刻蝕是半導體制造中十分關鍵的一環,刻蝕通過物理或化學方法將硅片表面不需要的材料去除,從而將掩膜圖形正確的復制到涂膠硅片上。
刻蝕過程需要用到刻蝕機這一設備。如今,我國在光刻機領域雖然還難以突破,但在刻蝕機領域,我國已經實現突圍。
中微半導體是我國刻蝕機領頭羊企業,由尹志堯在2004年一手創建。
尹志堯是半導體領域的大佬級人物,在英特爾、應用材料等巨頭供職的20多年。如今,應用材料在全球刻蝕機市場中,以19%的占比排名第三位。
因而,尹志堯有著豐厚的行業經驗。彼時,與尹志堯一同回國的,還有30多人的精英團隊。在這群人的共同努力下,中微半導體在介質刻蝕領域不斷深挖,成為行業新黑馬。
十余年的堅持讓中微半導體成功實現了從65nm,到最領先的5nm的攻克。而且,中微半導體5nm刻蝕機,還成功打入臺積電生產線。
為此,中微半導體成為大陸本土設備商中,唯一被臺積電認可的廠商。
中微半導體的這一系列成績,讓美國也感到了壓力。為搶奪中國市場,在2015年,美國商務部解除了對中國等離子體刻蝕設備的出口管制。
中微半導體的突圍,與其對研發的重視離不開。
據日前IPRdaily與incoPat聯合發布的“科創板225家上市企業有效發明專利排行榜”顯示,中微半導體排在了第六位,共擁有1142項全球發明專利,數量可觀。
中微半導體每年都會投入大量的資金用于研發,2019年,公司投入4.25億元用于研發。而這一年公司營收為19.47億元,研發投入占營收的比例為21.8%左右。
這一比例可與眾多海外科技巨頭相媲美。在巨大的研發投入之下,中微半導體自然能如此快取得亮眼的突破。
當前,中微半導體的業績不斷改善,據中微半導體2020年度業績預告顯示,公司歸屬于母公司所有者凈利潤同比至少增長133.34%,為4.4億-5.2億元。
中微半導體的快速崛起令人矚目。但也應該認識到的是,目前公司規模有限,難以同半導體巨頭相抗衡。
而且,全球刻蝕設備市場正處于寡頭壟斷狀態,泛林半導體、TEL與應用材料三家巨頭,便占據了行業將近91%的市場。這給中微半導體的發展帶來了挑戰。
此外,刻蝕設備更新速度較快,中微半導體必須不斷攻克,保持技術領先。
責任編輯:tzh
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