2020年MEMS傳感器市場將增長10％

根據(jù)市場研究公司Fact.MR的數(shù)據(jù)，全球MEMS傳感器市場價值280億美元，到2020年將增長10％，屆時年市場規(guī)模將超過300億美元。到2027年，全球MEMS傳感器市場將以9%的復(fù)合年增長率增長，達(dá)到500億美元。

Fact.MR指出，全球MEMS傳感器市場在本質(zhì)上是穩(wěn)固的，一些電子和半導(dǎo)體跨國公司（如意法半導(dǎo)體，博世、恩智浦和德州儀器）獲得了最大的份額。其中，意法半導(dǎo)體居MEMS傳感器領(lǐng)域的營收首位，其產(chǎn)品范圍廣，市場份額約為19％。

Fact.MR的排名與Yole Developpement在2018年的排名有顯著差異， Yole認(rèn)為，Broadcom和Bosch為市場領(lǐng)導(dǎo)者，意法半導(dǎo)體排名第三。緊隨其后的是德州儀器（TI），Qorvo和惠普（Hewlett Packard），還有恩智浦半導(dǎo)體和索尼等。Broadcom和Bosch的銷售額都是14億-15億美元（約人民幣95.2億-102億元），形成了“寡頭現(xiàn)象”，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過TOP3及后續(xù)企業(yè)。

按2018年收入排名的前30名MEMS制造商排名。資料來源：Yole Developpement.

但無論排名如何，可以明確的一點，在發(fā)展歷程中，MEMS傳感器主要由老牌廠商主導(dǎo)。

老牌廠商與MEMS的發(fā)展共命運

回顧MEMS的早期時代，即1980年代至90年代之間，MEMS完全是用于檢測諸如機械運動，壓力或沖擊之類的基本傳感器的傳感器。但當(dāng)時，MEMS傳感器并不是很準(zhǔn)確。

之后，進(jìn)入千禧年以來，MEMS中使用改進(jìn)的電子技術(shù)和材料使得傳感器足夠精確，足以測量事物，包括MEMS使用旋轉(zhuǎn)感應(yīng)和數(shù)字光處理技術(shù)（DLP）等。到2000年代中期，聲音和IR波長也被應(yīng)用到MEMS技術(shù)中。

簡而言之，MEMS從物理傳感器轉(zhuǎn)向光處理（例如微鏡），然后轉(zhuǎn)向紅外傳感（測微輻射熱計）。當(dāng)中，麥克風(fēng)的聲音也推動了MEMS的發(fā)展。

MEMS革命帶來了首個超越人類感官的傳感器。如今，MEMS和傳感器的發(fā)展有望超越人類的能力，其在超聲波，高光譜，射頻等方面已具有傳感能力。目前，移動和汽車是MEMS傳感器兩個最大的細(xì)分市場，復(fù)合年增長率可達(dá)13%。Yole也預(yù)測，2023年的移動細(xì)分市場將為傳感器和執(zhí)行器創(chuàng)造530億美元的價值，而汽車將達(dá)到205億美元。

MEMS產(chǎn)品種類繁多，應(yīng)用場景眾多，比如智能手機中就使用到很多MEMS器件，如加速度計、陀螺儀、電子羅盤、壓力傳感器、硅麥克風(fēng)、圖像傳感器、MEMS微鏡、BAW濾波器和雙工器、射頻開關(guān)、TCXO振蕩器/諧振器等。

因此，種類多、范圍廣、市場大的MEMS傳感器在市場力量的驅(qū)使下，MEMS供應(yīng)商中的贏家和輸家往往會發(fā)生變化。

2017年，與4G相關(guān)的復(fù)雜性（要求手機支持多個頻段）引發(fā)了RF濾波器的空前需求飆升，隨之而來的是對RF MEMS的需求。由于RF MEMS的銷售熱潮，博通（Broadcom）首次超過了MEMS行業(yè)中所有的競爭者，位居第一名。

近幾年，RF MEMS（BAW濾波器）是推動整個MEMS市場的最強大的引擎之一。Yole預(yù)測，不包括RF,MEMS市場將比2011-2023年增長9％，而使用RF MEMS的CAGR為17.5％，后續(xù)隨著4G轉(zhuǎn)向5G,這種趨勢將會增強。

