低熱量化學氣相工藝制備氮化硅
- 熱量(7572)
- 氮化硅(138)
相關推薦
碳化硅和碳氮化硅薄膜的沉積方法
摘要 本文提供了在襯底表面上沉積碳化硅薄膜的方法。這些方法包括使用氣相碳硅烷前體,并且可以釆用等離子體增強原子層沉積工藝。該方法可以在低于600“C的溫度下進行,例如在大約23丁和 大約200V之間
2022-02-07 14:01:26898
羅杰斯公司推出新型氮化硅陶瓷基板
羅杰斯公司于近日推出了新款 curamik?系列氮化硅 (Si3N4) 陶瓷基板。由于氮化硅的機械強度比其它陶瓷高,所以新款curamik? 基板能夠幫助設計者在嚴苛的工作環境以及 HEV/EV 和其它可再生
2012-08-07 11:34:163492
溫度對去除氮化物和氧化物層的影響
本文介紹了在緩沖氧化物腐蝕(BOE)溶液中溫度對氮化物和氧化物層腐蝕速率的影響。明確的框架結構和減少的蝕刻時間將提高制造過程的生產率,該方法從圖案化氮化硅開始,以研究在BOE工藝之后形成的框架結構
2022-05-05 14:00:50907
氮化硅LPCVD工藝及快速加熱工藝(RTP)系統詳解
銅金屬化過程中,氮化硅薄層通常作為金屬層間電介質層(IMD)的密封層和刻蝕停止層。而厚的氮化硅則用于作為IC芯片的鈍化保護電介質層(Passivation Dielectric, PD)。下圖顯示
2022-10-17 09:29:597617
平面互補場效應晶體管替代金屬柵工藝流程
該工藝是指在形成層間介質層(ILD)后,插入工序以形成高k介質和金屬柵疊層,即在化學機械拋光(露出多晶硅柵疊層)后,刻蝕掉硬掩模(氮化硅/氧化硅),利用干法或濕法刻蝕清除多晶硅;然后形成高k介質(IL-ox/氧化鉿),
2023-01-17 11:39:232279
6英寸半導體工藝代工服務
、 合金化6、 單面光刻(涂膠、對準、曝光、顯影)7、 雙面光刻8、 LPCVD Si3N4 (氮化硅)9、 LPCVD POLY(多晶硅)10、 a-Si (非晶硅)11、 PECVD SiO2 (氧化硅
2015-01-07 16:15:47
氣相色譜儀的主要結構有哪些?
的組分含量及氣體分布,快速給出高熱值、低熱值、密度、相對密度、華白數、燃燒勢等特征指標不同的氣體。可廣泛應用于燃氣器具生產企業、燃氣計量檢測部門、科研、環保及配氣行業。天然氣分析氣相色譜儀采用三載氣
2022-05-12 08:51:13
氮化硅基板應用——新能源汽車核心IGBT
基板的設備還能進一步縮小體積,4、具有極高的耐化學腐蝕性和良好的耐磨性能。5、斯利通氮化硅陶瓷基板還提供高端的定制化服務。終上所述,對于車用IGBT,氮化硅是再適合不過的。氮化硅陶瓷電路板可以適應高溫
2021-01-27 11:30:38
氮化硅陶瓷基板助力新能源汽車市場
適應高溫高壓的工作環境。氮化硅的散熱系數高,熱膨脹系數與芯片匹配,同時具有極高的耐熱沖擊性。能在及時散去電源系統中的高熱量,保證各大功率負載的正常運行的同時,保護芯片正常工作。使用氮化硅陶瓷基板的設備
2021-01-21 11:45:54
MACOM:硅基氮化鎵器件成本優勢
不同,MACOM氮化鎵工藝的襯底采用硅基。硅基氮化鎵器件既具備了氮化鎵工藝能量密度高、可靠性高等優點,又比碳化硅基氮化鎵器件在成本上更具有優勢,采用硅來做氮化鎵襯底,與碳化硅基氮化鎵相比,硅基氮化鎵晶元尺寸
2017-09-04 15:02:41
煤矸石熱量化驗儀器哪種簡單?
