據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)導(dǎo)廠商思達(dá)科技，近日宣布推出晶圓級(jí)光學(xué)器件測(cè)試解決方案——思達(dá)阿波羅Apollo WLBI。這款新系統(tǒng)是通過(guò)包括傳統(tǒng)的電子量測(cè)，加上光學(xué)監(jiān)控的高度平行量測(cè)能力和替換測(cè)試時(shí)間，滿足5G光學(xué)器件的晶圓級(jí)老化測(cè)試需求。

思達(dá)阿波羅Apollo WLBI 全方位測(cè)試解決方案

思達(dá)阿波羅Apollo WLBI是先進(jìn)集成的全方位測(cè)試解決方案，整套設(shè)備包含訂制的模塊化Apollo WLBI Per-pin SMU測(cè)試系統(tǒng)、Magic A200e探針臺(tái)和垂直探針卡。Apollo WLBI可以從測(cè)試通道數(shù)量、電壓、電流位準(zhǔn)、靜態(tài)或動(dòng)態(tài)設(shè)定等等進(jìn)行配置。由于每個(gè)Per-pin SMU有超過(guò)6000個(gè)通道，電壓和電流范圍不同，此系統(tǒng)可對(duì)每個(gè)通道進(jìn)行尋源和監(jiān)控，以確定被測(cè)器件隨時(shí)間推移是通過(guò)或是失敗。

思達(dá)阿波羅Apollo WLBI Per-pin SMUs測(cè)試系統(tǒng)

同時(shí)，探針臺(tái)設(shè)計(jì)了熱夾頭，在平行器件老化循環(huán)可以具有高功率和800W的散熱能力，使得器件在老化過(guò)程中，能夠保持在工作溫度的條件。探針臺(tái)還包括了一個(gè)高溫和機(jī)械穩(wěn)定性的探針卡轉(zhuǎn)接器（＞6000 pins），專利的真空密封界面，用在和測(cè)針卡進(jìn)行恒定的電子和光學(xué)接觸。高負(fù)載Z軸移臺(tái)可在夾頭上施加超過(guò)400公斤的探測(cè)力，且平面性變化小于10um，進(jìn)而確保老化循環(huán)中良好的探測(cè)接觸。

高針數(shù)探針卡界面

800W高耗散熱夾頭

思達(dá)科技執(zhí)行長(zhǎng)劉俊良博士說(shuō)，”思達(dá)阿波羅Apollo WLBI是先進(jìn)的集成測(cè)試解決方案，支持行業(yè)客戶在5G光學(xué)器件的測(cè)試需求。用戶也可以通過(guò)射手座Sagittarius系列的測(cè)試平臺(tái)，以較低的成本來(lái)管理整個(gè)測(cè)試程序。”

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