2020年疫情加劇了資本寒冬，但半導體行業的投資卻逆市上揚。據統計，今年前十個月國內VC／PE共投資了345個半導體項目，預計年底投資總額將超過1000億，達去年全年總額的3倍。

在國產替代、新技術需求的驅動下，國內半導體行業正處在產能加速擴張中。2017－2020年，全球正在建設和擬建設的晶圓線有62條，其中中國大陸有26條，占比42％。預計2020年，中國大陸半導體設備銷售將達到145億美元，成為全球最大的半導體設備市場。

作為一個大而精的行業，半導體設備行業也已經呈現出高度集中的市場格局，應用材料、阿斯麥、東京電子、泛林半導體、科磊半導體2019年牢牢占據了全球前五的位置。盡管市場的頭部效應明顯，在芯片制造、封測所涉及到的上千道加工工序中，包括晶圓檢測在內的多個細分領域仍存在新玩家入局的機會。

2020年6月22日，科創板上市公司天準科技發布公告將以1818萬歐元（約合1．4億人民幣）的價格收購德國半導體檢測設備研發商MueTec100％股權，并受讓該公司200萬歐元債務，這也讓整個交易的價格達到2018萬歐元（約合1．6億元人民幣）。

此次收購也是科創板首個海外并購案例。據了解，目前交易已獲蘇州發改委和商務局的同意，雙方已經完成了24．9％的股權交割，后續獲得德國相關政府機構的審批后，雙方將交割其余75．1％的股權。

對于天準科技來說，對MueTec的收購將幫助公司縮短進入半導體領域的周期，減少不確定性，更快地為公司形成新的業績增長點。同時，這次收購也是國內半導體設備行業加速發展的縮影。

以并購進入半導體設備行業，標的公司MueTec已進入全球市場

天準科技的主業為工業機器視覺裝備研發及應用，此次選擇以并購的方式進入半導體行業并不偶然。事實上，并購整合在整個半導體設備行業是較普遍的發展模式。回顧半導體設備企業并購史，應用材料和科磊半導體發展過程中的收購次數都在20次以上。

究其原因，行業的高壁壘屬性意味著研發上的高難度，并購成為一種迅速更新技術的途徑。同時，在市場增速放緩時，并購也成為拓展產品線、擴大市場空間的有效方式。尤其對于首次進入半導體行業的企業來說，由于在相關技術、市場方面缺乏積累，并購等外延式發展模式成為進入半導體設備領域的捷徑。

早在天準科技收購MueTec之前，顯示檢測行業的龍頭公司精測電子就先后在2018年、2019年，分別通過與半導體自動測試設備韓國IT＆T共同設立中外合資公司、收購日本半導體測試設備企業WINTEST60．53％的股權的方式來進入半導體檢測設備領域。

以全球視角看，半導體設備行業的被收購標的呈現出明顯的地域特征。廣發證券在其2018年發布的研究報告《全球半導體設備并購史研究——以史為鏡，可以知興替》中表示，從1995年到2018年，全球半導體設備領域的并購以美國為核心，向歐洲和日本擴散。報告指出，在87次并購中有85次被收購方的國別或地區可查，其中美國有56家美國半導體設備企業或業務部門被收購，歐洲公司有16家，主要分布在德國、瑞士和英國。美國作為半導體設備行業的先行者，毫無疑問成為并購標的集中區域，而歐洲、日本也不斷涌現優質的半導體設備企業。

此次被天準科技收購的MueTec即是一家德國企業。該公司的創始人由光學、軟件開發和機械領域的專家組成，于1991年在德國慕尼黑成立。

集成電路由于高精密、高附加值的特點，要求芯片制作過程中采用無損檢測，因此對非接觸式的光學檢測設備成為剛需。MueTec則主要針對晶圓類產品提供高精度光學檢測和測量設備，服務區域涵蓋歐洲、美國、中國臺灣等半導體設備主流市場。

目前MueTec的產品包括：

1） 測量和檢測類：關鍵尺寸測量（CD Metrology），套刻測量（Overlay Metrology），瑕疵缺陷檢測，瑕疵缺陷查看，薄膜厚度測量。代表設備為Spector A，MT8000等。