` 煤矸石熱量化驗儀器哪種簡單?煤矸石熱量化驗儀器哪種簡單?由【鶴壁煤炭大卡化驗設備】提供的檢測煤炭發熱量的儀器-化驗煤質大卡機大卡機:186.3920.3323煤質大卡化驗機,煤質熱卡化驗儀,煤
2019-08-28 21:16:40
《炬豐科技-半導體工藝》GaN 基板的表面處理
) 和激光二極管 (LD),并改進 III 族氮化物器件通過實現 III 族氮化物器件薄膜的同質外延生長,顯著提高了性能。塊狀 GaN 單晶可以通過高壓溶液生長 (HPGS) 生長,氫化物氣相外延
2021-07-07 10:26:01
《炬豐科技-半導體工藝》GaN、ZnO和SiC的濕法化學蝕刻
和碳化硅,在室溫下電化學刻蝕在某些情況下是成功的。此外,光輔助濕法蝕刻產生類似的速率,與晶體極性無關。 介紹 寬帶隙半導體氮化鎵、碳化硅和氧化鋅對許多新興應用具有吸引力。例如,AlGaN/GaN高電子
2021-10-14 11:48:31
《炬豐科技-半導體工藝》GaN的晶體濕化學蝕刻
`書籍:《炬豐科技-半導體工藝》文章:GaN的晶體濕化學蝕刻[/td][td]編號:JFSJ-21-0作者:炬豐科技網址:http://www.wetsemi.com/index.html 目前
2021-07-07 10:24:07
《炬豐科技-半導體工藝》n-GaN的電化學和光刻
的開路條件下被光蝕刻。 介紹近年來,氮化鎵和相關氮化物半導體在藍綠色發光二極管、激光二極管和高溫大功率電子器件中的應用備受關注。蝕刻組成材料的有效工藝的可用性因此非常重要。由于第三族氮化物不尋常的化學
2021-10-13 14:43:35
【云智易申請】純化制備系統
申請理由:用于化學行業中的純化制備系統中,目前純化行業還沒有一個真正職能化的系統,都是通過工作站進行控制和監測,想借用該開發版打造一個新的純化制備系統,改變傳統的設備定義項目描述:開發一套化學行業中
2015-08-03 20:57:18
【轉帖】干法刻蝕的優點和過程
青睞的刻蝕劑是氟化銨和醋酸1:2的混合水溶液。氮化硅濕法刻蝕對于鈍化層,另外一種受青睞的化合物是氮化硅。可以用液體化學的方法來刻蝕,但是不想其他層那樣容易。使用的化學品是熱磷酸。因酸液在此溫度下會迅速
2018-12-21 13:49:20
為何碳化硅比氮化鎵更早用于耐高壓應用呢?
HEPV (Hydride Vapor Phase Epitaxial)氣相外延法(下文簡稱“HVPE”),通過氣相外延法(HEPV)來制備氮化鎵晶體。若將藍寶石等作為晶體生長的基本原料,則會
2023-02-23 15:46:22
什么是氮化鎵(GaN)?
