在<電子發燒友>9月20日舉行的“浣沙淘金,模擬論芯”2019年中國模擬半導體大會上,帝奧微電子產品事業部總監莊華龍分享了主題為《智能互聯的差異化解決方案》的演講。在演講中,他指出,模擬芯片設計的根基在于工藝。在集成電路領域,常常需要用到各種各樣的工藝和器件配合,想要做出好的產品,就需要選擇最合適的工藝平臺和器件。
圖1:帝奧微電子產品事業部總監莊華龍在發表演講。
BCD工藝的特點是將硅平面工藝用到功率集成上,是一種可以將雙極、CMOS和DMOS器件同時集成到單芯片上的技術。在功率應用領域,與傳統的雙極功率工藝相比,BCD工藝具有顯著的優勢,最基本的優勢就是使得電路設計者可以在高精度模擬的雙極器件,高集成度的CMOS器件和作為功率輸出級的DMOS器件之間自由選擇。由于DMOS具有高效率(低損耗)、高強度(無二次擊穿)、耐高壓和固有的源漏二極管的存在(作用類似續流二極管)和高速的開關特性,因此,DMOS特別適合作為功率開關器件,而且其制造工藝可以和硅柵CMOS制造工藝兼容,從而有利于功率集成。整合好的BCD工藝可大幅降低功耗,提高系統性能,增加可靠性和降低成本。
經過三十多年的發展,BCD工藝技術已經取得了很大進步,從第一代的4微米BCD工藝發展到了第六代的0.13微米BCD工藝,線寬尺寸不斷減小的同時,也采用了更加先進的多層金屬布線系統,使得BCD工藝與純CMOS工藝發展差距縮小;另一方面,BCD工藝想著標準化模塊化發展,其基本工序標準化,混合工藝則由這些基本工序組合而成,設計人員可以根據各自的需要增減相應的工藝步驟。目前的BCD工藝中的CMOS與純CMOS可完全兼容。
總的來說,今后的BCD工藝主要向著高壓、高功率和高密度三個方向發展,同時提高與CMOS工藝的工藝兼容性。在莊華龍看來,目前BCD工藝技術水平最好的基本都是歐美公司,而且主要以設計、工藝制造為一體的IDM模式為主,其次為日本、韓國,中國***和大陸的代工企業。
主要的廠商包括:
歐洲:意法半導體(ST)、恩智浦(NXP)等;
日本:東芝等;
韓國:東部高科(DBH)和海力士等;
中國***:臺積電(TSMC)、聯華電子(UMC)等;
中國大陸:中芯國際(SMIC)、華潤上華(CSMC)、和艦(HJTC)、華虹宏力(HHNEC),以及積塔半導體等。
圖2:全球各地區的BCD工藝發展趨勢圖。
莊華龍指出,在非IDM的晶圓代工企業中,中國***的臺積電和東部高科屬于BCD工藝的第一梯隊領跑者,他們與歐美IDM企業之間的差距已經很小,甚至在某些方面更加優秀;而中國大陸的BCD工藝技術與他們仍然有著一代工藝(3~5年)的差距。
就目前來說,市場上對模擬器件的要求越來越高,主要有以下幾個方面:
首先是低功耗,設備的續航能力與模擬器件的功耗直接相關,因此我們需要更低功耗的模擬器件;
二是高速,隨著數據傳輸量的增加,需要模擬器件支持更高的帶寬,來切換各種功能;
三是高集成度,功能的增加就意味著器件數量的增加,或單器件的面積增加,要保持現有設備的體積不變甚至更小,需要器件的集成度越來越高;
四是核心部件開拓,我們需要研發性能指標更高,更核心器件來提高國產器件的國際競爭力。
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