目前,EUV光刻機的部署安裝主要在臺積電、三星的晶圓代工廠。不過,內存廠商們也開始著手上馬了。
此前,SK海力士規劃的是為年底建成的M16工廠配備,但來自德國CB的消息稱,M14老廠也會引進。
EUV光刻機參與的將是SK海力士的第四代(1a nm)內存,在內存業內,目前的代際劃分是1x、1y、1z和1a。
EUV光刻機的參與可以減少多重曝光工藝,提供工藝精度,從而可以減少生產時間、降低成本,并提高性能。
當然,EUV光刻機實在是香餑餑。唯一的制造商ASML(荷蘭阿斯麥)產能極有限,盡管一臺要10億元左右,可仍舊供不應求。這一回新老工廠其上位,不知道SK海力士從ASML那里敲定了多少臺。
另外,本次報道稱,三星2021年將投產EUV工藝生產的內存,也就是早些時候發布的16Gb容量LPDDR5。
責任編輯:pj
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