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韓企開展開脫日行動,SK集團高純度氟化氫預計明年上半年量產

h1654155973.6121 ? 來源:YXQ ? 2019-07-29 13:51 ? 次閱讀

7月26日消息,為應對日本出口限制,韓國大企業開始展開脫日行動,SK集團計劃通過子公司生產高純度氟化氫,并在明年上半年投入量產。

據韓國《etnews》、《朝鮮日報》等多家媒體報道,SK集團子公司SK Mertials計劃今年完成試制品,籌備生產高純度氟化氫。SK Mertials相關人士表示,正在開發相關生產設備,目標是在年底提供樣品。

在日本對韓出口限制名單中,氟化氫便是其中一個品項,韓國氟化氫有41.9%從日本進口,其中高純度氟化氫(99.999%以上)有9成以上依賴日本。

氟化氫是半導體材料蝕刻氣體的原料之一,在芯片制造工程中,用于刻畫電路、清潔硅片異物,其中氣態與液態的氟化氫能夠混合使用,液態產品被稱為蝕刻液,氣態則是蝕刻氣體。

SK Mertials計劃制造氣態的氟化氫,即蝕刻氣體,并供應給半導體業界。《etnews》指出,由于SK年底才會推出樣品,明年上半年有望投入正式量產。

SK Mertials自1982年起生產半導體材料,是韓國首度國產化三氟化氮(NF3)的企業,三氟化氮為半導體、顯示器、太陽能電池原料之一,此外也生產工業燃氣六氟化鎢(WF6),供貨給石油產業、鋼鐵產業。

雖然SK Mertials擁有豐富制造經驗,但首次生產氟化氫引起外界關注。SK Mertials對此表示,過去曾處理過原料氟,并累積許多相關制造經驗,擁有制造高純度氟化氫的實力。

SK Matials尚未公布投資規模、生產能力(CAPA)等細節,加上產品也需經過質量鑒定,能否應用到半導體制程仍是未知數。

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原文標題:SK集團明年自主生產氟化氫!

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