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上海福賽特自主研發(fā)的LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)將于年內(nèi)在三安生產(chǎn)線投入量產(chǎn)運(yùn)營(yíng)

半導(dǎo)體動(dòng)態(tài) ? 來(lái)源:wv ? 作者:大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) ? 2019-09-08 10:37 ? 次閱讀

由上海福賽特智能設(shè)備有限公司獨(dú)立研發(fā)的LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)將于年內(nèi)在三安生產(chǎn)線投入量產(chǎn)運(yùn)營(yíng)。該設(shè)備用于LED外延工藝,可實(shí)現(xiàn)晶圓從原料倉(cāng)至PVD工序間,以及PVD工序到MOCVD間的周轉(zhuǎn)。

上海福賽特介紹,該設(shè)備采用行業(yè)領(lǐng)先的潔凈機(jī)器人、先進(jìn)的激光傳感器和CCD,以及自主研發(fā)的載盤(pán)尋邊器等,配合自主研發(fā)的信息化系統(tǒng),可自動(dòng)與企業(yè)生產(chǎn)的MES系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)交互,連接各個(gè)工藝段中的獨(dú)立設(shè)備系統(tǒng),組成閉環(huán)的智能信息化系統(tǒng)。同時(shí),可實(shí)現(xiàn)晶圓自動(dòng)上下片、晶圓尋邊、晶圓WaferID自動(dòng)讀取和校對(duì)、生產(chǎn)工單的解批和并批等。

上海福賽特表示,即將量產(chǎn)的LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)中的機(jī)電設(shè)計(jì)、控制軟件、智能算法等十多項(xiàng)技術(shù)均由公司獨(dú)立自主研發(fā),擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

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