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ASML公布新一代EUV光刻機

工程師 ? 來源:快科技 ? 作者:快科技 ? 2020-10-16 14:27 ? 次閱讀

荷蘭ASML(阿斯麥)公布了截止9月30日的三季度財報數據。

當季銷售收入為40億歐元,凈利潤高達11億歐元(約合87億元人民幣)。2020年前三季度,ASML總共實現凈銷售額97.24億歐元,較去年同期77.83億歐元提高近25%;凈利潤22.03億歐元同樣大幅提升51%

ASML預估四季度的收入在36到38億歐元,毛利率50%左右,2020全年的營收應該至少能達到133億歐元。

據悉,當季ASML共獲得60臺光刻機的銷售收入,總額31億歐元,其中EUV光刻機14臺,但收入占比達到了66%。

地區方面,中國臺灣貢獻了光刻機收入的47%,看來臺積電支付了一大筆EUV機器的貨款。韓國廠商貢獻了26%,中國大陸企業貢獻了21%。

另外,當季ASML還接到了累計29億歐元的新訂單,并出貨了10臺EUV光刻機,型號以3400B為主。

展望2021年,ASML表示謹慎樂觀,并給出較低兩位數的預期收入增長判斷。

同時,ASML還公布了光刻機產品最新進展。

其中TWINSCAN NXE:3600D作為其目前研發中的最先進光刻機系統,終于敲定最終規格

具體來說,30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓,提高了18%的生產率,并改進機器匹配套準精度至1.1nm。

3600D定于2021年中旬出貨交付,客戶還需要一定時間等待,價格應該不會低于現款老型號的1.2億美元。

目前,ASML已經投產的最先進光刻機是3400C,但主力出貨型號是3400B。參數方面,3400B的套刻精度為2nm、曝光速度20mJ/cm2,每小時可曝光125片晶圓。

另外,ASML透露,3400B在三季度也完成了軟件升級。全新的DUV光刻機TWINSCAN NXT:2050i已經在三季度結束驗證,四季度早期開始正式出貨。

據悉,在截止9月30日的單季度,ASML共獲得60臺光刻機收入,出貨了10臺EUV光刻機。

ASML CFO Roger Dassen在財報會議的視頻采訪中還談到了與中芯國際等中國客戶的業務情況。

Roger Dassen指出,在中國業務方面,去年中國本土客戶為ASML創造了約8億歐元的銷售額,今年將會更多,預計超過10億歐元。

關于美國有可能對中芯國際采取限制措施,Roger Dassen表示,ASML今年客戶以邏輯工藝領域為主,中芯國際則是ASML的主要邏輯工藝領域客戶。

“我們不會對特定的客戶情況進行推測或評論,但總的來說,我們會在法律和法規要求的范圍內盡最大的能力繼續為客戶提供服務。”Roger Dassen如是說。

Roger Dassen進一步指出,ASML了解美國當局目前的規章制度及其解釋,當然也知道這些與特定的中國客戶密切相關,但如果廣泛的來理解其規章制度對ASML的總體含義(對于特定的中國客戶),則意味著ASML將能夠從荷蘭向這些中國客戶提供DUV光刻系統,且無需出口許可證。

不過,如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統,ASML則需要為此申請出口許可證。

責任編輯:haq

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