針對近幾日多家媒體報道的有關ASML公司對中芯國際訂購的EUV光刻機設備有意延遲的推測。二家公司今日均發表內容回應。
ASML回應如下:
關于日經新聞(NIKKEI)昨日報導,其標題和內容呈現造成誤導,本公司在此提出澄清。
我司不對任何客戶做comment。對于日經新聞報道的關于交貨時程僅為其媒體推測,ASML從未評論或確認,因此,“延遲出貨”僅為媒體推測。對其將推測直接定性為事實作為新聞標題并在文中闡述,表示抗議。
ASML一向在遵守相關國際法規的前提下一視同仁地服務全球客戶。根據瓦圣納協議,ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期,ASML已經于到期前重新進行申請,目前正在等待荷蘭政府核準。因此,關于“ASML決定延遲/終止出貨”的說法是錯誤的,ASML系遵循法規行事。
中芯國際也表示:
EUV還在紙面工作階段,未進行相關活動。公司先進工藝研發進展順利。目前,研發與生產的連結一切正常。客戶與設備導入正常運作。
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