新模式解決大難題——“廢硫酸定向資源化再利用”給出廢酸 處置新方案
隨著產業規模的逐步擴大,集成電路制造企業在運營過程中產生的大量廢硫酸處置問題,正成為影響上海持續發展集成電路產業的一大難題。
為積極應對廢硫酸處置問題,主動服務企業的優質高速發展,上海市集成電路行業協會跨前一步,在市經信委、市生態環境局等相關部門的支持下,未雨綢繆,積極探索,多次召開專家研討會論證處置方案,最終形成了解決廢硫酸處置難題的新模式
——廢硫酸定向資源化再利用。
該模式的核心是實現集成電路制造過程中產生的廢硫酸替代鈦白粉生產工藝過程中用到的工業硫酸。在新模式的探索過程中,我們經過試點工作,驗證了廢酸再利用單位在利用廢硫酸生產鈦白粉時,不需要調整現有工藝,并證明了廢硫酸回用技術具有很強的技術可行性,同時,替用過程不增加額外的環境負擔與風險,不影響產品的質量,符合“固體廢物減量化、資源化和無害化”原則。試點工作也彰顯了“廢硫酸定向資源化再利用”這一新模式具有很好的環境效益、經濟效益和社會效益,符合循環經濟產業需求,不僅解決了廢硫酸處置出路難、處置費用高的難題,降低了企業生產成本和廢硫酸處理費用,還有力促進了鈦白粉生產單位的升級改造、精準轉型和綠色發展,為日后集成電路產業的蓬勃發展鋪平了道路。
為了積極推行“廢硫酸定向資源化再利用”這一新模式,上海市集成電路行業協會編寫了《鈦白粉用集成電路制造行業廢硫酸》(T/SICA001-2020)團體標準,并在上海市質量技術監督部門網站進行了備案和國家標準網上公示,該標準的制定有力地保證了廢酸源頭質量的把控。
2019 年 11 月,上海市生態環境局同意本市四家企業廢硫酸定向資源化再利用備案。目前各方進展順利,各試點企業在嚴格執行危廢各項管理制度下,廢硫酸源頭品質得到保證,并委托具有相關運輸資質的單位專人專車進行運輸。接受單位在廢酸使用期間,生產運行穩定,各項污染物排放環保指標檢測均符合排放標準。
2020 年 10 月,上海市生態環境局擴大“廢硫酸定向資源化再利用”備案,新增四家企業,已經全部覆蓋了上海市具備回收廢酸條件的集成電路制造企業。
至此,上海市集成電路行業協會參與創新建立的“廢硫酸定向資源化再利用”模式已初見成效,總體上穩定地解決了上海集成電路產業廢硫酸處置問題。下一步將深入探索該模式的推廣應用課題,在嚴格遵守國家相關法律法規的前提下,努力實現將更多的集成電路生產過程中的“廢物”變成可資利用的優質“資源”的目標,為綠色生態環境建設和集成電路產業的蓬勃發展做出貢獻。
原文標題:難題:集成電路制造企業在運營過程中產生的大量廢硫酸處置問題
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