而排名靠前的博世（Bosh）是最穩(wěn)定的MEMS廠商之一。博世通過覆蓋兩個相對大的MEMS市場領(lǐng)域（消費者和汽車市場）來對沖賭注，因此Bosh在確保穩(wěn)定增長方面“非常成功”。據(jù)悉， 幾乎所有的新車都要搭載Bosch的5個MEMS,全球約50%的智能手機都要至少搭載Bosch的1個MEMS。據(jù)預(yù)測，今后Bosch與Broadcom的“斗爭”將會愈演愈烈。

意法半導(dǎo)體（ST）同樣一直在汽車和工業(yè)MEMS市場上努力，因此其MEMS業(yè)務(wù)表現(xiàn)還可以。而且ST不僅提供車載、工業(yè)、民用等方面的MEMS產(chǎn)品，還一直是頂級的MEMS代工廠。

相較之下，排名第四的德州儀器（TI）則一直在苦苦掙扎，這2年來其銷售額在不斷減少。因為數(shù)字微鏡是其唯一的MEMS產(chǎn)品，且微鏡的市場趨于飽和，不過，現(xiàn)在TI正在推進(jìn)開拓車載等新的市場。業(yè)內(nèi)人士表示，TI的成功取決于激光雷達(dá)，如果TI微鏡能成功用于激光雷達(dá)，TI的MEMS業(yè)務(wù)將發(fā)生巨大變化。

而惠普雖然過去幾年在消費打印機市場的表現(xiàn)一直走下坡路，但2017年隨著噴墨頭品牌的收入實現(xiàn)增長，如今開始恢復(fù)元氣。

MEMS麥克風(fēng)巨頭樓氏（Knowles）以及中國的歌爾股份也發(fā)展喜人，消費產(chǎn)品業(yè)務(wù)走高是原因之一，不僅限于智能手機，還包括耳機等產(chǎn)品等。

初創(chuàng)公司推進(jìn)MEMS的未來

關(guān)于未來，任何領(lǐng)域都逃不過“后浪”推“前浪”的競爭規(guī)律，MEMS也不例外。

MEMS中最熱門的趨勢是傳感器融合。通過將多個傳感器集成到一個封裝中，MEMS可以捕獲“全球環(huán)境感知”。隨著傳感器蜂擁而至，用戶期望傳感器套件的軟件能夠結(jié)合傳感數(shù)據(jù)并產(chǎn)生一定程度的智能。

另外，按設(shè)備類別的傳感器收入來看，CMOS成像在2017年的銷售額高達(dá)134億美元，其次是射頻，雷達(dá)和指紋傳感器。但3D傳感器可能會是未來增長最快的傳感器，受益于激光雷達(dá)的高需求，預(yù)估2023年 3D傳感器的復(fù)合年增長率為40％。

在各類新型MEMS傳感器的需求下，專注于發(fā)明新型MEMS技術(shù)的初創(chuàng)公司將迎來機遇。

比如，熱門的MEMS初創(chuàng)公司USound公司以非常快的速度在2019年推出了MEMS微型揚聲器；此外壓電式麥克風(fēng)公司Vesper等創(chuàng)企也從包括亞馬遜在內(nèi)的投資者那里籌集了不少資金；隨著汽車行業(yè)對激光雷達(dá)連續(xù)性的渴望，諸如RoboSense和Innoviz之類的激光雷達(dá)公司也引起了很多關(guān)注；還有一家名為Mistic的法國創(chuàng)業(yè)公司，計劃為生物相容性醫(yī)療設(shè)備制造鈦MEMS.

以下是EE Times聯(lián)合Yole列出的17家值得關(guān)注的MEMS初創(chuàng)企業(yè)。盡管這些創(chuàng)企非詳盡無遺，但他們一定程度上概述了MEMS的發(fā)展方向。

1、Adasky

AdaSky于2015年在以色列成立，該公司開發(fā)了一種可提供高分辨率圖像的遠(yuǎn)紅外（FIR）傳感器，旨在使自動駕駛汽車在任何條件下都能看到并解讀所有物體和周圍環(huán)境。

AdaSky的高級熱像儀通過檢測物體輻射出的熱能及其體熱來被動收集FIR信號，從而引導(dǎo)車輛感應(yīng)并分析其周圍環(huán)境。該熱像儀體積小，重量輕，節(jié)能，沒有活動部件，其價格適合大眾市場。

AdaSky還提供圖像處理和計算機視覺算法。其對象檢測和場景分析提供了新的信息層，并能夠精確地檢測200米或更遠(yuǎn)距離處的行人的能力，從而允許更多距離來對駕駛決策做出反應(yīng)。

