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傳臺積電已采購35臺EUV光刻機,占ASML過班產量

如意 ? 來源:快科技 ? 作者:雪花 ? 2020-12-02 12:02 ? 次閱讀

對于主攻代工芯片的臺積電來說,擁有越多先進的光刻機,優勢就越大,當然訂單也就越多。

根據臺灣地區媒體的消息,臺積電目前已采購35臺EUV 設備,占ASML過半產量,2021年底采購總量將超過50臺。

之前就消息稱,臺積電已經下單訂購了至少13臺ASML的Twinscan NXE EUV光刻機,將會在2021年全年交付,明年臺積電實際需求的數量可能是高達16到17臺EUV光刻機。

相較之下,三星EUV設備采購量目前不到20臺。

根據ASML的官方數據,2018年至2019年,每月產能約4.5萬片晶圓(WSPM),一個EUV層需要一臺Twinscan NXE光刻機。隨著工具生產效率的提高,WSPM的數量也在增長。如果要為一個準備使用N3或更先進節點制造工藝的GigaFab(產能高于每月10萬片)配備設備,臺積電在該晶圓廠至少需要40臺EUV光刻設備。

未來幾年全球對EUV光刻機的需求只會增加,但從目前的情況來看,在未來一段時間內,臺積電仍將是這些光刻設備的主要采購者,三星和Intel將緊隨其后。
責編AJX

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