超聲波電機即超聲電機,也稱微型電機,是一種新型的驅動裝置,具有體積小、大力矩、高響應、抗干擾、低噪音、耐高低溫等優勢。超聲波電機是廣泛應用于醫療器械、云臺、精密機械、光學領域、自動化控制部件等各個領域不可缺少的基礎產品。
超聲波電機產品種類繁多、應用面廣、要求多樣,其需求量快速增加的同時對微電機的品質要求也在不斷提高。隨著設計水平、制造水平的不斷提高以及新材料、新結構、新原理的運用,微電機技術發展迅速。為了提高市場競爭能力,不斷降低成本,滿足各個領域的需要,微型電機行業正在加速朝著高效性、專業化、規模化、智能化生產方向發展。
微型電機具有以下特點:
給超聲波電機輸入驅動電壓后,壓電材料產生壓電現象,同時發生的縱向延伸和橫向彎曲模式的激勵在陶瓷指尖的狹小的橢圓通道里產生二維聲波,從而產生驅動力進行直線或旋轉運動。但沒有驅動電壓的時候能夠維持一個保持力矩,不產生位移和滯后。
超聲波電機定位精確,分辨率可達1μm,精度10nm,運動速度平穩,低10μm/s,高250mm/s,標準應答時間為50~75μs,整定時間明顯優于一般伺服電動機,以0.1μm的分辨率為例,只需1~2ms,為一般伺服電動機的1/10,定位后沒有一般伺服電動機存在的晃動問題,而且超聲波電機具有重量輕,體積小,行程無限制等特點。
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