中國廠商購買光刻機是否需要出口許可證？AMSL回應(yīng)
對于我國的芯片行業(yè)而言，更為先進的光刻機的確是個很大逾越的障礙，而全球的設(shè)備也都來自ASML。
ASML CFO Roger Dassen在財報會議的視頻采訪中談到了與中芯國際等中國客戶的業(yè)務(wù)情況，其表示一些情況下，出口光刻機是不需要許可證的。
Roger Dassen指出，ASML了解美國當局目前的規(guī)章制度及其解釋，當然也知道這些與特定的中國客戶密切相關(guān)，但如果廣泛的來理解其規(guī)章制度對ASML的總體含義（對于特定的中國客戶），則意味著ASML將能夠從荷蘭向這些中國客戶提供DUV光刻系統(tǒng)，且無需出口許可證。
不過，如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統(tǒng)，ASML則需要為此申請出口許可證。
在這之前ASML還公布了光刻機產(chǎn)品的最新進展，3600D是其目前研發(fā)中的最先進光刻機系統(tǒng)，于2021年中旬出貨交付，其30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓，提高了18%的生產(chǎn)率，并改進機器匹配套準精度至1.1nm。
責編AJX
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