MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過40多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí)，微米量級(jí)的特征尺寸使它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器等，以及它們的集成產(chǎn)品。

5月22日-23日，由淄博市人民政府主辦、淄博高新區(qū)管委會(huì)承辦的第二屆中國(淄博)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇召開，淄博市委書記江敦濤，市委常委、副市長(zhǎng)宋振波，淄博高新區(qū)工委書記、管委會(huì)主任魏玉蛟，以及國內(nèi)MEMS領(lǐng)域頂尖技術(shù)專家、知名企業(yè)家、投資機(jī)構(gòu)負(fù)責(zé)人等150余人參加了論壇。大家集思廣益，共同探討MEMS發(fā)展務(wù)實(shí)高效新路徑，謀劃引領(lǐng)發(fā)展新項(xiàng)目，合力將淄博打造成為以MEMS傳感器為特色的電子信息產(chǎn)業(yè)高地。

中國工程院院士、清華大學(xué)副校長(zhǎng)尤政、中科院上海微系統(tǒng)所與信息技術(shù)研究所教授王躍林、清控資產(chǎn)管理集團(tuán)總裁薛嘉麟等6位權(quán)威專家，分別進(jìn)行了精彩演講，介紹最前沿的技術(shù)動(dòng)態(tài)，聚焦前沿的MEMS產(chǎn)業(yè)技術(shù)及產(chǎn)品應(yīng)用，分析和研判了當(dāng)前MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展形勢(shì)，探討和展望了MEMS領(lǐng)域技術(shù)突破和投資機(jī)遇。

市場(chǎng)廣闊。MEMS是繼微電子之后又一個(gè)顛覆性技術(shù)，也是被發(fā)達(dá)國家封鎖和壟斷的高新技術(shù)。MEMS技術(shù)屬于多學(xué)科交叉的前沿科技領(lǐng)域，具有功耗低、集成度高、耐用性好、附加值大的優(yōu)勢(shì)，在汽車、智能家電、國防軍工、消費(fèi)電子等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，是當(dāng)今時(shí)代萬物互聯(lián)的基石，是各個(gè)國家參與全球高科技競(jìng)爭(zhēng)的戰(zhàn)略制高點(diǎn)，背后蘊(yùn)藏著巨大商業(yè)價(jià)值和國家利益。

“當(dāng)前正處于MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的黃金時(shí)期，淄博已經(jīng)占了先機(jī)。”中國工程院院士、清華大學(xué)副校長(zhǎng)尤政說：“今后MEMS產(chǎn)業(yè)將在淄博未來發(fā)展中占據(jù)非常重要的位置，發(fā)揮更大的作用。”

慧眼識(shí)珠提前布局。MEMS產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略論壇、國內(nèi)最大的MEMS產(chǎn)業(yè)園花落淄博，這是淄博多年精心培育的結(jié)果——十年前，這項(xiàng)高端技術(shù)尚“養(yǎng)在深閨人未識(shí)”，距離產(chǎn)業(yè)化尚有較大距離，有集成電路產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)的淄博獨(dú)具慧眼，與尤政聯(lián)合成立了MEMS研究院。

魏玉蛟告訴記者，為破解高新技術(shù)企業(yè)融資難題，淄博高新區(qū)最先投入了1.6億元，為研究院搭建了具有國際先進(jìn)水平的6英寸硅基MEMS中試代工平臺(tái)，讓專家的成果有了“高端”檢驗(yàn)設(shè)備。