氮化鎵南征北戰縱橫半導體市場多年,無論是吊打碳化硅,還是PK砷化鎵。氮化鎵憑借其禁帶寬度大、擊穿電壓高、熱導率大、電子飽和漂移速度高、抗輻射能力強和良好的化學穩定性等優越性質,確立了其在制備寬波譜
2019-07-31 06:53:03
傳統的硅組件、碳化硅(Sic)和氮化鎵(GaN)
傳統的硅組件、碳化硅(Sic)和氮化鎵(GaN)伴隨著第三代半導體電力電子器件的誕生,以碳化硅(Sic)和氮化鎵(GaN)為代表的新型半導體材料走入了我們的視野。SiC和GaN電力電子器件由于本身
2021-09-23 15:02:11
列數芯片制造所需設備
缺少的一個環節。低壓化學氣相淀積系統LPCVD工藝在襯底表面淀積一層均勻的介質薄膜,用作微機械結構層材料、犧牲層、絕緣層、掩模材料,LPCVD工藝淀積的材料有多晶硅、氮化硅、磷硅玻璃。不同的材料淀積采用
2018-09-03 09:31:49
應用于新能源汽車的碳化硅半橋MOSFET模塊
是基本半導體針對新能源商用車等大型車輛客戶對主牽引驅動器功率器件的高功率密度、長器件壽命等需求而專門開發的產品。 該產品采用標準ED3封裝,采用雙面有壓型銀燒結連接工藝、高密度銅線鍵合技術、高性能氮化硅AMB
2023-02-27 11:55:35
晶圓制造工藝流程完整版
是在晶圓上制作電路及電子元件(如晶體管、電容、邏輯開關等),其處理程序通常與產品種類和所使用的技術有關,但一般基本步驟是先將晶圓適當清洗,再在其表面進行氧化及化學氣相沉積,然后進行涂膜、曝光、顯影、蝕刻
2011-12-01 15:43:10
求“Motorola MPC755”處理器的制備工藝參數
有哪位同仁知道Motorola MPC755的詳細制備工藝嗎?是220nm的工藝,5層金屬如果知道的話,可以發到我的郵箱里mht_84@126.com多謝了啊
2011-02-24 16:11:17
生物質燃料熱量化驗儀器
生物質燃料熱量化驗儀器 生物質燃料熱量化驗儀器 生物質燃料熱值化驗設備 生物質顆粒熱量檢測儀。生物質顆粒熱值檢測儀器生物質熱值儀詳詢:138.3923.4904量熱儀實驗操作方法:接通電源,儀器
2021-01-04 12:13:36
磚坯熱量化驗設備-爐渣熱量化驗儀
`由【鶴壁煤矸石發熱量檢測儀】提供的大卡機:***磚坯熱量化驗設備,爐渣熱量化驗儀,測試煤熱值的儀器,檢測煤炭發熱量的設備,磚廠熱值化驗設備,磚廠熱值檢測儀器,煤矸石熱量化驗設備,煤矸石熱卡機,煤炭大卡檢測機,煤炭熱卡儀`
2019-04-24 08:49:04
碳化硅深層的特性
。超硬度的材料包括:金剛石、立方氮化硼,碳化硼、碳化硅、氮化硅及碳化鈦等。3)高強度。在常溫和高溫下,碳化硅的機械強度都很高。25℃下,SiC的彈性模量,拉伸強度為1.75公斤/平方厘米,抗壓強度為
2019-07-04 04:20:22
碳化硅的歷史與應用介紹
的化學惰性? 高導熱率? 低熱膨脹這些高強度、較持久耐用的陶瓷廣泛用于各類應用,如汽車制動器和離合器,以及嵌入防彈背心的陶瓷板。碳化硅也用于在高溫和/或高壓環境中工作的半導體電子設備,如火焰點火器、電阻加熱元件以及惡劣環境下的電子元器件。
2019-07-02 07:14:52
表面硅MEMS加工技術的關鍵工藝
來激活化學氣相淀積反應。其淀積溫度一般在400℃以下,可以用來淀積氧化硅、氮化硅、PSG、BPSG、Al2O3等絕緣體及鈍化膜和非晶硅薄膜以及有機化合物和TiC、TiN等耐磨抗蝕膜。在表面硅MEMS工藝中
2018-11-05 15:42:42
解開顆粒燃料熱量化驗儀器的神秘面紗
`解開顆粒燃料熱量化驗儀器的神秘面紗當代社會資源越來越緊缺的,誰擁有資源,誰就擁有話語權,生物質顆粒燃料因具有高發熱量,長燃燒時間、低灰分、低含硫量、可持續的特點,使用范圍越來越廣泛,正逐步代替傳統
2018-11-03 18:01:42
貯氫合金制備工藝對其電化學性能的影響
AB5型貯氫合金是目前國內外MH/Ni電池生產中使用最為廣泛的負極材料,而貯氫合金的電化學性能是由合金的成分、微觀結構和表面狀態決定的。本文綜述了ABs型貯氫合金制備工藝-熔煉、熱處理以及制粉工藝
2011-03-11 11:57:08
鍺化硅工藝在高速通信領域有哪些應用?
