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芯片制造工藝的制造流程

倩倩 ? 來源:百度經驗,失效分析,3 ? 作者:百度經驗,失效分 ? 2021-12-08 11:41 ? 次閱讀

芯片,又稱微電路(microcircuit)、微芯片(microchip)、集成電路(英語:integrated circuit, IC),是指內含集成電路的硅片,體積很小,常常是計算機或其他電子設備的一部分。

芯片不是天然長出來的,也不是宅男用電腦打印出來的。它的誕生,是個復雜漫長的旅行。簡單來分,芯片制造過程有這么幾個階段:材料制備——單晶硅制造→晶圓片生成芯片前端——芯片構建(Wafer Fabrication)芯片后端——封裝(Package)→完整測試(Initial Test and Final Test)

芯片的原料晶圓,晶圓的成分是硅,硅是由石英沙所精練出來的,晶圓便是硅元素加以純化(99.999%),接著是將些純硅制成硅晶棒,成為制造集成電路的石英半導體的材料,將其切片就是芯片制作具體需要的晶圓。晶圓越薄,成產的成本越低,但對工藝就要求的越高。

小編將為大家介紹一下其制造流程:

1.制作晶圓。使用晶圓切片機將硅晶棒切割出所需厚度的晶圓。

2.晶圓涂膜。在晶圓表面涂上光阻薄膜,該薄膜能提升晶圓的抗氧化以及耐溫能力。

3.晶圓光刻顯影、蝕刻。使用紫外光通過光罩和凸透鏡后照射到晶圓涂膜上,使其軟化,然后使用溶劑將其溶解沖走,使薄膜下的硅暴露出來。

4.離子注入。使用刻蝕機在裸露出的硅上刻蝕出N阱和P阱,并注入離子,形成PN結(邏輯閘門);然后通過化學和物理氣象沉淀做出上層金屬連接電路。

5.晶圓測試。經過上面的幾道工藝之后,晶圓上會形成一個個格狀的晶粒。通過針測的方式對每個晶粒進行電氣特性檢測

6.封裝。將制造完成的晶圓固定,綁定引腳,然后根據用戶的應用習慣、應用環境、市場形式等外在因素采用各種不同的封裝形式;同種芯片內核可以有不同的封裝形式

百度經驗,失效分析,39度綜合整理

責任編輯:李倩

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