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壓阻傳感器高精度測量的各種應用

NR8O_村田中 ? 來源:TDK電子 ? 作者:TDK電子 ? 2021-08-26 09:54 ? 次閱讀

壓阻傳感器高精度及其測量絕對壓力、表壓和壓差的能力使其在廣泛的用途中得到了各種應用。

對于工業(yè)設備和機械壓力傳感器提供的信息可以用于最有效地操作液壓或氣動設備,進而與新的工業(yè)4.0標準聯(lián)系在一起。

汽車對燃料效率和減少有害排放的要求越來越高,需要長期穩(wěn)定和高度精確的傳感器。除了介質(zhì)電阻外,一些用途要求壓力傳感器具有抗凍性,但最重要的是傳感器需要在整個壽命期間提供可靠的信號

所有的用途都對壓力模具的獨特特性提出了越來越高的要求,需要在模具水平上具有特定的設計特點。已經(jīng)開發(fā)了TDK壓力傳感器的產(chǎn)品系列,重點是提高靈敏度、高性能和較小的模具尺寸。此外,還特別注意介質(zhì)電阻和易處理能力的具體特點。

壓阻壓力測量

絕對壓力測量 – 前側(cè)

在真空下將玻璃粘合到硅上,從而產(chǎn)生對照真空。被測量介質(zhì)與壓力傳感器元件芯片前側(cè)的有源電子元件接觸。

絕對壓力測量 – 背側(cè)

對于潮濕或腐蝕介質(zhì),使用附加的玻璃蓋在前側(cè)形成一個對照室。介質(zhì)應用于背側(cè)入口。

表壓和壓差測量

表壓或壓差測量測量前側(cè)和背側(cè)之間的差異。較高的前側(cè)壓力引起的壓差導致輸出信號的正變化。較高的背側(cè)壓力導致輸出信號的負變化。

責任編輯:haq

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原文標題:壓力傳感器元件的壓力測量方法

文章出處:【微信號:村田中文技術(shù)社區(qū),微信公眾號:村田中文技術(shù)社區(qū)】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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