注意到FIR技術(shù)已經(jīng)在其他垂直行業(yè)中使用了數(shù)十年，AdaSky指出，它正在將這種成熟的技術(shù)專門用于自動駕駛汽車。Adasky指出，當(dāng)其他傳感器（包括激光雷達(dá)，雷達(dá)和標(biāo)準(zhǔn)相機）看不見時，其性能最佳。

2、AEye

AEye成立于2013年，致力于為自動駕駛汽車開發(fā)先進(jìn)的視覺硬件，軟件和算法。

與第一代激光雷達(dá)技術(shù)相比，AEye的" iDAR"優(yōu)化了數(shù)據(jù)收集。它使用與微光相機和嵌入式AI預(yù)先融合的數(shù)據(jù)。該公司聲稱，通過啟用智能優(yōu)先級排序和詢問功能，該激光雷達(dá)可以比僅使用激光雷達(dá)的產(chǎn)品有效地瞄準(zhǔn)和識別場景中的對象10到20倍。

AEye在2017年6月的A輪融資中從Kleiner Perkins Caufield＆Byers,空中客車創(chuàng)投，英特爾投資，Tyche Partners等公司籌集了1,635萬美元。

3、Block Engineering

Block Engineering以化學(xué)檢測和氣體分析技術(shù)的領(lǐng)先地位而聞名60年。盡管不是MEMS的新手，但該公司仍在開發(fā)一種筆式，電池供電的FTIR（傅里葉變換紅外光譜）傳感器，稱為" ChemPen"，該傳感器可檢測基本上任何氣體，液體或固體。

Block希望將自己獨特的MEMS芯片變成手持式設(shè)備內(nèi)部的“引擎”，以便其ChemPen傳感器可以分析傳統(tǒng)實驗室環(huán)境內(nèi)外的物質(zhì)。ChemPen傳感器旨在在現(xiàn)場條件下檢測和識別所有化學(xué)戰(zhàn)劑和有毒工業(yè)化學(xué)品。其目標(biāo)市場包括軍事，國土安全和生命安全。

4、Chirp Microsystems

Chirp Microsystems成立于2013年，提供單芯片超聲飛行時間（ToF）傳感器。用戶可以在不觸摸屏幕的情況下與可穿戴設(shè)備進(jìn)行交互，或者在不使用屏幕的情況下與設(shè)備進(jìn)行交互。Chirp認(rèn)為，利用其超聲波感應(yīng)技術(shù)，其3D技術(shù)可以替代現(xiàn)有的UI或為可穿戴設(shè)備，AR / VR,智能手機，物聯(lián)網(wǎng)甚至汽車提供“另一種形式”。

Chirp首席執(zhí)行官Michelle Kiang認(rèn)為在移動產(chǎn)品中使用時，其尺寸，成本，極低的功耗以及可在任何光照條件下（包括直射陽光）工作是一個巨大的優(yōu)勢。而 Chirp有潛力 將其片上聲納添加到 智能手機日益激烈的ToF戰(zhàn)斗中。

5、ELichens

ELichens是一家研發(fā)初創(chuàng)公司，于2014年在法國格勒諾布爾成立，致力于為本地空氣質(zhì)量提供服務(wù)和傳感解決方案。

該公司的傳感技術(shù)可以幫助客戶檢測，監(jiān)測，指導(dǎo)和預(yù)測室內(nèi)和室外應(yīng)用和服務(wù)的空氣質(zhì)量。

例如，為了監(jiān)測空氣質(zhì)量并檢測工業(yè)環(huán)境中有害氣體的存在，eLichens擁有低功率微型氣體傳感器以及連接多個氣體傳感器的連接站。

eLichens的超低功率二氧化碳傳感器（來源：eLinchens）

ELichen還開發(fā)了設(shè)計HVAC通風(fēng)系統(tǒng)所需的技術(shù)解決方案。

在通風(fēng)開發(fā)中，一個關(guān)鍵是要考慮一種系統(tǒng)，該系統(tǒng)不僅可以減少Co2的含量，而且不會降低Co2的濃度，以至于對用戶造成不好的影響，畢竟室內(nèi)空氣質(zhì)量是影響智力和整體健康的重要因素。為了測量室內(nèi)空氣質(zhì)量并將此信息提供給通風(fēng)系統(tǒng)，eLichens開發(fā)了傳感器來測量多種類型的室內(nèi)污染物：二氧化碳（CO2），揮發(fā)性有機化合物（VOC）和顆粒物（PM2.5和PM10）。

