昆山雙橋傳感器測控技術有限公司

昆山雙橋傳感器測控技術有限公司是中科院昆山高科技產業園、國家火炬計劃昆山傳感器產業基地核心骨干企業。公司以MEMS壓阻壓力傳感器為主導產品，兼及其它相關傳感器、變送器，自控儀表及系統的開發、生產與銷售。

雙橋公司是國內最早開發MEMS技術壓力傳感器研究的幾個單位之一，是國內較少的幾個堅持從MEMS力敏芯片的設計、制造做起，因而具有自主知識產權，確立了以高、特、難、新MEMS壓力傳感器為企業主發展方向。

高頻動態壓力傳感器

在軍事工程、化爆試驗、石油勘采與試井、材料、力學、土木工程學、巖土力學、創傷醫學、液壓動力機械試驗等科學試驗與現代化儀器儀表中，需要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態壓力波形與幅值、有效值，這就要求所用壓力傳感器具有高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優良的響應頻帶，以保證足夠的動態測壓精度，本系列產品即是為此設計開發的，它利用微機械加工技術使得集成硅膜片有效尺寸小，固有頻率高;有優良的彈性力學特性，全齊平封裝無管腔封裝，綜合性能優于壓電動態壓力傳感器，成為動壓測試中壓電壓力傳感器的換代產品。其獨有的芯片防光抗干擾設計，可適用與近場爆轟測量，美國軍標和我國軍標在爆轟動態測量標準中都推薦首選壓阻式壓力傳感器。

1、CYG401齊平封裝高頻壓力傳感器

1、特點及用途：

無管腔全齊平結構，優越的靜態性能及動態響應能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，帶防光干擾，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產品能用于各種爆炸沖擊波測量及動態壓力測量。

2、壓力量程：

0～1Mpa～100Mpa內可任選量程

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/3固有頻率）

量程 MPa	1	2	4	6	10	20	40	60	100
固有頻率 kHz	180	240	320	250	320	450	600	800	1000
上升時間μm	1	1	0.5	0.5	0.5	0.3	0.3	0.2	0.2

4、非 線 性：

±0.2％～±1％

5、精度等級：

檔級指標	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數 X10-4FS/℃	靈敏度溫度系數 X10-4FS/℃	非線性 ±％FS	不重復性、遲滯 %FS
JA	0.1	3	3	0.5(1.0*)	0.3
JB	0.1	2	2	0.2(0.5*)	0.1
MA	0.5	5	5	0.5(1.0*)	0.3
MB	0.15	3	3	0.2(0.5*)	0.2

注：*為40Mpa以上量程參數

6、測量介質溫度：

J級0℃～450℃；M級10℃～300℃（特殊措施下可耐2000℃/200ms或1000℃/1000ms）

7、補償溫度范圍：

J級30℃～100℃；M級30℃～80℃。（亦可按用戶要求特訂）

8、抗光干擾特性：

J級加強抗紅外及可見光；M級抗自然可見光。

9、 安裝接口：

M20×1.5，螺紋深12mm

10、出線方式：

航插、霍斯曼、直出線三種可選（建議直出線式或航插式）

11、供電方式：

恒壓源或恒流源

12、輸出方式：

差分毫伏信號

13、測量介質：

與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導電性介質（如有特殊測量介質需提前告知）

14、殼體材料：

不銹鋼

15、冷卻水壓力：

不小于300kpa，嚴禁工作期間停壓或掉管；不大于700kpa，防止爆管

2、CYG406準齊平動態微壓傳感器

1、特點及用途：

微管腔準齊平結構，優越的靜態性能及動態響應能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，可下延至微壓量程段，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產品用于動態要求較高的微小量程動態壓力測量，如小劑量爆轟或動態工況下的結構表面壓力場測試分析。

2、壓力量程：

0～1kpa～600kpa

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/5固有頻率）

量程 MPa	1	4	10	25	100	250	600
固有頻率 kHz	>5	>5	>20	>100	>150	>300	>300
上升時間μm	5	5	2	1	1	0.5	0.5

