據中國國際招標網日前披露,長江存儲發布新一輪(第41批)國際招標公告,包括封裝級高并行度芯片分選機、高速芯片測試機等產品。
另外,由長江存儲實施的國家存儲器基地項目二期項目近日在武漢東湖高新區開工,規劃產能20萬片/月,達產后與一期項目合計月產能將達30萬片。
華創證券指出,長江存儲累計已采購1362臺工藝設備,正在招標430臺工藝設備,總采購1792臺工藝設備。近期還有200多臺設備采購計劃,主要包括CVD、刻蝕、量測、去膠設備等。此外,長江存儲二期項目的開工,也將給國產設備帶來市場機遇。
事實上,近年來,國產量測設備廠商已經陸續獲得長江存儲訂單,例如,僅2020年以來,已有中微半導體和精測電子分別中標長江存儲9臺刻蝕設備訂單和3臺集成式膜厚光學關鍵尺寸量測儀。而在此之前,上海睿勵,中科飛測等國產量測設備廠商也已經陸續獲得了長江存儲訂單。
半導體設備行業一直以來都是高技術壁壘的行業,需要長時間持續地投入研究,才能實現技術突破。國內半導體設備行業起步晚于歐美和日本,整體技術水平目前還遠落后于國際先進水平。不過令人欣慰的是,隨著國內半導體行業的快速發展,國家層面的高度重視,國內半導體設備在部分領域實現了突破。
各類制程設備的國產化率如下:
(1) 去膠設備:國產化率最高的是去膠設備,主要是屹唐半導體實現了去膠設備國產化;
(2) 清洗設備:國產化率約為20%左右,本土品牌主要是盛美半導體、北方華創;
(3) 刻蝕設備:國產化率約為20%左右,本土品牌包括中微半導體、北方華創、屹唐半導體;
(4) 熱處理設備:國產化率約為20%左右,本土品牌包括北方華創、屹唐半導體;
(5) PVD設備:國產化率約為10%左右,本土品牌包括北方華創;
(6) CMP設備:國產化率約為10%左右,本土品牌包括華海清科;
(7) CVD設備:有零的突破,但總體國產化率不高于5%,本體品牌是沈陽拓荊;
(8) 量測設備:國產化率2%左右,本土品牌包括上海睿勵、中科飛測、上海精測半導體;
(9) 離子注入機:國產化有零的突破,本土品牌包括中科信、凱世通等;
(10) 涂膠顯影設備:國產化有零的突破,本土品牌包括沈陽芯源;
(11) 光刻設備:預計國產化將有零的突破,本土品牌是上海微電子。
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