為加快科技成果轉(zhuǎn)換，淄博高新區(qū)高標(biāo)準(zhǔn)規(guī)劃建設(shè)以MEMS產(chǎn)業(yè)孵化器為核心的電子信息產(chǎn)業(yè)園。園區(qū)立足打造MEMS、集成電路、智能傳感器、儀器儀表等優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)鏈和產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)，聚集了新恒匯、齊芯微、臺(tái)灣強(qiáng)茂電子等45家企業(yè)入園發(fā)展，可為入園企業(yè)及高層次人才提供設(shè)計(jì)、研發(fā)、中試、孵化、產(chǎn)業(yè)化等功能為一體的科研產(chǎn)業(yè)化綜合服務(wù)；園區(qū)實(shí)行“園區(qū)管委會(huì)+運(yùn)營公司+產(chǎn)業(yè)基金+N服務(wù)”的創(chuàng)新管理體制，與清華同方、北航大學(xué)科技園等國內(nèi)知名機(jī)構(gòu)合作，共同建設(shè)了國家級(jí)電子信息科技企業(yè)孵化器、MEMS研究院、MEMS產(chǎn)業(yè)孵化器、北航天匯科技孵化器（淄博）科創(chuàng)中心和省級(jí)MEMS眾創(chuàng)空間等10個(gè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)平臺(tái)。

為讓MEMS產(chǎn)業(yè)園的企業(yè)迅速發(fā)展壯大，淄博高新區(qū)創(chuàng)新實(shí)施“專家委員會(huì)+研發(fā)平臺(tái)+專業(yè)公司+基金”的招商機(jī)制，集中招引具有重要引領(lǐng)帶動(dòng)作用的國內(nèi)外高層次人才和大項(xiàng)目、好項(xiàng)目。同時(shí)設(shè)立了8只基金，針對(duì)企業(yè)不同發(fā)展時(shí)期的不同需求，精準(zhǔn)服務(wù)，目前已投資8.3億元。

一個(gè)個(gè)平臺(tái)滿足了科研人員研發(fā)中試和小批量生產(chǎn)的需求，這在全國獨(dú)一無二。有了施展本領(lǐng)的舞臺(tái)，研究院很快吸引了包括4名院士在內(nèi)的43位國內(nèi)外MEMS領(lǐng)域“大拿”。

按捺不住創(chuàng)業(yè)激情的專家們干脆“披掛上陣”，通過個(gè)人出資、技術(shù)入股、動(dòng)員導(dǎo)師、同學(xué)、學(xué)生、朋友辦企業(yè)等多種形式，來到產(chǎn)業(yè)園，成立公司，專家們親自“操刀”，實(shí)現(xiàn)了從論文（理論）、到實(shí)驗(yàn)室再到市場(chǎng)的無縫銜接。

目前，MEMS產(chǎn)業(yè)園已經(jīng)累計(jì)開發(fā)MEMS芯片單項(xiàng)工藝180項(xiàng)，產(chǎn)品工藝30多項(xiàng)，自主研發(fā)項(xiàng)目25個(gè)，引進(jìn)高端產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目45個(gè)，為打造千億級(jí)電子信息產(chǎn)業(yè)園奠定了扎實(shí)基礎(chǔ)。

自2018年首屆論壇以來，淄博高新區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展呈現(xiàn)爆發(fā)式增長(zhǎng)，每年產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值增速均超30%，汽車MEMS陀螺、壓電陶瓷MEMS器件、濺射薄膜工藝(淄博)協(xié)同創(chuàng)新中心項(xiàng)目等高端產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目落地園區(qū)，形成了集MEMS芯片設(shè)計(jì)研發(fā)、工藝加工、封裝測(cè)試、產(chǎn)品應(yīng)用等為一體的綜合性研發(fā)產(chǎn)業(yè)基地，MEMS芯片產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為引領(lǐng)區(qū)域高質(zhì)量發(fā)展的“芯”動(dòng)能。

從產(chǎn)業(yè)園到產(chǎn)業(yè)鏈。“我每年都到淄博來，淄博的MEMS產(chǎn)業(yè)起步早、發(fā)展快。”研究員馬岸英表示，現(xiàn)在淄博已經(jīng)有了中試線和一定的加工能力，但要更大規(guī)模生產(chǎn)，還需要再添加更多生產(chǎn)線，提升產(chǎn)量，形成以MEMS為基礎(chǔ)的大的產(chǎn)業(yè)鏈條。馬岸英此次前來，除了參加論壇，還有一個(gè)更重要的任務(wù)，就是與MEMS產(chǎn)業(yè)研究院繼續(xù)進(jìn)行對(duì)接，進(jìn)一步協(xié)商研究成果落地的具體細(xì)節(jié)。