ELichens的技術(shù)可以類似地應(yīng)用于智能城市，燃?xì)庑孤┍O(jiān)測，智能家居和客艙汽車。

6、Innoluce BV

Inoluce是ToF LiDAR微型激光掃描模塊的開發(fā)商，于2016年10月被英飛凌收購。

它知名的產(chǎn)品是由硅制成的獲得專利的1D MEMS反射鏡。據(jù)說該技術(shù)可自由更改反射鏡直徑和頻率，同時保持光學(xué)性能。這使諧振式1D MEMS反射鏡技術(shù)能夠提供不同的功能和廣泛的應(yīng)用范圍。

Innoluce激光掃描模塊（可根據(jù)客戶特定配置進(jìn)行調(diào)整）包含帶有ASIC的MEMS反射鏡，用于控制和驅(qū)動MEMS.（來源：Innoluce）

7、Innoviz

Innoviz是一家由以色列國防軍技術(shù)部門前成員于2016年在以色列成立的初創(chuàng)公司。Innoviz專注于“以大眾市場采用所需的成本和尺寸”為自動駕駛汽車開發(fā)激光雷達(dá)傳感器，其產(chǎn)品基于固態(tài)設(shè)計。

該初創(chuàng)企業(yè)與眾多戰(zhàn)略合作伙伴和頂級投資者建立了聯(lián)系。他們包括Aptiv（德爾福汽車公司），Magna International,三星，韓國軟銀風(fēng)險投資公司，360 Capital Partners,Glory Ventures和Naver.

Innoviz的總資金已達(dá)到2億多美元。最新的融資消息是2019年，Innoviz獲得1.32億美元C輪融資。本輪融資確保了Innoviz的生產(chǎn)、制造和研發(fā)的順利推進(jìn)。2021年其固態(tài)激光雷達(dá)也將能夠按時交付。

8、MEMS Drive

MEMS Drive成立于2014年，是基于MEMS的執(zhí)行器設(shè)備的開發(fā)商。其目標(biāo)是設(shè)計用于移動設(shè)備的光學(xué)圖像穩(wěn)定（OIS）技術(shù)。

這家初創(chuàng)公司開發(fā)了用于智能手機中的首個5軸OIS（光學(xué)圖像穩(wěn)定）技術(shù)，通過移動傳感器，MEMS OIS可以針對攝像機的運動提供快速而準(zhǔn)確的圖像穩(wěn)定。

MEMS Drive的光學(xué)圖像穩(wěn)定技術(shù)使成像器可以移動，而無需移動鏡筒進(jìn)行調(diào)整。它的優(yōu)點是無論使用哪種鏡筒或成像器格式，圖像都將穩(wěn)定下來，并且沒有鏡筒傾斜會降低圖像質(zhì)量。（來源：MEMS驅(qū)動器）

9、Menlo Micro

Menlo Micro成立于2016年，是一家從通用電氣（General Electric,GE）獨立出來的公司，致力于為磁共振成像（MRI）和其它醫(yī)療設(shè)備開發(fā)可靠、安全的功率開關(guān)。

Menlo Micro的6通道單刀單擲（SPST）機械開關(guān)（來源：Menlo Micro）

Menlo Micro注意到傳統(tǒng)的機電開關(guān)技術(shù)幾乎沒有創(chuàng)新，因此開發(fā)獨特的材料，設(shè)計和加工技術(shù)，以構(gòu)建增強型電子開關(guān)，該開關(guān)可以應(yīng)對必須持續(xù)數(shù)十年的高溫和高應(yīng)力條件。

該公司稱其新開關(guān)“比典型的機械開關(guān)的運行速度快1000倍，可以處理數(shù)百瓦的功率，并且其結(jié)構(gòu)比人的頭發(fā)還小。” Menlo Micro計劃針對其新型數(shù)字微型交換機，針對包括5G網(wǎng)絡(luò)在內(nèi)的移動基礎(chǔ)設(shè)施和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)市場。

2019年，Menlo Micro發(fā)布了一款采用MEMS技術(shù)制造的新型功率繼電器。這款繼電器的FET與MEMS觸點并聯(lián)。FET可以消除觸點的電弧，因為元件內(nèi)部的控制電路會在觸點斷開后關(guān)閉FET.FET會在觸點閉合之前導(dǎo)通，因此導(dǎo)通時間僅為10μs,與傳統(tǒng)的MEMS開關(guān)相比速度大幅提高。

Menlo Micro由GE Ventures支持，并由Corning Incorporated,Microsemi Corporation和Paladin Capital Group投資。該公司在2016年宣布籌集了1870萬美元。