硅技術的迅猛發展使工程師們能夠設計和創建出新型電路,這些電路的速度和性能以前只有用基于GaAs和InP的HBT(異質結雙極晶體管)和PHEMT技術才能達到,電路的核心就是鍺化硅(SiGe)工藝
2019-07-30 07:56:50
集成電路工藝小結
前工序圖形轉換技術:主要包括光刻、刻蝕等技術薄膜制備技術:主要包括外延、氧化、化學氣相淀積、物理氣相淀積(如濺射、蒸發) 等摻雜技術:主要包括擴散和離子注入等技術 后工序劃片封裝測試老化篩選 :
2018-11-26 16:16:13
福祿克紅外熱像儀在化學纖維制備工藝中的應用
化學纖維的制備需要用噴絲頭(板)擠出成為液態細流凝固而成纖維,溫度的控制決定纖維的拉伸強度和其他性能。因此研究制絲流程,改善制絲工藝,可有效提高纖維的品質。而纖維身的小目標和快速移動使溫度的檢測成為大問題,本文主要介紹使用大師之選系列熱像儀在化學纖維制絲的現場案例。
2016-08-12 17:42:23930
氮化硅陶瓷球材料性能參數測試
針對目前氮化硅陶瓷球材料性能評價體系不完善,以及各個廠家生產的陶瓷球質量參差不齊的問題,對3個較著名廠家(記為A、B、C)的陶瓷球的密度、顯氣孔率、硬度、斷裂韌性及壓碎載荷等主要性能參數進行了研究
2018-03-20 15:53:131
CMOS工藝流程的詳細資料講解
CMOS 工藝流程介紹
1.襯底選擇:選擇合適的襯底,或者外延片,本流程是帶外延的襯底;
2. 開始:Pad oxide 氧化,如果直接淀積氮化硅,氮化硅對襯底應力過大,容易出問題;
2020-06-02 08:00:000
關于氮(氧)化硅濕法刻蝕后清洗方式的改進
摘要:在半導體制造工藝的濕法刻蝕中,用熱磷酸刻蝕氮化硅和氮氧化硅是其中一個相對復雜又難以控制的工藝。在這個工藝中,熱磷酸刻蝕后的去離子水(DIW)清洗更是一個非常重要的步驟。主要分析了由于去離子水
2020-12-29 14:36:072510
一種采用氮化硅襯底制造光子集成電路的新技術
瑞士洛桑聯邦理工學院(EPFL)基礎科學學院的Tobias Kippenberg教授帶領的科學家團隊已經開發出一種采用氮化硅襯底制造光子集成電路的新技術,得到了創記錄的低光學損耗,且芯片尺寸小。
2021-05-06 14:27:392334
一種采用氮化硅襯底制造集成光子電路(光子芯片)技術
近日,瑞士洛桑聯邦理工學院(EPFL)教授Tobias Kippenberg團隊開發出一種采用氮化硅襯底制造集成光子電路(光子芯片)技術,得到了創紀錄的低光學損耗,且芯片尺寸小。相關研究在《自然—通訊》上發表。
2021-05-24 10:43:384490
鍺對氮化硅中紅外集成光子學的波導
在中紅外波長下,演示了一種具有大纖芯-包層指數對比度的鍺基平臺——氮化硅鍺波導。仿真驗證了該結構的可行性。這種結構是通過首先將氮化硅沉積的硅上鍺施主晶片鍵合到硅襯底晶片上,然后通過層轉移方法獲得氮化硅上鍺結構來實現的,該結構可擴展到所有晶片尺寸。
2021-12-16 17:37:571073
用磷酸揭示氮化硅對二氧化硅的選擇性蝕刻機理
電流的極端規模集成。在這個過程中,固相氮化硅(Si3N4)層在部分二氧化硅(SiO2)沉積中起到掩模的作用。通過這種沉積,形成了由數百個交替堆疊的Si3N4和二氧化硅原子層組成的垂直堆疊結構.Si3N4掩模必須在程序結束時去除,通常通過熱化學蝕
2021-12-28 16:38:085460
從晶圓到芯片,有哪些工藝流程?
