近日，由電科裝備所屬北京中電科公司牽頭承擔(dān)的國家02科技重大專項 “300mm超薄晶圓減薄拋光一體機研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化” 項目順利通過國家科技部的正式驗收。

目前，國產(chǎn)300mm超薄晶圓減薄拋光一體機正在國內(nèi)封裝龍頭企業(yè)實現(xiàn)工藝應(yīng)用，各方面性能達到國際同類設(shè)備水平，滿足先進封裝工藝需求，大幅降低了國內(nèi)封裝廠的采購成本。

在國家02科技重大專項的支持下，北京中電科公司歷經(jīng)α、β、γ機型三個階段，攻克超薄晶圓減薄的核心技術(shù)、壓力控制技術(shù)、亞微米清洗技術(shù)以及薄片傳輸?shù)汝P(guān)鍵技術(shù)，取得上百項國內(nèi)發(fā)明專利，三項國際發(fā)明專利，成功研發(fā)出國內(nèi)首臺具有自主知識產(chǎn)權(quán)并滿足大生產(chǎn)的300mm減薄拋光一體機，具備晶圓粗磨、精磨、非接觸測量、拋光、清洗、傳輸、保護膜處理等全自動流片能力。

中電科公司“300mm超薄晶圓減薄拋光一體機研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目順利通過驗收；航天工程公司國家級重點專項日投煤3500噸氣化爐的輻射廢鍋內(nèi)件出廠；中冶京誠“基于大數(shù)據(jù)的鋼鐵生產(chǎn)全流程質(zhì)量分析系統(tǒng)研究與應(yīng)用”科技成果通過評價。4月以來，北京經(jīng)開區(qū)企業(yè)科技創(chuàng)新好消息不斷，面向世界高技術(shù)前沿、面向國家戰(zhàn)略需求的“硬核”產(chǎn)品和技術(shù)取得積極進展，創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展不斷邁出新步伐。

日常生活中使用的超薄手機、電腦等電子設(shè)備的生產(chǎn)都離不開減薄拋光一體機，這款設(shè)備此前一直被國外公司壟斷。

在國家02科技重大專項的支持下，中電科公司對工藝需求進行項目攻關(guān)，突破關(guān)鍵技術(shù)、系統(tǒng)集成、工藝驗證與優(yōu)化，歷經(jīng)三個階段，攻克超薄晶圓減薄的核心技術(shù)、壓力控制技術(shù)、亞微米清洗技術(shù)以及薄片傳輸?shù)汝P(guān)鍵技術(shù)，取得上百項國內(nèi)發(fā)明專利、3項國際發(fā)明專利，成功研發(fā)出國內(nèi)首臺具有自主知識產(chǎn)權(quán)并滿足大生產(chǎn)的300mm減薄拋光一體機。目前，該型減薄拋光一體機正在國內(nèi)封裝龍頭企業(yè)實現(xiàn)工藝應(yīng)用，大幅降低了國內(nèi)封裝廠的采購成本。

4月16日，從路東區(qū)的航天長征化學(xué)工程股份有限公司傳來喜訊，其承擔(dān)的科技部國家級重點研發(fā)計劃“煤炭清潔高效利用和新型節(jié)能技術(shù)‘重點專項’大規(guī)模干煤粉氣流床氣化技術(shù)開發(fā)及示范”項目——日投煤3500噸氣化爐的輻射廢鍋內(nèi)件出廠。該爐型為目前世界最大級別的粉煤氣化爐。

據(jù)了解，日投煤量3500噸氣化爐是航天工程公司為大規(guī)模干煤粉氣流床氣化技術(shù)開發(fā)及示范項目設(shè)計研發(fā)的超大型粉煤氣化爐。該爐型具有產(chǎn)量更大、技術(shù)指標(biāo)更優(yōu)、一次性投資更省、運行成本更低、環(huán)保水平更高等優(yōu)勢，代表著現(xiàn)代煤化工最先進的煤氣化技術(shù)水平。

在中冶京誠，公司完成的“基于大數(shù)據(jù)的鋼鐵生產(chǎn)全流程質(zhì)量分析系統(tǒng)研究與應(yīng)用”日前通過中國金屬學(xué)會評價，一致認為該技術(shù)達到了國際先進水平。該成果針對目前鋼鐵企業(yè)在質(zhì)量管控和分析方面面臨的共性問題，利用大數(shù)據(jù)及人工智能技術(shù)，突破了傳統(tǒng)IT信息化系統(tǒng)框架結(jié)構(gòu)、技術(shù)方法、適用領(lǐng)域等局限性，研究成果已在濟源鋼鐵、中國一重、江陰興澄特鋼等多個不同類型的企業(yè)成功應(yīng)用。

深耕核心技術(shù)，打造“硬核”產(chǎn)品。相關(guān)負責(zé)人說，北京經(jīng)開區(qū)堅持圍繞關(guān)鍵核心技術(shù)突破，實施“白菜心”工程，發(fā)布關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)清單，重點推進國家集成電路創(chuàng)新中心、京津冀綜合創(chuàng)新中心建設(shè)，圍繞產(chǎn)業(yè)鏈部署創(chuàng)新鏈，構(gòu)建良好的創(chuàng)新生態(tài)，努力推動創(chuàng)新工作取得突破。

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