10、Mistic SAS

Mistic SAS是一家位于法國巴黎的初創(chuàng)公司，致力于為醫(yī)療設(shè)備市場和其他行業(yè)開發(fā)基于鈦的MEMS技術(shù)。

Mistic SAS成立于2016年，從2010年代初開始就利用由學(xué)術(shù)和行業(yè)合作伙伴財團(tuán)領(lǐng)導(dǎo)的研究活動的成果。

Mistic技術(shù)的核心是將半導(dǎo)體納米和微制造技術(shù)轉(zhuǎn)換為鈦基板（“晶圓”）。據(jù)Mistic稱，它能夠提供多功能的鈦基部件，公差低至1μm.

機械和電氣特征是通過使用各種材料的選擇性沉積和蝕刻工藝來實現(xiàn)的。

為了滿足最嚴(yán)格的生物相容性要求，使用專有的生物相容性高貴材料對組件進(jìn)行了微工程處理。它們包括鈦，氧化鈦，氮化鈦，金，鉑和氧化鋁，并可以與客戶指定的任何材料一起使用。

11、Proteus Digital Health

Proteus Digital Health成立于2001年，是可吸收傳感器的開發(fā)商。這些被稱為“數(shù)字藥物”的可攝取傳感器（一粒沙子的大小）旨在確保患者按處方服用藥物。

Digital Medicines內(nèi)部的傳感器跟蹤劑量和消耗量。數(shù)據(jù)進(jìn)入可穿戴的補丁，該補丁可檢測藥物并捕獲生理反應(yīng)。它被中繼到患者和醫(yī)生可讀的移動應(yīng)用程序。同時，Proteus表示，數(shù)據(jù)分析可以幫助衛(wèi)生系統(tǒng)經(jīng)理。數(shù)字藥物在美國已投入商業(yè)使用。

2017年，美國食品藥品監(jiān)督管理局（FDA）批準(zhǔn)大冢制藥（Otsuka Pharmaceutical）銷售其抗精神病藥物Abilify的一種版本，該產(chǎn)品中嵌入了可攝入的傳感器。

抗精神病藥Abilify裝有可攝入的傳感器，該傳感器與患者佩戴的貼片通信。（來源：Proteus）

到目前為止，該公司共籌集了4.223億美元。

12、RoboSense（速騰聚創(chuàng)）

RoboSense是一家自動駕駛激光雷達(dá)的開發(fā)商，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)的一群博士于2014年成立。

RoboSense已推出了其首款高清固態(tài)激光雷達(dá)。新型基于MEMS的激光雷達(dá)可以實時收集3D高精度環(huán)境信息。它用微鏡結(jié)構(gòu)代替了機械旋轉(zhuǎn)部件，簡化了激光雷達(dá)的激光組件，并使產(chǎn)品成本具有競爭力。RoboSense聲稱其高精度控制技術(shù)為其LiDAR提供了“出色的掃描性能，可以以更高的數(shù)據(jù)速率提供高精度和超高分辨率的云點。”

除了總部位于中國深圳的研發(fā)中心外，Robosense還在北京和硅谷設(shè)有研發(fā)中心。2016年6月29日，Robosense完成數(shù)千萬人民幣A+輪融資，投資方為復(fù)星昆仲、普禾資產(chǎn)、東方富海。2018年11月，RoboSense對外公布最新融資進(jìn)展，本次戰(zhàn)略融資金額超過3億，是迄今為止國內(nèi)激光雷達(dá)企業(yè)中單筆融資金額最大的一次。

13、Tikitin

Tikitin是一家MEMS Resonator公司，成立于2016年。該公司的重點是時序和頻率控制等應(yīng)用領(lǐng)域。

Tikitin聲稱是第一家推出與石英晶體引腳兼容的硅MEMS諧振器的公司。因此，該公司的諧振器可以由用于石英的相同電路驅(qū)動——“無需重新設(shè)計”。

Tikitin在Espoo生產(chǎn)MEMS諧振器，這是由VTT經(jīng)營的試點和研究晶圓廠。

14、USound GmbH

USound GmbH成立于2014年，致力于開發(fā)壓電MEMS技術(shù)，并提供MicroSound MEMS平臺，該平臺可制造具有集成感測功能的高性能硅揚聲器。