從晶圓到芯片,有哪些工藝流程?晶圓制造工藝流程步驟如下: 1.表面清洗 2.初次氧化 3.CVD 4.涂敷光刻膠 5.用干法氧化法將氮化硅去除 6.去除光刻膠 7.用熱磷酸去除氮化硅層 8.退火處理
2021-12-30 11:11:1617302
用于CVD金剛石沉積的氮化硅表面預處理報告
摘要 本文研究了氮化硅(氮化硅)基底的不同表面預處理(四種標準化學蝕刻和四種金剛石粉末磨刻(CVD)的效率。空白氮化硅樣品用膠體二氧化硅(0.25m)拋光。金剛石成核和生長運行在微波等離子體化學
2022-01-21 15:02:04652
碳化硅和碳氮化硅薄膜的沉積方法
本文提供了在襯底表面上沉積碳化硅薄膜的方法。這些方法包括使用氣相碳硅烷前體,并且可以釆用等離子體增強原子層沉積工藝。該方法可以在低于600“C的溫度下進行,例如在大約23丁和 大約200V之間
2022-02-15 11:11:143427
氧化硅刻蝕速率的提高方法
摘要 等離子體蝕刻工藝,特別適用于在具有非氧化物成分的特征上選擇性蝕刻氧化物,例如氮化硅,尤其是當該特征具有在氧化物蝕刻期間易于刻面的角部時。主要的含氟氣體,優選六氟丁二烯 (C4F6),與顯著更大
2022-02-24 13:42:292426
半導體工藝—晶片清洗工藝評估
是干法技術,其中顆粒從干燥的顆粒-氣溶膠流中沉積。晶片老化的程度通過清洗測試來量化。在顆粒沉積后的不同日子,清洗被氮化硅和鎢顆粒污染的晶片,并監測清洗效率隨晶片儲存時間的變化。測試表明,與濕浸晶片相比,干沉積晶
2022-03-04 15:03:502588
用濕化學工藝制備的超薄氧化硅結構
近十年來,濕化學法制備超薄二氧化硅/硅和超薄二氧化硅/硅結構的技術和研究取得了迅速發展。這種結構最重要是與大尺寸硅晶片上氧化物層的均勻生長有關。
2022-03-11 13:57:22828
氮化鎵的大面積光電化學蝕刻技術
本文介紹了一種利用氫氧化鉀溶液和大面積汞燈照明對氮化鎵進行光增強濕法化學刻蝕的工藝。討論了n+氮化鎵、非有意摻雜氮化鎵和p-氮化鎵樣品的結果。
2022-03-17 15:42:561112
采用濕蝕刻技術制備黑硅
本文介紹了我們華林科納采用氮化硅膜作為掩膜,采用濕蝕刻技術制備黑硅,樣品在250~1000nm波長下的吸收率接近90%。實驗結果表明,氮化硅膜作為掩模濕蝕刻技術制備黑硅是可行的,比飛秒激光、RIE
2022-03-29 16:02:59819
一種在襯底上蝕刻氮化硅的方法
本文提供了用于蝕刻膜的方法和設備。一個方面涉及一種在襯底上蝕刻氮化硅的方法,該方法包括:(a)將氟化氣體引入等離子體發生器并點燃等離子體以a形成含氟蝕刻溶液;(b)從硅源向等離子體提供硅;以及
2022-04-24 14:58:51979
晶片表面沉積氮化硅顆粒的沉積技術
評估各種清洗技術的典型方法是在晶片表面沉積氮化硅(Si,N4)顆粒,然后通過所需的清洗工藝處理晶片。國家半導體技術路線圖規定了從硅片上去除顆粒百分比的標準挑戰,該挑戰基于添加到硅片上的“>
2022-05-25 17:11:381242
半導體行業——加熱工藝解析
硅局部氧化(LOCOS)的隔離效果比整面全區覆蓋式氧化效果好。LOCOS工藝使用一層很 薄的二氧化硅層200-500A作為襯墊層以緩沖LPCVD氮化硅的強張力。經過氮化硅刻蝕、光 刻膠剝除和晶圓清洗后,沒有被氮化硅覆蓋的區域再生長出一層厚度為3000?5000 A的氧化 層。
2022-08-12 11:18:057917
磷酸的腐蝕特性及緩蝕劑 氮化硅濕法蝕刻中熱磷酸的蝕刻率
在半導體濕法蝕刻中, 熱磷酸廣泛地用于對氮化硅的去除工藝, 實踐中發現溫下磷酸對氮化硅蝕刻率很難控制。 從熱磷酸在氮化硅濕法蝕刻中的蝕刻原理出發, 我們華林科納分析了影響蝕刻率的各個因素, 并通過
2022-08-30 16:41:592998
了解一下氮化硅陶瓷基板究竟有哪些特點?