4、非 線 性：

±0.2％～±0.5％

5、精度等級：

檔級指標	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數 X10-4FS/℃	靈敏度溫度系數 X10-4FS/℃	非線性 ±％FS	不重復性、遲滯 %FS
JA	0.15	3	3	0.5	0.2
JB	0.1	2	2	0.2	0.1
MA	0.3	5	5	0.5	0.3
MB	0.2	3	3	0.2	0.2

6、測量介質溫度：

-50℃～120℃

7、補償溫度范圍：

J級-20℃～80℃ M級0℃～50℃，亦可按用戶要求特訂。

8、抗光干擾特性：

抗自然可見光

9、 供電方式：

①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

10、輸出方式：

①差分毫伏信號，標稱值100mV±30%（100kpa以上）；50mV±40%（100kpa以下）

②配有放大器標準值，0～5V

11、測量介質：

與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導電性介質（如有特殊測量介質需提前告知）

3、CYG410低壓自由場高頻動態壓力傳感器

1、特點及用途：

流線型無反射外型，無管腔全齊平結構，優越的靜態性能及動態響應能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，帶防火護線管，最小量程可下沿至50kpa，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產品用于各種小壓力爆炸沖擊波自由場壓力測量。

2、壓力量程：

0～50kpa～500kpa

3、固有頻率及上升時間（用帶寬：0～1/3固有頻率）

量程kpa	50	100	200	340	500
固有頻率kHz	80	100	120	150	180
上升時間μs	2	2	1	1	1

4、非 線 性：

±0.2％～±0.5％

5、精度等級：

指標/檔級	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數 ×10-4FS/℃	靈敏度溫度系數 ×10-4FS/℃	非線性 ±％FS	不重復性、遲滯 %FS
JA	0.2	5	5	0.5	0.2
JB	0.15	3	3	0.2	0.1

6、測量介質溫度：

-50℃～120℃（特殊措施下可耐2000℃/20ms）

7、補償溫度范圍：

0℃～50℃。（亦可按用戶要求特訂）

8、抗光干擾特性：

抗自然可見光

9、 直徑：

Φ34mm，Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協商)

10、供電方式：

①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

11、輸出方式：

①差分毫伏信號，輸出靈敏度2～4mV/V（200kpa以下） 5～10mV/V（400kpa以上） ②配有放大器，標準值0～5V

12、測量介質：

與硅﹑不銹鋼或合金鋁兼容的無腐蝕介質（如有特殊測量介質需提前告知）

4、CYG412高壓自由場高頻動態壓力傳感器

1、特點及用途：

流線型無反射外型，無管腔全齊平結構，優越的靜態性能及動態響應能力，低噪聲，高分辨率，高信噪比，帶防光干擾，帶防火護線管，可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產品能用于各種高壓爆炸沖擊波自由場壓力測量。

2、壓力量程：

0～20Mpa～100Mpa

3、固有頻率及上升時間（可用帶寬：0～1/3固有頻率）

量程kpa	20	40	60	100
固有頻率kHz	450	600	800	1000
上升時間μs	0.3	0.3	0.2	0.2

4、非 線 性：

±0.5％～±1.0％

5、精度等級：

指標/檔級	零點時漂 mv/8h	零位溫度系數 ×10-4FS/℃	靈敏度溫度系數 ×10-4FS/℃	非線性 ±％FS	不重復性、遲滯 %FS
JA	0.1	3	3	1.0	0.3
JB	0.1	2	2	0.5	0.2

6、測量介質溫度：

－50℃～120℃（特殊措施下可耐2000℃/20ms）

7、補償溫度范圍：

J級-10℃～60℃（亦可按用戶要求特訂）

8、抗光干擾特性：

J級加強抗紅外及可見光

9、 直 徑：

Φ34mm，Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協商)

10、供電方式：

①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

11、輸出方式：

①差分毫伏信號，標稱值100mV±30% ②配有放大器，標準值0～5V

12、測量介質：

與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕介質（如有特殊測量介質需提前告知）

責任編輯：xj

原文標題：昆山雙橋高頻動態壓力傳感器

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