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昆山雙橋高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器系列介紹

傳感器技術(shù) ? 來源:傳感器技術(shù) ? 作者:傳感器技術(shù) ? 2021-02-19 09:28 ? 次閱讀

昆山雙橋傳感器測(cè)控技術(shù)有限公司

昆山雙橋傳感器測(cè)控技術(shù)有限公司是中科院昆山高科技產(chǎn)業(yè)園、國家火炬計(jì)劃昆山傳感器產(chǎn)業(yè)基地核心骨干企業(yè)。公司以MEMS壓阻壓力傳感器為主導(dǎo)產(chǎn)品,兼及其它相關(guān)傳感器、變送器,自控儀表及系統(tǒng)的開發(fā)、生產(chǎn)與銷售。

雙橋公司是國內(nèi)最早開發(fā)MEMS技術(shù)壓力傳感器研究的幾個(gè)單位之一,是國內(nèi)較少的幾個(gè)堅(jiān)持從MEMS力敏芯片的設(shè)計(jì)、制造做起,因而具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),確立了以高、特、難、新MEMS壓力傳感器為企業(yè)主發(fā)展方向。

高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器

在軍事工程、化爆試驗(yàn)、石油勘采與試井、材料、力學(xué)、土木工程學(xué)、巖土力學(xué)、創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)、液壓動(dòng)力機(jī)械試驗(yàn)等科學(xué)試驗(yàn)與現(xiàn)代化儀器儀表中,需要不失真地測(cè)量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動(dòng)態(tài)壓力波形與幅值、有效值,這就要求所用壓力傳感器具有高的固有頻率、極短的上升時(shí)間和寬廣優(yōu)良的響應(yīng)頻帶,以保證足夠的動(dòng)態(tài)測(cè)壓精度,本系列產(chǎn)品即是為此設(shè)計(jì)開發(fā)的,它利用微機(jī)械加工技術(shù)使得集成硅膜片有效尺寸小,固有頻率高;有優(yōu)良的彈性力學(xué)特性,全齊平封裝無管腔封裝,綜合性能優(yōu)于壓電動(dòng)態(tài)壓力傳感器,成為動(dòng)壓測(cè)試中壓電壓力傳感器的換代產(chǎn)品。其獨(dú)有的芯片防光抗干擾設(shè)計(jì),可適用與近場(chǎng)爆轟測(cè)量,美國軍標(biāo)和我國軍標(biāo)在爆轟動(dòng)態(tài)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)中都推薦首選壓阻式壓力傳感器。

1、CYG401齊平封裝高頻壓力傳感器

1、特點(diǎn)及用途:

無管腔全齊平結(jié)構(gòu),優(yōu)越的靜態(tài)性能及動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力,低噪聲,高分辨率,高信噪比,帶防光干擾,可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品能用于各種爆炸沖擊波測(cè)量及動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量。

2、壓力量程:

0~1Mpa~100Mpa內(nèi)可任選量程

3、固有頻率及上升時(shí)間(可用帶寬:0~1/3固有頻率)

量程 MPa 1 2 4 6 10 20 40 60 100
固有頻率 kHz 180 240 320 250 320 450 600 800 1000
上升時(shí)間μm 1 1 0.5 0.5 0.5 0.3 0.3 0.2 0.2

4、非 線 性:

±0.2%~±1%

5、精度等級(jí):

檔級(jí)指標(biāo) 零點(diǎn)時(shí)漂
mv/8h
零位溫度系數(shù)
X10-4FS/℃
靈敏度溫度系數(shù)
X10-4FS/℃
非線性
±%FS
不重復(fù)性、遲滯
%FS
JA 0.1 3 3 0.5(1.0*) 0.3
JB 0.1 2 2 0.2(0.5*) 0.1
MA 0.5 5 5 0.5(1.0*) 0.3
MB 0.15 3 3 0.2(0.5*) 0.2

注:*為40Mpa以上量程參數(shù)

6、測(cè)量介質(zhì)溫度:

J級(jí)0℃~450℃;M級(jí)10℃~300℃(特殊措施下可耐2000℃/200ms或1000℃/1000ms)

7、補(bǔ)償溫度范圍:

J級(jí)30℃~100℃;M級(jí)30℃~80℃。(亦可按用戶要求特訂)

8、抗光干擾特性:

J級(jí)加強(qiáng)抗紅外及可見光;M級(jí)抗自然可見光。

9、 安裝接口

M20×1.5,螺紋深12mm

10、出線方式:

航插、霍斯曼、直出線三種可選(建議直出線式或航插式)

11、供電方式:

恒壓源或恒流源

12、輸出方式:

差分毫伏信號(hào)

13、測(cè)量介質(zhì):

與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導(dǎo)電性介質(zhì)(如有特殊測(cè)量介質(zhì)需提前告知)

14、殼體材料:

不銹鋼

15、冷卻水壓力:

不小于300kpa,嚴(yán)禁工作期間停壓或掉管;不大于700kpa,防止爆管


2、CYG406準(zhǔn)齊平動(dòng)態(tài)微壓傳感器

1、特點(diǎn)及用途:

微管腔準(zhǔn)齊平結(jié)構(gòu),優(yōu)越的靜態(tài)性能及動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力,低噪聲,高分辨率,高信噪比,可下延至微壓量程段,可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品用于動(dòng)態(tài)要求較高的微小量程動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量,如小劑量爆轟或動(dòng)態(tài)工況下的結(jié)構(gòu)表面壓力場(chǎng)測(cè)試分析。

