盡管日本政府正式將韓國移出了對外貿易白名單,管制對韓國公司出口光刻膠、氟化聚酰亞胺和氟化氫等重要材料,但是日本方面最近也審批了新的對韓出口,光刻膠、氟化氫兩種產品都批準出口了。
高純度的電子級氟化氫是氟精細化學品的一種,在半導體制造工藝中主要用于去除膜沉積后粘附在化學氣相沉積爐內的不必要化學物質、等離子刻蝕、光刻膠圖案化之后的蝕刻細槽或孔等流程,是一種半導體生產中非常重要的原材料,日本公司在這個領域占據主要份額。
但是日本的制裁使得韓國公司對日本供應鏈產生了警惕,即便可以進口,三星、SK海力士及LG等公司還是會替換日本材料。日前韓國報道稱,LG旗下的LG Display公司已經測試成功了韓國產氟化氫,并開始應用于工業生產,這比原先預計的時間提早了一個月多。
從報道來看,韓國公司生產的高純度氟化氫已經達到了LG公司的要求,產量及成本都符合公司標準。
不只是LG,三星公司預計也會在本月初完成國產氟化氫材料的測試驗證工作,一旦完成測試工作也會立即用于生產線中以便用于量產工作。
從日韓的對立情況來看,兩國的關系不太可能在短時間內修復,日本還會繼續通過管制措施制裁韓國,但是韓國在重要材料上也決定轉向國產自主,預計在未來5年里投入5萬億韓元(約合295億人民幣)實現100多種重要材料及裝備的國產化。
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