山東佰測(cè)傳感科技股份有限公司是首批進(jìn)駐淄博MEMS產(chǎn)業(yè)園的企業(yè)，總經(jīng)理丁立新告訴記者，選擇落戶淄博MEMS產(chǎn)業(yè)園，正是看中了研究院的科技優(yōu)勢(shì)，以及高新區(qū)雄厚的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和完善的產(chǎn)業(yè)鏈條。

2018年1月15日開始正式運(yùn)營的山東新恒匯電子科技有限公司，發(fā)展步伐既快又穩(wěn)，是淄博高新區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園的骨干企業(yè)。當(dāng)年投資2億元建設(shè)新型IC卡芯片封裝載帶生產(chǎn)及芯片封裝測(cè)試項(xiàng)目，新建了3000㎡的生產(chǎn)車間、5000㎡的倉庫，引進(jìn)國際最先進(jìn)的高精度表面處理機(jī)、全自動(dòng)對(duì)位平行光曝光機(jī)載帶生產(chǎn)設(shè)備和模塊封裝測(cè)試生產(chǎn)設(shè)備82臺(tái)(套)。當(dāng)年實(shí)現(xiàn)IC卡封裝框架產(chǎn)量15億顆，模塊6億顆，銷售收入3.15億元，帶動(dòng)就業(yè)200人，載帶與封裝業(yè)務(wù)占全球市場(chǎng)的20%。之后又新上了超大規(guī)模集成電路用金屬引線框架項(xiàng)目和eSIM封裝項(xiàng)目。今年，將投入2000萬元研發(fā)資金，并有意向并購有潛力的同行或者上下游企業(yè)。“有不斷研發(fā)的新技術(shù)和淄博全方位無微不至的優(yōu)質(zhì)服務(wù)做后盾，我們今年仍然將實(shí)現(xiàn)銷售收入和利稅分別增長(zhǎng)30%的目標(biāo)！”既是業(yè)內(nèi)專家又是商場(chǎng)精英的新恒匯董事長(zhǎng)任志軍信心滿滿。

魏玉蛟表示，淄博高新區(qū)將以此次論壇為契機(jī)，在平臺(tái)構(gòu)建、生態(tài)建設(shè)、產(chǎn)業(yè)元素打造、資本合作、資源整合等方面加大力度、加速推進(jìn)，深化與科研界、產(chǎn)業(yè)界、金融界的交流合作，推進(jìn)MEMS技術(shù)和產(chǎn)品在淄博的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，帶動(dòng)我國MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升。

江敦濤在論壇結(jié)束后會(huì)見參會(huì)嘉賓時(shí)說，淄博正在聚力聚焦“創(chuàng)新綠色、動(dòng)能轉(zhuǎn)換優(yōu)存量，著眼未來、引領(lǐng)高端擴(kuò)增量”，集中打造新材料、智能裝備、新醫(yī)藥、電子信息“四強(qiáng)”產(chǎn)業(yè)，一批新技術(shù)、新產(chǎn)業(yè)、新業(yè)態(tài)、新模式不斷涌現(xiàn)，老工業(yè)城市煥發(fā)勃勃生機(jī)，發(fā)展后勁越來越強(qiáng)勁。

“淄博市各級(jí)黨委、政府將竭盡全力呵護(hù)MEMS產(chǎn)業(yè)的成長(zhǎng)壯大，為創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)提供最優(yōu)的營商環(huán)境，努力打造MEMS傳感器為特色的電子信息產(chǎn)業(yè)新高地。”江敦濤說，去年淄博出臺(tái)了“人才金政37條”，今年又把對(duì)標(biāo)學(xué)習(xí)深圳優(yōu)化營商環(huán)境攻堅(jiān)作為“一號(hào)改革工程”，歡迎企業(yè)家把更多的新項(xiàng)目、新技術(shù)、新產(chǎn)品放在淄博，“我們將全力為電子信息企業(yè)在淄發(fā)展創(chuàng)造更好條件、提供更優(yōu)生態(tài)。”