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結(jié)終端擴展技術(shù)

2012年02月03日 17:23 中電網(wǎng) 作者:辰光 用戶評論(0
關(guān)鍵字:高壓器件(5439)JTE(6254)

  結(jié)終端擴展(JTE)技術(shù)最早由A.K.Temple等人提出,其作用是控制高壓器件的表面電場。最早的JTE為橫向變摻雜技術(shù)將終端區(qū)分為多區(qū),靠近主結(jié)的JTE區(qū)保持較高的濃度,以減弱主結(jié)電場,最外區(qū)保持較低的濃度,從而降低自身的電場強度,這種工藝難度大而且復(fù)雜,不適用于批量生產(chǎn)。

  可采用多區(qū)變化終端窗口設(shè)計,即越靠近主結(jié)的區(qū)域,環(huán)設(shè)計較寬;離主結(jié)越遠,終端環(huán)設(shè)計越窄。通過多種實驗優(yōu)化,如800V器件的JTE窗口設(shè)計分別為4.5μm、4μm、3.5μm、3μm、2.5μm、2μm、1μm。實踐證明,該結(jié)構(gòu)可以起到分開優(yōu)化表面電場和體內(nèi)電場的作用,從而提高擊穿電壓。利用結(jié)終端擴展技術(shù),可以相對于場限環(huán)減小終端面積,從而降低成本。

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( 發(fā)表人:辰光 )

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