1、清洗步驟貫穿半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈
半導(dǎo)體清洗設(shè)備直接影響集成電路的成品率,是貫穿半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要環(huán)節(jié),在單晶硅片制造、光刻、刻蝕、沉積等關(guān)鍵制程及封裝工藝中均為必要環(huán)節(jié),約占所有芯片制造工序步驟30%以上,且隨著節(jié)點(diǎn)的推進(jìn),清洗工序的數(shù)量和重要性會繼續(xù)提升,清洗設(shè)備的需求量也將相應(yīng)增加。
2、濕法清洗占據(jù)市場90%份額
半導(dǎo)體清洗設(shè)備針對不同的工藝需求,對晶圓表面進(jìn)行無損傷清洗以去除半導(dǎo)體制造過程中的顆粒、自然氧化層、金屬污染、有機(jī)物、犧牲層、拋光殘留物等雜質(zhì)。按照清洗原理來分,清洗工藝可分為干法清洗和濕法清洗。在實(shí)際生產(chǎn)過程中一般將濕法和干法兩種方法結(jié)合使用,目前90%以上的清洗步驟以濕法工藝為主。
在濕法清洗工藝路線下,目前主流的清洗設(shè)備主要包括單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、組合式清洗設(shè)備和批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備等,其中以單片清洗設(shè)備為主流。
3、全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)馬太效應(yīng)明顯
目前,全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場主要由Screen(日本迪恩士)、TEL(日本東京電子)、Lam Research(美國拉姆研究)和SEMES(韓國)和拉姆研究等日美韓企業(yè)瓜分。根據(jù)Gartner數(shù)據(jù)顯示,2018年全球排名前四的企業(yè)合計(jì)占據(jù)約98%的市場份額,行業(yè)馬太效應(yīng)顯著,市場高度集中;其中日本廠商迪恩士以市占率45.1%處于絕對領(lǐng)先地位,而國內(nèi)清洗設(shè)備龍頭盛美半導(dǎo)體市占率僅為2.3%。
4、全球市場規(guī)模至2024年有望達(dá)到31.93億美元
近年來,清潔設(shè)備的行業(yè)規(guī)模呈現(xiàn)波動變化態(tài)勢。根據(jù)Gartner統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),2018年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場規(guī)模為34.17億美元,2019年和2020年受全球半導(dǎo)體行業(yè)景氣度下行的影響,有所下降,分別為30.49億美元和25.39億美元,預(yù)計(jì)2021年隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)復(fù)蘇,全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場將呈逐年增長的趨勢,2024年預(yù)計(jì)全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)將達(dá)到31.93億美元。
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