:02:38592
紫外光固化系統在制造和生產中的優勢有哪些
在uvitron,我們直接了解紫外光固化設備如何成為許多行業的關鍵技術,紫外光固化系統的好處很多,該技術對許多工業過程的效率、質量和可持續性產生了重大影響。
2023-07-21 11:42:17286
考慮光刻中厚掩模效應的邊界層模型
短波長透明光學元件的缺乏限制了深紫外光刻中的可用波長,而晶片上所需的最小特征繼續向更深的亞波長尺度收縮。這對用入射場代替掩模開口上的場的基爾霍夫邊界條件造成了嚴重的限制,因為這種近似無法考慮光刻圖像
2023-08-25 17:21:43279
深紫外μLED作為日盲紫外光通信光源的研究現狀和綜合分析
實現深紫外光通信的一個關鍵器件是深紫外光源。早期深紫外光源利用高壓汞燈實現,但汞燈的調制帶寬非常小,這嚴重影響了深紫光通信的傳輸速率。
2023-09-05 11:13:00484
極紫外 (EUVL) 光刻設備技術應用分析
歐洲極紫外光刻(EUVL)技術利用波長為13.5納米的光子來制造集成電路。產生這種光的主要來源是使用強大激光器產生的熱錫等離子體。激光參數被調整以產生大多數在13.5納米附近發射的錫離子(例如Sn10+-Sn15+)。
2023-09-25 11:10:50264
深紫外光子滅活技術
廈門大學康俊勇教授、尹君副教授課題組根據致病菌中遺傳物質、蛋白質的紫外光吸收特性,開發了一種由275-nm氮化物LED組成的大功率(3.2 W)且輻照均勻的平面光源,能夠在1秒內完成對新冠病毒
2023-10-17 15:22:23878
簡儀科技紫外光子成像技術應用
在面對紫外光子成像技術時,面臨著諸多挑戰。光子密度大、需要高頻觸發采集,以及實時計算光子位置進行譜圖繪制,這些都對采集設備的性能提出了極高的要求。
2024-03-20 09:56:0777
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