看似“神秘”的等離子體，其實是宇宙中一種常見的物質，在太陽、恒星、閃電中都存在等離子體，它占了整個宇宙的99％。現在人們已經掌握利用電場和磁場來產生和控制等離子體，廣泛用于日常生活及工業生產。

今天，就由博世智能制造解決方案事業部（以下簡稱ATMO-3CN）的專家來帶我們探索等離子涂層技術的奧秘。

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本期專家：

Yu Sisley

博世智能制造解決方案事業部涂層生產及工程項目工藝工程師。畢業于英國曼徹斯特大學，先進材料工程碩士及表面材料研究型碩士。

2019年加入博世協助HDEV閥球涂層工藝及產線轉移，并且負責涂層質量檢測設備。自2020年10月起在博世智能制造解決方案事業部負責涂層設備及服務的市場營銷及銷售技術支持。2020年11月協助無錫威孚集團WFMS事業部完成涂層設備及產品放行。

“碳”

Vlog Time

想知道博世的涂層技術是如何運行的嗎？

一個零件從制作到出廠又需要經過哪些工藝程序？

接下來，就請我們的工藝小姐姐Sisley

用Vlog的形式帶你走近神奇的涂層技術

快來一“碳”究竟吧！

一個閃電，科技萌發源于自然

猛烈的閃電火花，絢麗的北極光，宇宙中變換的星云，甚至燃燒的恒星，自然界中人類所能觀察或接觸到的事物，你是否好奇過它們的來源呢？

科學家研究發現，有99%的自然界現象實際上都是由一種名為等離子體的第四種物質形態引起的，它是一種同時存在于電子和帶正負電荷粒子的亞穩定態的中性粒子團。只要施加一定的能量，幾乎所有的物質（元素）都可以變成等離子體。施加的能量可以是電壓，熱能，核能，輻射能等，例如，空氣和云層中電荷堆積產生的電壓差（形成閃電），太陽的核聚變產生大量的熱能和輻射能（形成太陽風）。近百年來，等離子體可謂是物理及化學研究的重要部分。

不同元素的等離子體呈現不同顏色

等離子體含有帶電荷的粒子（離子）和電子，可以在電場或者磁場的作用下按照一定的方向有規律的運動。等離子涂層技術就利用了這個特性，操縱氣態粒子團向零件表面運動，從而形成涂層。

通過調節氣體的種類，密度和激發能量，可以調節等離子體自身的能量及溫度。這個特性使得等離子技術在工業領域得到廣泛利用：高溫等離子體可以冶煉高熔點金屬（冶金），高能等離子體沖擊物體表面可以去除殘留的有機物及油漬（表面清潔），電場磁場作用下的等離子可以在金屬表面形成薄膜（涂層）。

等離子不僅可以改變金屬材料或非金屬材料的表面性質，還可以通過添加涂層來加成原本材料不具備的特性，例如耐磨性、耐腐蝕性、導電性等。目前，等離子體技術已經被廣泛應用于國防、環境、工業、農業、信息技術等各大領域。

從科研寶寶到工業解決者的成長

如果在博世內網上搜索“Plasma”，你會發現有5300多條相關信息：

等離子體清潔用于電器元件焊接前的去油脂，低溫等離子體用于塑料件的表面處理（清潔或涂層）等等；但其實，大部分的信息都是關于一種叫類金剛石涂層的應用。類金剛石是一種由碳元素組成的具有金剛石和石墨的物理化學特性的物質，它既有金剛石的硬度，又具備石墨的潤滑，這也使得類金剛石擁有較低的摩擦系數。這樣一想，又耐磨又潤滑，這簡直就是提升發動機零部件工藝性能的不二之選。

三十年前，中央研發事業部（以下簡稱CR）在產品設計和實驗的過程中發現，僅靠提升零部件硬度的方法，無法滿足燃油泵及噴油嘴中存在高速往復運動的部件對高壓，碰撞及磨損環境的要求。他們將目光開始轉向當時表面處理最前沿的等離子體技術，并成功研發出了擁有耐高壓、耐沖擊、耐氣蝕等超強性能的類金剛石涂層（TaC， DLC）及氮化鉻CrN陶瓷涂層。