材料。而氮化硅陶瓷板在各方面比較均衡,也是綜合性能最好的結構陶瓷材料。因此,Si3N4氮化硅在電力電子器件陶瓷基板制造領域具有很強的競爭力。 過去,電路基板是由分立元件或集成電路與分立元件組合而成的平面材料,以滿足整
2022-10-07 10:22:001544
氮化硅陶瓷基板有利于提高功率器件的可靠性及高導熱性
。但是,作為絕緣體安裝在陶瓷基板上的半導體元件是散熱還是冷卻,提高作為熱傳導介質的氮化硅陶瓷基板的熱傳導性是主要問題。
2022-10-13 16:29:58668
氮化硅陶瓷基板的5大應用你知道嗎?
如今高導熱氮化硅陶瓷基板因其優異的機械性能和高導熱性而成為下一代大功率電子器件不可缺少的元件,適用于復雜和極端環境中的應用。在這里,我們概述了制備高導熱氮化硅陶瓷的最新進展。
2022-11-10 10:01:332010
中國第3代半導體半導體理想封裝材料——高導熱氮化硅陶瓷基板突破“卡脖子”難題
2022年9月,威海圓環先進陶瓷股份有限公司生產的行業標準規格0.32mmX139.7mmX190.5mm的高導熱氮化硅陶瓷基板已經達到量產規模,高導熱氮化硅陶瓷基板各項理化指標到了國際上行業領軍的質量水平,突破了西方先進國家在高導熱氮化硅陶瓷基板的技術保護和應用產品對我國“卡脖子”難題。
2022-11-11 16:36:574150
高導熱率氮化硅散熱基板材料的研究進展
針對越來越明顯的大功率電子元器件的散熱問題,主要綜述了目前氮化硅陶瓷作為散熱基板材料的研究進展。對影響氮化硅陶瓷熱導率的因素、制備高熱導率氮化硅陶瓷的方法、燒結助劑的選擇、以及氮化硅陶瓷機械性能和介電性能等方面的最新研究進展作了詳細論述
2022-12-06 09:42:40820
如何提高氮化硅的實際熱導率實現大規模生產的問題解決
綜合上述研究可發現,雖然燒結方式不一樣,但都可以制備出性能優異的氮化硅陶瓷。在實現氮化硅陶瓷大規模生產時,需要考慮成本、操作難易程度和生產周期等因素,因此找到一種快速、簡便、低成本的燒結工藝是關鍵。
2022-12-06 10:30:392408
氮化硅與氮化鋁陶瓷基板究竟有何區別?
