2020年，如果排除掉與防疫物資掛鉤的產業外，還能用逆勢上揚來描述的話，半導體市場必須榜上有名。即使在國內疫情最為嚴重的一季度，中國仍然是全球半導體市場銷售額增幅最大的國家。 在美國全面挑釁的背景下，發展半導體產業更是舉國共識。 事實上，由于半導體市場重資產、成本敏感度較低、海量市場空間、國家政策支持等行業特性，吸引著越來越多的智能制造裝備廠商“躬身入局”，移動機器人也不例外。 2020年8月22日，新松機器人宣布擬募資18.03億元主要用于建設半導體領域半導體設備及自動化項目，用于IC真空機械手及集束型設備項目、半導體自動物料搬運系統項目、半導體物料管理控制系統項目等。 從半導體產業來看，其單機自動化早已不是問題，整體工廠的智能化、信息化才是客戶目前的主要訴求。不管是前期的晶圓制造、中期的封裝集成、還是后期的組裝包裝、運輸等，每一個環節都涉及了諸多復雜的工序，僅是打通制程中不同站點間的搬運工序，就能有效把設備稼動率提升，為客戶實現降本增效，同時大大降低人為錯誤發生的概率。 移動機器人進軍半導體市場既是大勢所趨也是挑戰。

真需求

首先從基礎需求來看，半導體生產車間潔凈等級高、布局復雜、空間狹小、設備種類繁多、大規模生產車間中設備集群式分布，生產過程離散，工藝流程復雜，訂單需求柔性，無法形成簡單有效的流水線式生產。

以上這些都是導致芯片生產過程中存在物料的多種類多形態、高頻次高柔性的周轉需求。

其次從智能工廠建設的角度來看，其前提是自動化與信息化的完美融合。 在過去，半導體行業的物流自動化作用在于保證工藝設備有事可做，維持足夠的半成品（WIP）流向下一道工序并且使WIP順利地傳送到下一區域，通常采用人工傳送和存儲WIP的運作模式。 目前，人工WIP處理已經被AGV自動化物流系統取代，包括所有工藝設備之間的傳送、存儲和分發。AGV中控系統可以滿足MES下一道工藝對加工物料的需求。此外，可以通過AGV控制軟件對物料存儲、管理和傳送線路進行優化。 在打通信息化方面，優艾智合市場總監關健表示，在廠內物流范圍內，只要存在一個斷點，就不能算實現了完整廠內物流的自動化與信息化。如果在整個搬運過程中實現了機械化、自動化，打破孤島式的作業產線，補充所有廠內物流數據，這對于企業徹底打通物質流、信息流是大有裨益的。 只有實現了充分的信息化，才能將整個工廠鏈接成一張完整的智造“大網”，基于信息自動化，可以大大提高設備管理水平、進行工藝數據收集和統計工藝控制、保證物流控制更加順利，同時提高物料送達的準確率，從而減少操作和返工現象。 不僅如此，信息自動化還可以改善WIP 的直觀監控，實時調度AGV和人員，提高生產效率。 導入移動機器人是半導體行業提高工廠自動化與信息化的關鍵舉措。

高門檻

而對于AGV廠商而言，半導體市場蛋糕雖大，卻不那么容易能吃到。 仙工智能聯合創始人兼產品總監葉楊笙表示，半導體行業安全性要求非常高，仙工智能推出安全型控制器，就是為了做通做透半導體市場。實際上半導體由于嚴苛的生產要求因此對上游設備廠商設置了一定的“準入門檻”。 首先是移動機器人運行平穩性的要求，由于要搬運晶圓等精密元件，機器人要防震、防抖動；其次是安全性要求，這是半導體封測廠對導入AGV一個非常大的考量點，工廠內昂貴的半導體設備經不起任何碰撞；第三則是設備的潔凈度要求，為達到客戶的潔凈度要求，仙工智能在整車整機材料使用上擯棄了橡膠、軸承采用不銹鋼、同時做了完整的防塵保護設計。 至于設備的高可靠性毫無疑問是客戶運用的首要前提，而ROI對于單臺設備以億為計算單位的半導體行業客戶來說，這都是小問題。 深耕半導體市場的優艾智合已針對半導體上下游中的晶圓生產車間、封測車間、PCBA車間、組裝車間和自動化倉庫打造了機器人物流整體解決方案。

在具體應用中，優艾智合移動上下料機器人通過復合機器人實現半導體封測生產過程中彈夾在各個工序設備（Die bond、Wire bond）之間的轉運。機器人可進行單個彈夾在各個機臺上的上下料操作，同時可以實現整體托盤在烤箱、料架與機臺之間的轉運。 迦智科技則針對半導體行業客戶需求，設計了一款能符合實際生產需求的可升降的側向伸縮式插取式載具，以實現AGV與相關生產設備的高精高效無縫對接，順暢地完成生產線上的原材料、輔料、配料及半成品、成品運輸。基于激光SLAM無軌導航技術，迦智科技AGV在行駛過程中定位精度可達±1mm/1o，動態擾動下的對接精度可達±2mm/0.2o。 在某半導體封測上市公司應用案例中，斯坦德機器人使用Oasis3000UL+定制智能料架AMR，由FMS融合工廠的MES和WMS系統，產線缺料后，人工在倉儲備料后放到AMR上后，通過掃描AMR料架上的儲位碼將物料和儲位綁定。整個解決方案下來，斯坦德機器人為客戶替代了物料配送人員8人，物料配送準確率提升到100%；通過中控系統實時管理物料位置與情況。 隨著中國半導體市場的日益發展，其對物流自動化、信息化的需求將j加速釋放，這時只有跨過“準入門檻”的移動機器人廠商才能成為市場的“寵兒”。

原文標題：【越疆科技 | 觀察】移動機器人進擊半導體市場

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