該平臺允許設(shè)計人員創(chuàng)建MEMS微型揚聲器，以設(shè)計用于智能手機和入耳式耳機。

USound提供了MEMS技術(shù)，可以開發(fā)“世界上最小的揚聲器”。（來源：USound）

2018年11月，USound獲得2000萬美元的融資，以支持其智能MEMS音頻產(chǎn)品在全球市場快速拓展。2019年5月，USound收到額外的權(quán)益性證券（Equity Tranche），將這輪融資額增加至3000萬美元。增加的資金有助于加速下一代MEMS微型揚聲器的開發(fā)，助力無線耳機和其它可穿戴設(shè)備的電池續(xù)航時間延長至12小時。

15、Vesper

Vesper（波士頓）成立于2009年，是MEMS麥克風(fēng)市場的后起之秀。它準(zhǔn)備利用小型，堅固，低功耗MEMS麥克風(fēng)芯片來利用語音計算的興起。

與提供電容式MEMS麥克風(fēng)的競爭對手不同，Vesper已選擇由密歇根大學(xué)的聯(lián)合創(chuàng)始人Bobby Littrell和Karl Grosh開發(fā)的壓電麥克風(fēng)。

這家初創(chuàng)公司將其壓電麥克風(fēng)描述為“以與所有其他MEMS和駐極體電容器式音頻設(shè)備完全不同的物理原理進(jìn)行操作”。壓電MEMS麥克風(fēng)直接將聲波能量轉(zhuǎn)換為電信號。Vesper稱其麥克風(fēng)除了具有更好的SNR之外，還特別適合智能手機，平板電腦，智能家居設(shè)備和其他連接產(chǎn)品中的大陣列應(yīng)用。Vesper的壓電設(shè)計使用了一個單一的隔膜，可以抵抗灰塵，水，助焊劑蒸氣和類似污染物的侵害。

Vesper最近的融資消息是，2018年5月，Vesper完成了 2300萬美元的B輪融資。本輪融資由American Family Ventures領(lǐng)投，亞馬遜Alexa基金、百度等跟投。這是亞馬遜Alexa基金對Vesper的第二輪投資。迄今為止，Vesper已經(jīng)籌集了4000萬美元。據(jù)報道，該公司將利用最新資金的一部分，將其制造能力從目前的每月“數(shù)百萬”單位提高到每月1200萬個單位。

16、芬蘭VTT

VTT是北歐一家領(lǐng)先的研究與技術(shù)公司。

最值得注意的是，VTT開發(fā)了高光譜成像技術(shù)，可在消費類設(shè)備中實現(xiàn)新的人工智能應(yīng)用。光譜過濾技術(shù)利用了非常近紅外（VNIR）的波長，VTT聲稱，即使是低成本的手機攝像機也可以檢測到。VTT說：“人工智能可以用來解釋圖像中的環(huán)境光譜數(shù)據(jù)，肉眼看不到。”

然后，圖像對象的光譜數(shù)據(jù)可以生成“與食品安全或新鮮度有關(guān)的信息，區(qū)分真假產(chǎn)品，藥品或安全攝像機記錄。”

VTT的新技術(shù)可測量人眼不可見的波長（來源：VTT）

VTT稱，新的VNIR系列（600 – 900 nm）高光譜相機傳感器硬件的材料清單可低至150美元。借助可大規(guī)模生產(chǎn)的MEMS技術(shù)，VTT的可調(diào)濾波器技術(shù)也可以與任何相機傳感器集成在一起，而不會顯著增加成本或尺寸。VTT估計，包括攝像頭光學(xué)元件在內(nèi)的傳感器成本不到20美元。核心組件微光機電（MOEMS）芯片的成本不到一美元。

17、Zebra Analytix

Zebra Analytix成立是為了開發(fā)和商業(yè)化基于MEMS技術(shù)的微型氣相色譜（GC）系統(tǒng)，該系統(tǒng)已獲得弗吉尼亞理工大學(xué)的獨家許可。正在申請專利的技術(shù)提供了能夠進(jìn)行多通道分離的微加工芯片。優(yōu)勢包括大大減小了儀器的尺寸，多功能性，便攜性和結(jié)果速度。

該公司聲稱，其微型氣相色譜系統(tǒng)可由非專家操作，以在幾秒鐘內(nèi)分析揮發(fā)性化合物。由于其在可穿戴和便攜式檢測中的潛在應(yīng)用，Zebra表示其氣相色譜系統(tǒng)正受到醫(yī)療保健，環(huán)境監(jiān)測，工業(yè)，石化和汽車應(yīng)用，樓宇自動化以及國土安全等領(lǐng)域的關(guān)注，尤其是在全球政府針對此類法規(guī)的推動下安全。