據合肥高新集團報道，合肥微納傳感技術有限公司通過科研攻關，自主研發MEMS紅外溫度傳感器芯片。該芯片可以完成進口替代，是疫情防控利器額溫槍的核心部件。

基于多年傳感器芯片的研究基礎，微納傳感研發的MEMS紅外溫度傳感器芯片性能指標精度達到0.1℃，抗干擾能力優于目前市場主流產品，可以完成進口替代。芯片采用CMOS（互補金屬氧化物半導體）工藝制作，具有高探測率、高穩定性、極小溫漂系數，可廣泛應用于耳溫、額溫、安防、微波爐等非接觸測溫場合。

目前，經產能擴大，微納傳感的相關傳感器芯片制造、組封裝日產量從1萬顆將提升到日產10萬顆以上，芯片將直接供應至防疫醫療產品生產單位，能夠有效緩解市場緊張，助力疫情防控工作。

微納傳感自2015年創辦以來一直致力于MEMS氣體、空氣流量、溫度等傳感器芯片的研發與生產，擁有多項涉及MEMS關鍵技術的研究成果和發明專利。公司建有1000㎡凈化實驗室、200㎡表征實驗室，百級潔凈間（ISO Class 5）500㎡，引進國內外先進加工、制造、表征裝備，建成完備工藝生產線。2019年獲評工信部工業強基工程傳感器“一條龍”示范企業。
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