等優點,廣泛應用于電子器件封裝。 由于具有優異的硬度、機械強度和散熱性,氮化硅陶瓷和氮化鋁陶瓷基板都可以制成用于電子封裝的陶瓷基板,同時它們也具有不同的性能和優勢。以下就是區別。 1、散熱差異 氮化硅陶瓷基板的導熱
2022-12-09 17:18:241219
石墨烯納米孔傳感器制造與單分子過孔形態檢測
采用如圖2所示工藝制備獲得石墨烯納米孔。首先,通過低壓化學氣相沉積法在硅片兩側沉積200 nm的低應力氮化硅(Si3N4)薄膜。隨后,通過光刻與反應離子刻蝕(RIE)工藝在背面Si3N4薄膜上刻蝕出硅基體釋放窗口。接著使用氫氧化鉀(KOH)刻蝕基體硅
2022-12-15 16:45:00561
常用制備高導熱氮化硅陶瓷的燒結工藝現狀
隨著集成電路工業的發展,電力電子器件技術正朝著高電壓、大電流、大功率密度、小尺寸的方向發展。因此,高效的散熱系統是高集成電路必不可少的一部分。
2022-12-20 10:06:062024
氮化鎵外延片工藝介紹 氮化鎵外延片的應用
氮化鎵外延片生長工藝較為復雜,多采用兩步生長法,需經過高溫烘烤、緩沖層生長、重結晶、退火處理等流程。兩步生長法通過控制溫度,以防止氮化鎵外延片因晶格失配或應力而產生翹曲,為目前全球氮化鎵外延片主流制備方法。
2023-02-05 14:50:004345
氮化硅提供從研發進展到量產的靈活性
現今,氮化硅(SiN)為光子集成提供了更多的途徑,包括新的200mm、高產量、汽車級CMOS生產線。在過去的幾年里,SiN緊隨確立已久的硅光子學之后,該材料平臺已經成熟,并在光子集成電路(PIC)市場上,為那些需要非常低傳播損耗、可見波長或高激光功率的應用提供了新的機會。
2023-02-15 16:37:09878
氮化鎵外延片工藝流程介紹 外延片與晶圓的區別
氮化鎵外延片工藝是一種用于制備氮化鎵外延片的工藝,主要包括表面清洗、氮化處理、清洗處理、干燥處理和檢測處理等步驟。
2023-02-20 15:50:3210570
關于碳化硅晶須的制備
。
以往關于碳化硅晶須的研究較多。碳化硅晶須的強度和模量確實優于氮化硅晶須,但Si3N4晶須比SiC具有更優良的耐高溫、高
強度、高模量、低膨脹和良好的化學穩定性,被認為是增強金屬和陶瓷材料的理想增強組元。
2023-02-21 09:13:470
國產氮化硅陶瓷基板升級SiC功率模塊,提升新能源汽車性能優勢
國產氮化硅陶瓷基板升級SiC功率模塊,提升新能源汽車加速度、續航里程、輕量化、充電速度、電池成本5項性能優勢
2023-03-15 17:22:551018
集成光學新賽道上的新“跨越”
氮化硅材料的引入,為人們提供了一個解決方案。氮化硅不僅具有多項優異的光學特性,而且氮化硅片上集成光波導的加工也能完美兼容當下標準的CMOS硅芯片制造工藝。目前,世界上僅少數幾個實驗室實現了0.01 dB每厘米甚至更低的光傳輸損耗。
2023-03-22 09:49:29506
高效率低能耗干法超細研磨與分散壓電陶瓷等硬質礦物材料技術升級
氮化硅研磨環由于研磨環存在內外氣壓差,可以在密閉的真空或者很濃密的場景中快速的上下運動,氮化硅磨介圈在大的球磨機里不僅起到研磨粉碎的作用,更重要的是眾多的氮化硅磨介圈環會發生共振現象,氮化硅
2023-03-31 11:40:35597
氮化硅陶瓷基板的市場優勢和未來前景
氮化硅基板是一種新型的材料,具有高功率密度、高轉換效率、高溫性能和高速度等特點。這使得氮化硅線路板有著廣泛的應用前景和市場需求,正因為如此斯利通現正全力研發氮化硅作為基材的線路板。
2023-04-11 12:02:401364
多孔氮化硅陶瓷天線罩材料制備及性能研究
近日,上海玻璃鋼研究院有限公司的高級工程師趙中堅沿著該思路,以純纖維狀α-Si3N4粉為主要原料,通過添加一定比例氧化物燒結助劑,經冷等靜壓成型和氣氛保護無壓燒結工藝燒結制備出了能充分滿足高性能導彈天線罩使用要求的多孔氮化硅陶瓷。
2023-04-16 10:30:461279
國產氮化硅陶瓷基板邂逅碳化硅功率模塊,國產新能源汽車開啟性能狂飆模式