2、壓力量程:

0~1kpa~600kpa

3、固有頻率及上升時(shí)間(可用帶寬:0~1/5固有頻率)

量程 MPa 1 4 10 25 100 250 600
固有頻率 kHz >5 >5 >20 >100 >150 >300 >300
上升時(shí)間μm 5 5 2 1 1 0.5 0.5

4、非 線 性:

±0.2%~±0.5%

5、精度等級(jí):

檔級(jí)指標(biāo) 零點(diǎn)時(shí)漂
mv/8h
零位溫度系數(shù)
X10-4FS/℃
靈敏度溫度系數(shù)
X10-4FS/℃
非線性
±%FS
不重復(fù)性、遲滯
%FS
JA 0.15 3 3 0.5 0.2
JB 0.1 2 2 0.2 0.1
MA 0.3 5 5 0.5 0.3
MB 0.2 3 3 0.2 0.2

6、測(cè)量介質(zhì)溫度:

-50℃~120℃

7、補(bǔ)償溫度范圍:

J級(jí)-20℃~80℃ M級(jí)0℃~50℃,亦可按用戶要求特訂。

8、抗光干擾特性:

抗自然可見光

9、 供電方式:

①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

10、輸出方式:

①差分毫伏信號(hào),標(biāo)稱值100mV±30%(100kpa以上);50mV±40%(100kpa以下)

②配有放大器標(biāo)準(zhǔn)值,0~5V

11、測(cè)量介質(zhì):

與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導(dǎo)電性介質(zhì)(如有特殊測(cè)量介質(zhì)需提前告知)

3、CYG410低壓自由場(chǎng)高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器

1、特點(diǎn)及用途:

流線型無反射外型,無管腔全齊平結(jié)構(gòu),優(yōu)越的靜態(tài)性能及動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力,低噪聲,高分辨率,高信噪比,帶防火護(hù)線管,最小量程可下沿至50kpa,可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品用于各種小壓力爆炸沖擊波自由場(chǎng)壓力測(cè)量。

2、壓力量程:

0~50kpa~500kpa

3、固有頻率及上升時(shí)間(用帶寬:0~1/3固有頻率)

量程kpa 50 100 200 340 500
固有頻率kHz 80 100 120 150 180
上升時(shí)間μs 2 2 1 1 1

4、非 線 性:

±0.2%~±0.5%

5、精度等級(jí):

指標(biāo)/檔級(jí) 零點(diǎn)時(shí)漂
mv/8h
零位溫度系數(shù)
×10-4FS/℃
靈敏度溫度系數(shù)
×10-4FS/℃
非線性
±%FS
不重復(fù)性、遲滯
%FS
JA 0.2 5 5 0.5 0.2
JB 0.15 3 3 0.2 0.1

6、測(cè)量介質(zhì)溫度:

-50℃~120℃(特殊措施下可耐2000℃/20ms)

7、補(bǔ)償溫度范圍:

0℃~50℃。(亦可按用戶要求特訂)

8、抗光干擾特性:

抗自然可見光

9、 直徑:

Φ34mm,Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協(xié)商)

10、供電方式:

①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

11、輸出方式:

①差分毫伏信號(hào),輸出靈敏度2~4mV/V(200kpa以下) 5~10mV/V(400kpa以上) ②配有放大器,標(biāo)準(zhǔn)值0~5V

12、測(cè)量介質(zhì):

與硅﹑不銹鋼或合金鋁兼容的無腐蝕介質(zhì)(如有特殊測(cè)量介質(zhì)需提前告知)

4、CYG412高壓自由場(chǎng)高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器

1、特點(diǎn)及用途:

流線型無反射外型,無管腔全齊平結(jié)構(gòu),優(yōu)越的靜態(tài)性能及動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力,低噪聲,高分辨率,高信噪比,帶防光干擾,帶防火護(hù)線管,可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品能用于各種高壓爆炸沖擊波自由場(chǎng)壓力測(cè)量。

2、壓力量程:

0~20Mpa~100Mpa

3、固有頻率及上升時(shí)間(可用帶寬:0~1/3固有頻率)

量程kpa 20 40 60 100
固有頻率kHz 450 600 800 1000
上升時(shí)間μs 0.3 0.3 0.2 0.2

4、非 線 性:

±0.5%~±1.0%

5、精度等級(jí):

指標(biāo)/檔級(jí) 零點(diǎn)時(shí)漂
mv/8h
零位溫度系數(shù)
×10-4FS/℃
靈敏度溫度系數(shù)
×10-4FS/℃
非線性
±%FS
不重復(fù)性、遲滯
%FS
JA 0.1 3 3 1.0 0.3
JB 0.1 2 2 0.5 0.2

6、測(cè)量介質(zhì)溫度:

-50℃~120℃(特殊措施下可耐2000℃/20ms)

7、補(bǔ)償溫度范圍:

J級(jí)-10℃~60℃(亦可按用戶要求特訂)

8、抗光干擾特性:

J級(jí)加強(qiáng)抗紅外及可見光

9、 直 徑:

Φ34mm,Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協(xié)商)

10、供電方式:

①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

11、輸出方式:

①差分毫伏信號(hào),標(biāo)稱值100mV±30% ②配有放大器,標(biāo)準(zhǔn)值0~5V

12、測(cè)量介質(zhì):

與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕介質(zhì)(如有特殊測(cè)量介質(zhì)需提前告知)

原文標(biāo)題:昆山雙橋高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器

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原文標(biāo)題:昆山雙橋高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器

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