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三星砸430億韓元研發EUV光罩保護膜

如意 ? 來源:快科技 ? 作者:萬南 ? 2021-03-04 10:13 ? 次閱讀

三星一方面在積極向唯一的EUV光刻機廠商ASML爭取訂單,另外一方面也在增資為EUV產業鏈輸血。

據報道,三星電子周二斥資430億韓元(約合2.5億)買入152萬股韓國FST公司的股票,成為其第三大股東,持股占比6.9%。

FST是一家生產掩模/光罩保護膜和冷卻器的廠商,保護膜簡單來說就是保障光罩不受灰塵影響,冷卻器則是控制半導體制造過程中的溫度。

FST正在研制EUV光罩保護膜,設計目標是全尺寸,碳化硅基質,30nm尺度,透光率90%。

目前,尚未有一家公司大規模量產EUV光罩保護膜FST成功后,將對產業以及自身收入有著積極影響。
責編AJX

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