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AMSL:截止2019年,EUV設備加工了450萬片晶圓

jf_1689824270.4192 ? 來源:電子發燒友網 ? 作者:jf_1689824270.4192 ? 2019-12-17 13:58 ? 次閱讀

ASML在IEDM 2019大會上披露,截至2019年,總共已經使用EUV設備處理了450萬片晶圓。該公司最新的NXE:3400C系統每小時可生產170個晶圓。

從2011年到2018年末,通過ASML的EUV工具累計運行的450萬片晶圓中,絕大部分(250萬片)僅發生在2018年,自2016年初的60萬片以來,每年大約翻一番。每年要有1200萬個晶圓,盡管應該注意的是,晶圓在其制造過程中可能會經歷數十次光刻曝光。

由于三星和臺積電都已開始生產其7nm和N7 +工藝,因此EUV加工的晶圓數量在2019年可能還會增加。基于EUV的芯片包括三星Exynos 9825,麒麟990 5G,以及明年,高通的 5G Snapdragon芯片組和AMD的Zen3。英特爾將在2021年采用7nm的EUV。

截至2018年第二季度,NXE:3400B系統的安裝基數達到38個,幾乎是2017年的四倍。這表明EUV的采用正在增長,并且客戶對該技術充滿信心。2019年第三季度ASML獲得了23份EUV訂單(并表示它將在2020年交付約35個系統),包括多個DRAM系統。所有這些訂單都是針對新的NXE:3400C系統的,該系統也將于第三季度開始發貨。

NXE:3400C更新

盡管EUV的延遲甚至比英特爾的10納米工藝還要長,但ASML強調了它在EUV吞吐量方面取得的進展,這是限制其經濟可行性的主要因素。五年來增長了17倍以上。最新的NXE:3400C每小時可生產170個晶圓。但是,基于暴露劑量和系統停機時間,商業部署的吞吐量可能會更低。

NXE:3400C的另一項改進是其模塊化容器,該容器提高了可維修性,從而顯著減少了平均維修時間(MTTR),從而提高了可用性指標,據AnandTech稱,這一指標已達到75%至85%。

吞吐量和可用性指標顯示EUV 在過去一年中在商業可行性方面的穩步進步。

NXE:3400C將在2023年推出EXE:5000系列,其數值孔徑(NA)為0.55(前者為0.33NA),與多重圖案化EUV相比,分辨率提高67%,有效晶圓產量提高更多0.33NA系統。

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