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芯片制造過程

倩倩 ? 來源:百度經(jīng)驗(yàn),研報(bào)之家plus, ? 作者:百度經(jīng)驗(yàn),研報(bào)之 ? 2021-12-21 09:50 ? 次閱讀

芯片制造的過程就如同用樂高蓋房子一樣,先有晶圓作為地基,再層層往上疊的芯片制造流程后,就可產(chǎn)出必要的 IC 芯片(這些會(huì)在后面介紹)。然而,沒有設(shè)計(jì)圖,擁有再?gòu)?qiáng)制造能力都沒有用,因此,建筑師的角色相當(dāng)重要。

芯片,又稱微電路(microcircuit)、微芯片(microchip)、集成電路(英語:integrated circuit, IC),是指內(nèi)含集成電路的硅片,體積很小,常常是計(jì)算機(jī)或其他電子設(shè)備的一部分。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最上游是IC設(shè)計(jì)公司與硅晶圓制造公司,IC設(shè)公司計(jì)依客戶的需求設(shè)計(jì)出電路圖,硅晶圓制造公司則以多晶硅為原料制造出硅晶圓。中游的IC制造公司主要的任務(wù)就是把IC設(shè)計(jì)公司設(shè)計(jì)好的電路圖移植到硅晶圓制造公司制造好的晶圓上。完成后的晶圓再送往下游的IC封測(cè)廠實(shí)施封裝與測(cè)試,即大功告成啰!

詳細(xì)介紹一下其制造流程:

制作晶圓。使用晶圓切片機(jī)將硅晶棒切割出所需厚度的晶圓。

晶圓涂膜。在晶圓表面涂上光阻薄膜,該薄膜能提升晶圓的抗氧化以及耐溫能力。

晶圓光刻顯影、蝕刻。使用紫外光通過光罩和凸透鏡后照射到晶圓涂膜上,使其軟化,然后使用溶劑將其溶解沖走,使薄膜下的硅暴露出來。

離子注入。使用刻蝕機(jī)在裸露出的硅上刻蝕出N阱和P阱,并注入離子,形成PN結(jié)(邏輯閘門);然后通過化學(xué)和物理氣象沉淀做出上層金屬連接電路。

晶圓測(cè)試。經(jīng)過上面的幾道工藝之后,晶圓上會(huì)形成一個(gè)個(gè)格狀的晶粒。通過針測(cè)的方式對(duì)每個(gè)晶粒進(jìn)行電氣特性檢測(cè)。由于每個(gè)芯片的擁有的晶粒數(shù)量是非常龐大的,完成一次針測(cè)試是一個(gè)非常復(fù)雜的過程,這要求在生產(chǎn)的時(shí)候盡量是同等芯片規(guī)格的大批量生產(chǎn),畢竟數(shù)量越大相對(duì)成本就會(huì)越低。

封裝。將制造完成的晶圓固定,綁定引腳,然后根據(jù)用戶的應(yīng)用習(xí)慣、應(yīng)用環(huán)境、市場(chǎng)形式等外在因素采用各種不同的封裝形式;同種芯片內(nèi)核可以有不同的封裝形式,比如:DIP、QFP、PLCC、QFN 等等。

百度經(jīng)驗(yàn),研報(bào)之家plus,立創(chuàng)商城綜合整理

審核編輯 :李倩

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