2） 紅外解決方案：應用于MEMS領域，可以通過測量數據分析，修改工藝，輔助提升生產良率。代表設備為IRIS2100，IRIS8200。

3） 宏觀缺陷檢測方案：提供在光刻階段的晶圓全檢需求，代表設備為MT1000。

4） 定制方案：可提供市面上目前還沒有可用設備的檢測和測量需求定制，比如，全自動的檢測設備，定制的搬運系統。

2019年科磊半導體（KLA）在全球范圍內的光學檢測設備上占比超過50％，其余市場則多由美國、日本、以色列以及一些歐洲國家的廠商占據。國內在該領域起步較晚。2014年，與中科院微電子研究所深入合作的中科飛測成立，國內光學檢測設備領域逐漸發展起來。

據了解，MueTec的產品與國內同行中科飛測對比，在設備穩定性、壽命等指標上更突出，且在國外市場有更高的認可度，不過售價更高、開發周期長；而跟國際同行以色列光學檢測設備公司CamTek對比，MueTec有更廣的產品線，以及獨立的2D測量和膜厚測量。

在基于行業、產品以及技術等多維度考量下，天準科技收購MueTec100％股權的交易價格定在了1818萬歐元，是MueTec2019年凈資產的2．50倍、2020年預計EBITDA的10．26倍。

收購MueTec，天準科技面臨的巨大行業機遇

天準科技是2019年首批成功登陸科創板的公司之一。其成立于2009年，主要基于機器視覺技術，研發生產工業視覺裝備。公司的產品包括精密測量儀器、智能檢測設備、智能制造系統、無人物流車，并提供智能檢測裝備和智能制造系統相關的軟件服務。現階段，公司的客戶群集中在消費電子、汽車制造、光伏半導體、倉儲物流行業，大客戶包括蘋果、三星、富士康、欣旺達、德賽集團、博士集團、法雷奧集團、菜鳥物流等。

隨著在消費電子、汽車等領域的行業地位逐漸穩固，天準科技亟需找到新的業績增長點。而天準科技之所以能將3D視覺檢測技術率先在消費電子、汽車制造等領域落地，離不開這些領域的共同特點：客戶對價格的不敏感，但對設備精度、準確度等要求高；同時，大客戶集中，客單價往往達百萬級。此次被收購標的MueTec所在的半導體檢測設備領域毫無疑問符合相應條件。

其實在收購MueTec之前，天準科技已經在著手研發半導體檢測設備，對于MueTec的收購將加快公司在半導體晶圓檢測設備上的布局。

2020上半年天準科技半導體相關在研項目情況（萬元）

迄今為止，MueTec累計設備出貨量已達數百臺。其在技術、產品以及市場等多個環節已形成較成熟的經驗，將幫助天準科技快速具備服務國內半導體設備行業的能力。

在當前國內半導體設備自主化發展的大趨勢下，此次并購對于兩者都意味著廣闊的市場前景。一般來說，半導體制造設備支出占半導體設備總支出的80％左右，MueTec所在的前道半導體檢測設備約占半導體制造設備的13％。全球市場上，前道檢測設備2018年的市場規模約為58億美元。根據SEMI曾預測的2020、2021年國內半導體設備總支出分別為173億、166億美元，得以估算2020、2021年國內前道檢測設備的市場需求約為18億、17．3億美元。而每臺晶圓檢測設備普遍在百萬美金以上的售價，也為設備廠商創造了更高的收入天花板。

芯片是“國之重器”，但當下我國半導體產業多個環節的國產化程度普遍偏低。尤其是設備、材料、EDA軟件工具在內的多個上游環節，短期內難以實現自主發展。不過，正是由于現狀與需求的不匹配，價值創造的機會正在顯現。有理由相信，在需求的高增長驅動下，類似天準科技收購MueTec的案例可能再度發生。而隨著各類資源的不斷投入，我國半導體產業實現自主可控的進程也有望加快。