目前臺積電和三星的5nm工藝均已量產,前者代工的產品包括蘋果A14、蘋果M1、華為麒麟9000等,后者代工的芯片則包括三星自己的Exynos 1080以及傳言中的高通驍龍875等。
其實從7nm開始,臺積電和三星就開始引入EUV光刻,但過程層數較少。按照ASML的說法,迭代到5nm后,EUV的層數達到了14層,包括但不限于觸點、過孔以及關鍵金屬層等過程。未來的3nm、2nm,對EUV的依賴將更甚。
作為目前唯一能生產EUV光刻機的荷蘭ASML來說,自然成了臺積電和三星爭搶的香餑餑,即便單臺價格達到了1.2億歐元(約合9.4億元人民幣)。
來自Digitimes的最新報道稱,臺積電為明年生產,已經向ASML下定了至少13臺EUV光刻機。簡單估算的話,花費的金額超120億元人民幣。
需要明白的是,EUV光刻機不是有錢就能買,因為ASML每年的產能非常有限,2019年全年才出貨了26臺,今年上半年出貨了13臺,截至三季度結束累計才出貨23臺。
另外,ASML定于明年中旬交付最新一代EUV光刻機TWINSCAN NXE:3600D,生產效率提升18%、機器匹配套準精度改進為1.1nm,不出意外的話,臺積電應該是首批客戶。
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原文標題:資訊 | 耗資超120億元!傳臺積電已為明年生產訂購了13臺EUV光刻機
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