新能源電動汽車爆發式增長的勢頭不可阻擋,氮化硅陶瓷基板升級SiC功率模塊,對提升新能源汽車加速度、續航里程、充電速度、輕量化、電池成本等各項性能尤為重要。
2023-05-02 09:28:451170
高導熱氮化硅陶瓷基板研究現狀
的要求,傳統的陶瓷基板如AlN、Al2O3、BeO等的缺點也日益突出,如較低的理論熱導率和較差的力學性能等,嚴重阻礙了其發展。相比于傳統陶瓷基板材料,氮化硅陶瓷由于
2022-12-05 10:57:121388
陶瓷基板制備工藝研究進展
目前常用的高導熱陶瓷粉體原料有氧化鋁(Al2O3)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)、碳化硅(SiC)和氧化鈹(BeO)等。隨著國家大力發展綠色環保方向,由于氧化鈹有毒性逐漸開始退出歷史的舞臺。
2023-06-27 15:03:56544
氮化硅陶瓷在四大領域的研究及應用進展
氮化硅陶瓷軸承球與鋼質球相比具有突出的優點:密度低、耐高溫、自潤滑、耐腐蝕。疲勞壽命破壞方式與鋼質球相同。陶瓷球作為高速旋轉體產生離心應力,氮化硅的低密度降低了高速旋轉體外圈上的離心應力。
2023-07-05 10:37:061561
氮化硅是半導體材料嗎 氮化硅的性能及用途
氮化硅是一種半導體材料。氮化硅具有優異的熱穩定性、機械性能和化學穩定性,被廣泛應用于高溫、高功率和高頻率電子器件中。它具有較寬的能隙(大約3.2電子伏特),并可通過摻雜來調節其導電性能,因此被視為一種重要的半導體材料。
2023-07-06 15:44:433823
沉積氮化硅薄膜的重要制備工藝——PECVD鍍膜
PECVD作為太陽能電池生產中的一種工藝,對其性能的提升起著關鍵的作用。PECVD可以將氮化硅薄膜沉積在太陽能電池片的表面,從而有效提高太陽能電池的光電轉換率。但為了清晰客觀的檢測沉積后太陽能電池
2023-09-27 08:35:491775
國科光芯實現傳輸損耗-0.1dB/cm(1550 nm波長)級別氮化硅硅光芯片的量產
據麥姆斯咨詢報道,經過兩年、十余次的設計和工藝迭代,國科光芯(海寧)科技股份有限公司(簡稱:國科光芯)在國內首個8英寸低損耗氮化硅硅光量產平臺,實現了傳輸損耗-0.1 dB/cm(1550 nm波長
2023-11-17 09:04:54656
碳化硅和氮化鎵哪個好
、結構、制備方法、特性以及應用方面存在著一些差異。以下將詳細介紹碳化硅和氮化鎵的區別。 1. 物理性質 碳化硅是由碳和硅元素組成的化合物,具有多種晶體結構,包括六方晶系、三方晶系和立方晶系。它具有較高的熔點、硬度、熱導率和
2023-12-08 11:28:51742
京瓷利用SN氮化硅材料研發高性能FTIR光源
京瓷株式會社(以下簡稱京瓷)成功研發用于FTIR※的氮化硅(Silicon Nitride,以下簡稱SN)高性能光源。
2023-12-15 09:18:06234
TOPCon核心工藝技術路線盤點
TOPCon 電池的制備工序包括清洗制絨、正面硼擴散、BSG 去除和背面刻蝕、氧化層鈍化接觸制備、正面氧化鋁沉積、正背面氮化硅沉積、絲網印刷、燒結和測試分選,約 12 步左右。從技術路徑角度:LPCVD 方式為目前量產的主流工藝,預計 PECVD 路線有望成為未來新方向。
2023-12-26 14:59:112733
氮化鎵芯片生產工藝有哪些
氮化鎵芯片是一種新型的半導體材料,由于其優良的電學性能,廣泛應用于高頻電子器件和光電器件中。在氮化鎵芯片的生產工藝中,主要包括以下幾個方面:材料準備、芯片制備、工廠測試和封裝等。 首先,氮化鎵芯片
2024-01-10 10:09:41506
LPCVD技術助力低應力氮化硅膜制備
LPCVD是低壓化學氣相沉積(low-pressurechemical vapor deposition)的縮寫,低壓主要是相對于常壓的APCVD而言,主要區別點就是工作環境的壓強,LPCVD的壓強通常只有10~1000Pa,而APCVD壓強約為101.3KPa。
2024-01-22 10:38:35167
評論
查看更多