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詳解:P73.Z200系列Z向200微米行程壓電物鏡定位器

工程師鄧生 ? 來源:OFweek維科網 ? 作者:芯明天壓電納米運 ? 2020-11-02 11:55 ? 次閱讀

P73系列壓電物鏡定位器為大行程壓電物鏡定位器,Z軸直線運動范圍可選200μm、500μm及1mm。P73.Z200是P73系列中200微米行程的版本,它采用柔性鉸鏈設計機構,無摩擦、運動直線性好,且閉環版本定位精度高。分離式螺紋適配器設計,可適配多種型號的顯微鏡,廣泛應用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領域。

特點

行程200μm

承載能力0.2kg

毫秒級響應時間

閉環重復定位精度高

聚焦穩定性好

典型應用

三維成像

干涉/計量

生物科技

表面結構分析

共焦顯微

半導體測試

開/閉環控制電壓與位移曲線

注:施加至壓電物鏡定位器的電壓約為控制輸入電壓的12倍。

螺紋適配器便于安裝

P73.Z200系列壓電物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接,將物鏡快速鎖定在預期位置。多種螺紋牙可選,如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36" 等,也可定制,便于與顯微鏡集成安裝。可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。它也可以通過適配器與手動調節臺相結合使用。

技術參數

型號:P73.Z200S

運動自由度:Z

標稱行程范圍:160μm@120V

行程范圍:200μm@150V

傳感器類型:SGS

閉/開環分辨率:11/5nm

閉環線性度:0.1%F.S.

閉環重復定位精度:0.05%F.S.

推/拉力:80/10N

運動方向剛度:0.25N/μm

空載諧振頻率:210 Hz

閉/開環空載階躍時間:20/10ms

閉環空載工作頻率:40Hz@10%行程

閉環空載工作頻率:10Hz@100%行程

承載能力:0.2 kg

電容量:7.2μF

材質:鋼、鋁

重量:360g

注:以上參數是采用E00/E01系列壓電控制器測得。最大驅動電壓可在-20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓在0~120V。

責任編輯:PSY

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