電容式傳感器是將被測非電量的變化轉換成電容量的變化,通過測量電容推算出被測非電量的傳感器。它的敏感部分就是具有可變參數的電容器。最常用的形式是由兩個平行電極組成、極間以空氣為介質的電容器。
電容式傳感器的工作原理
電容式傳感器的核心部分就是具有可變參數的電容器。若忽略邊緣效應,平板電容器的電容C=εA/δ,式中ε為極間介質的介電常數,A為兩電極互相覆蓋的有效面積,δ為兩電極之間的距離。δ、A、ε 三個參數中任一個的變化都將引起電容量變化,如果保持其中兩個不變,而僅僅改變其中一個參數,就可以把該參數的變化轉換為電容量的變化,通過測量電路就可以轉化為電量輸出。
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