MEMS光開關(guān)簡(jiǎn)介
隨著光通信網(wǎng)絡(luò)的快速發(fā)展，傳統(tǒng)以電為核心的通信器件已經(jīng)不能滿足高速大容量的光通信需求，MEMS光開關(guān)由于其體積小，易集成，容量大等特點(diǎn)，已成為全光通信網(wǎng)中的重要器件之一。
MEMS光開關(guān)是基于微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical System）實(shí)現(xiàn)光路切換的器件。其功能如下圖所示：
其中MEMS是指將微型機(jī)械、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路等集于一體的可批量制作的微型器件或系統(tǒng)。MEMS光開關(guān)原理十分簡(jiǎn)單，當(dāng)進(jìn)行光交換時(shí)，通過(guò)靜電力或磁電力的驅(qū)動(dòng)，移動(dòng)或改變MEMS微鏡的角度，把輸入光切換到光開關(guān)的不同輸出端以實(shí)現(xiàn)光路的切換及通斷。其原理圖如下圖所示：
相較于傳統(tǒng)的機(jī)械光開關(guān)，MEMS光開關(guān)具有以下優(yōu)點(diǎn)：
1.體積小，交換容量大
2.MEMS芯片可以成批量生產(chǎn)，故單個(gè)成本不高
MEMS光開關(guān)在OXC, MCS，光纖線路保護(hù)及監(jiān)控，光纖傳感，設(shè)備復(fù)用保護(hù)等方面都有著重要的應(yīng)用。
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