如何量產有涂層的零部件

以滿足龐大的市場需求呢？

這個問題使產品落地一度陷入瓶頸。后來，智能制造解決方案事業部（ATMO）運用博世核心制造技術鼎力相助，CR成功將這一技術轉化落地為可實現穩定大規模生產的等離子涂層設備。從此，類金剛石涂層被廣泛應用于柱塞、針閥/閥座、滾軸挺桿和閥球等燃油高壓共軌系統（CP/CPN，CRI/CRIN ，CB series，DMV24）的高壓油泵及燃油噴嘴的核心零部件表面，有效延長了核心零部件的壽命并且整體提升了產品的性能。

截至目前， ATMO已協助博世各事業部在全球8個城市設立涂層中心（德國斯圖加特，中國蘇州，中國無錫，美國查爾斯頓，巴西庫里蒂巴，土耳其布爾薩，印度那西克，日本東松山），提供了超過50臺等離子涂層設備，每年可為全球汽車制造商提供超過4.5億件高質量涂層零部件。

它還是高效環保小衛士

這種具有優異摩擦學特性的涂層（類金剛石涂層）的奇特之處在于，它不僅可以顯著提升被涂層零件的表面硬度及耐磨性，還能降低其對磨部件的磨損。這大大降低了對關鍵零部件的熱處理及表面硬化處理的工藝要求和對材料本身性能的要求，從而顯著降低了材料處理的成本。同時，其潤滑性能顯著降低了發動機結構內部的摩擦以及產生的熱能，有利于提升能效利用及傳動效率。

除此之外，類金剛石涂層僅需1-5微米，就可以顯著產品摩擦綜合性能，這使得產品幾乎不需要設計改動就可以實現整體性能的提升。在發動機排放標準日益嚴苛的當今，博世也成功將類金剛石涂層從最初的柴油發動機燃油噴射系統應用到汽油發動機燃油噴射系統（HDEV），為綠色出行、產品升級提供了技術的保障。

在環境保護要求日益嚴格的工業環境下，等離子涂層技術也是電化學涂層技術的替代解決方案，無廢水廢氣排放是這項技術的一大亮點。等離子涂層學名為等離子氣相沉積，分為等離子物理氣相沉積和等離子化學氣相沉積。

通常表面處理行業使用高頻或直流電場激發等離子體。而博世等離子技術在電場的作用上還增加了微波技術來激發等離子，不僅降低了設備激發等離子體所需的總能量，還使得等離子的密度大大提升。也就是說，博世的微波輔助等離子涂層設備不僅耗電量低，還擁有超快的涂層的速率（約為同體系涂層設備的3-5倍）。

微波的引入還降低了等離子體形成時所需的溫度，這使得被涂層時溫度可控制在150°C甚至更低，這遠遠優于目前市場上的用于相同涂層體系等離子涂層設備的過程溫度。

對產品來說，溫度的降低，能減少過熱導致基材硬度的損失；對設備來說，可以免去冗長的升溫降溫環節，使涂層設備的最大利用率可達到95%。

有了這微波和等離子技術的雙效結合，博世涂層設備得以為汽車零部件提供綠色高效的表面處理服務。

在和AE事業部的交流合作中，ATMO的涂層專家將等離子涂層應用到一款超聲波鋁帶焊接頭上，能將這款單價千元級別的高成本耗材壽命提升12倍。博世等離子涂層技術還可以運用到更多的產品中以提高產品的性能和競爭力。如，在產品設計的初期作為考量因素之一，或是遇到材料瓶頸時作為可行的解決方案。

蘇州涂層中心自成立以來，始終堅持根植本土，服務本土的發展戰略，一起看看它的發展歷程吧！

根植本土

2017

ATMO中國蘇州

建立涂層生產及研發中心

2020

為無錫博世柴油系統及聯合汽車電子汽油系統提供涂層服務

并向威孚柴油集團交付涂層設備。

2021

全球首次對外部客戶銷售博世等離子涂層設備

未來發展

未來，位于中國蘇州的研發中心將積極尋找與博世產品內部合作的機會，為博世各事業部提供更迅速高效的產品表面性能咨詢及涂層工藝開發。

同時，我們將與博世德國ATMO的等離子涂層團隊繼續深入緊密的合作，為本土的涂層設備客戶搭建更便捷完善的服務體系。

編輯：jq