集微網消息，3月8日，上海新陽發布關于ASML-1400光刻機進展的公告稱，現經各方積極協商、運作，該光刻機設備于今日已進入合作方北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司場地，后續將進行安裝調試等相關工作。

據披露，上海新陽自立項開發193nmArF干法光刻膠的研發及產業化項目以來，安排購買了ASML-1400光刻機等核心設備，并于2020年12月14日在《關于公司申請向特定對象發行股票的審核問詢函的回復》中披露，該光刻機將于2020年底前運抵國內。后由于公司與光刻機供應商、北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司（以下簡稱“合作方”）溝通協調設備運輸與安裝等細節，致使設備沒能在規定時間內運達，但與合作方就具體合作細節簽署了《合作框架協議》，并發布了《關于ASML-1400光刻機進展暨簽訂<合作框架協議>的公告》，預計該光刻機將于2021年3月底前進入合作方現場。

北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司與上海新陽將合作在北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司指定工廠搭建光刻膠驗證平臺，該平臺由ArF光刻機（上海新陽負責提供）和涂膠顯影機（北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司負責提供）組成，用于先進光刻膠驗證。

上海新陽表示，公司采購的ASML干法光刻機設備順利交付，對加快193nmArF干法光刻膠產品開發進度有積極影響，有利于進一步提升公司光刻膠產品的核心競爭力，加快落實公司發展戰略，提高公司抗風險能力和可持續發展能力。

值得注意的是，該光刻機尚須經過裝機、調試等相關環節，若相關環節出現工作疏漏或失誤則存在造成所購買的光刻機投入使用的過程較長甚至無法投入使用的風險。

此外，光刻膠研發項目技術壁壘高、周期長、至產業化并最終實現銷售利潤仍需一定時間，而公司購買的光刻機設備價格昂貴，其折舊及后續維護費用預計對公司的經營業績存在一定影響。

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